一种新型高真空高阀的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种新型高真空高阀，包括有阀板组件及阀座，所述法兰与阀座连接在一起，所述阀板组件包括：旋转轴以及设于所述旋转轴上的阀板，所述法兰上设有阀板安装孔以及通气孔，所述旋转轴安装于所述阀板安装孔中，以将所述阀板组件安装于所述法兰上，所述阀板在所述旋转轴带动下进行轴向旋转实现对通气孔的打开或关闭。本实用新型提供的新型高真空高阀，采用轴向旋转的方式来驱动阀板，以实现高阀的打开与关闭，且采用密封圈进行密封，密封效果好，结构简单，成本低；采用伺服电机驱动阀板，精度高，灵敏特性高，可以保证阀板位置的准确性和一致性，阀板开关动作的重复性好。
【专利说明】
_种新型局真空局阀
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种新型高真空高阀，尤其涉及应用于真空镀膜设备的新型高真空尚阀。
【背景技术】
[0002]目前真空设备所提供的真空环境基本都采用真空栗或真空栗组抽气来实现。而真空设备获得高真空环境时需要在低真空栗、中真空栗获得低真空、中真空之后再由高真空栗来抽气实现高真空。一般都采用机械真空栗来实现低真空，罗茨真空栗来实现中真空，分子栗或扩散栗来实现高真空;而且低、中真空栗抽气设置一条管道抽气，高真空栗抽气时再设置一条抽气管道来抽气。这样设置的原因主要是考虑如果都采用一条管道抽气，低、中真空抽气管道相当于加长管道长度，增加了较多的低、中真空抽气时间。
[0003]而一般情形下低中真空抽气时高真空抽气管道需要关闭，以免形成串气回流，可能对高真空栗造成伤害;故此需要在高真空抽气管道中设置开关动作来决定是否进行高真空抽气，而实现这一开关动作的部件我们称为高阀。
[0004]目前我们的真空设备中高阀基本采用插板阀、挡板阀这两种类型。
[0005]插板阀基本是采用阀板上下运动来实现管道的开启或关闭，其对平均无故障次数有一定要求(可参考“JBT 6446-2004真空阀门”标准)，价格较高，实际使用后也常常出现阀板与法兰之间密封不良导致失效。
[0006]挡板阀基本采用阀板下落堵住下方管道与左侧或右侧管道来实现关闭管道；由于挡板阀掉电后下落后即可关闭管道，所以常常被使用于单体式镀膜真空设备中，但由于管道中出现异物后就会随气流下落到阀板与下方法兰之间的密封面，导致密封不良。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型的目的在于克服以上问题，提供一种新型高真空高阀。
[0008]本实用新型的技术方案如下:本实用新型提供一种新型高真空高阀，包括有法兰、阀板组件及阀座，所述法兰与阀座连接在一起，所述阀板组件包括:旋转轴以及设于所述旋转轴上的阀板，所述法兰上设有阀板安装孔以及通气孔，所述旋转轴安装于所述阀板安装孔中，以将所述阀板组件安装于所述法兰上，所述阀板在所述旋转轴带动下进行轴向旋转实现对通气孔的打开或关闭。
[0009]本实用新型的高真空高阀内部小，有利于抽气。其所设定阀板的轴向旋转角度为60°-120°，即从完全关闭到完全打开时阀板需要轴向转动的角度为60°-120° ;这个角度范围既保证内部空间较小，也充分预留运动部件的运动范围。阀板的轴向旋转的角度优选为90。。
[0010]进一步地，改变轴向旋转中心与阀板之间距离，即可实现完全改变轴向转动角度值;而此时高阀内部体积将有所增加或减小。本实用新型设定的轴向转动角度是90°。
[0011]再进一步地，高真空高阀的阀板进行轴向旋转是采用伺服电机驱动，因为伺服电机具备开关位置高精度，高灵敏特性，所以阀板位置的准确性可保证，故本实用新型的高真空高阀开关位置的一致性好，开关动作的重复性好。
[0012]最后，应当指出，以上实施例仅是本发明交由代表性的例子。显然，本发明的技术方案不限于上述实施例，还可以有很多变性。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。
【附图说明】
[0013]附图1为尚真空尚阀的主视图。
[0014]附图2为尚真空尚阀的右视图。
[0015]附图3为阀板组件的结构示意图。
[0016]附图4为高真空高阀中阀板开关的示意图。
[0017]附图5为阀板组件的轴向旋转关系示意图。
[0018]附图6为阀板组件旋转角度的原理图。
【具体实施方式】
[0019]如图1-图4所示，本实用新型提供一种新型高真空高阀，采用轴向旋转阀板方式来实现阀门的开关，其具体包括有法兰1、阀板组件2及阀座3。所述法兰I与阀座3连接在一起；所述阀板组件2包括:旋转轴22以及设于所述旋转轴22上的阀板21;所述法兰I上设有阀板安装孔11以及通气孔12;所述旋转轴22安装于所述阀板安装孔11中，以便将所述阀板组件2安装于所述法兰I上;所述阀板21在所述旋转轴22带动下进行轴向旋转实现对通气孔12的打开或关闭。
