尾气管路加热装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提出了一种尾气管路加热装置，包括热源排风管、加热外管、泄压管路、泄压阀、密封件及贴片热敏；尾气管路位于加热外管内，并保持预定距离；加热外管一端连接热源排风管，另一端接排气端；泄压管路连接加热外管；泄压阀设于泄压管路上；密封件密封尾气管路和加热外管连接处；贴片热敏紧贴尾气管路。在尾气管路外套上加热外管，加