[0020]图2中法兰I左侧可与真空栗抽气管道处连接，其连接方式可采用螺栓等常见连接方式固定，图2中就不做具体示意。图2中阀座3右侧可与真空室的抽气管道处连接，其连接方式可采用螺栓等常见连接方式固定，图2中就不做具体示意。
[0021]所述高真空高阀还包括第一密封圈6与第二密封圈5，所述第一密封圈6设于所述通气孔12的外沿，所述第二密封圈5设于所述法兰I的外沿。图2中法兰I和阀座3通过连接螺栓4连接，且通过第二密封圈5形成密封。连接螺栓4的具体分布可见图1中内四周圆孔处。此连接方式在具体实施时可与图中分布不尽相同。
[0022]请参阅图2，阀板21左侧突出区域为密封面，与法兰I右侧相对位置的密封面形成密封，之间通过第一密封圈6进行密封。图2中的旋转轴22为阀板21需要旋转时的旋转轴，此部分可使用螺栓等连接件从外侧直接连接伺服电机(因属常见连接方式，故未作示意)，该结构易拆卸，易固定。从外侧直接连接的伺服电机驱动可控制旋转运动角度，即阀板21的轴向旋转运动是可控的，且是一固定角度，具体可见图5中所示的角度a。
[0023]图5所示高真空高阀的运动示意图，可看到阀板21向左下侧逆时针方向轴向旋转后可实现高阀的打开，打开时如图5所示阀板21与法兰I的通气孔12之间不会重叠；阀板21向右上侧顺时针方向轴向运动可实现高阀的关闭，关闭时阀板21可完全遮挡法兰I的通气孔12。而因为法兰I和阀板21均为竖直安装，在动作过程中如有异物掉落，均不会影响法兰I与阀板组件2的密封及两者之间的轴向运动。
[0024]在图6中，可见轴向旋转角度a与阀板组件2的阀板21直径D1、法兰I的法兰通气孔的直径D2、阀板组件的旋转中心与阀板中心之间的距离D及旋转轴直径d有关，关系如下式:
[0025]a=arcsin((Dl_d)/(2*D))+arcsin((D2+d)/(2*D))
[0026]增大轴向旋转角度a，即会带来高阀内部空间增加，不利于抽气;减小轴向旋转角度a，则面临阀板组件2有可能不能完全打开，即高阀打开不完全，抽气口变小，同样不利于抽气效果。同时轴向旋转角度a与上述公式的D、d尺寸大小也有关系。
[0027]考虑实际应用时尽量减小高阀内部空间，且同时可保证能够完全打开阀板组件2以便抽气，一般我们都将Dl和D2设计成同样尺寸，同时轴向旋转角度a范围设计为60°-120°之间，优选为90°。
[0028]综上所述，本实用新型提供一种新型高真空高阀，采用轴向旋转的方式来驱动阀板，以实现高阀的打开与关闭，且采用密封圈进行密封，密封效果好，结构简单，成本低;采用伺服电机驱动阀板，精度高，灵敏特性高，可以保证阀板位置的准确性和一致性，阀板开关动作的重复性好。
[0029]当然，以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外，本实用新型还可以有其它实施方式，凡采用等同替代或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型所要求保护的范围之内。
【主权项】
1.一种新型高真空高阀，其特征在于:包括有法兰、阀板组件及阀座，所述法兰与阀座连接在一起，所述阀板组件包括:旋转轴以及设于所述旋转轴上的阀板，所述法兰上设有阀板安装孔以及通气孔，所述旋转轴安装于所述阀板安装孔中，以将所述阀板组件安装于所述法兰上，所述阀板在所述旋转轴带动下进行轴向旋转实现对通气孔的打开或关闭。2.根据权利要求1所述的高真空高阀，其特征在于:所述阀板进行轴向旋转的角度为60。-120。。3.根据权利要求2所述的高真空高阀，其特征在于:所述阀板进行轴向旋转的角度为90。。4.根据权利要求2所述的高真空高阀，其特征在于:所述阀板进行轴向旋转是采用伺服电机驱动完成的。5.根据权利要求1所述的高真空高阀，其特征在于:所述法兰采用连接螺栓与所述阀座连接固定在一起。6.根据权利要求1所述的高真空高阀，其特征在于:还包括第一与第二密封圈，所述第一密封圈设于所述通气孔的外沿，所述第二密封圈设于所述法兰的外沿。
【文档编号】F16K51/02GK205689894SQ201620298522
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年4月12日 公开号201620298522.9, CN 201620298522, CN 205689894 U, CN 205689894U, CN-U-205689894, CN201620298522, CN201620298522.9, CN205689894 U, CN205689894U
【发明人】宋光耀, 战捷, 曹永盛
【申请人】深圳市三海科技有限公司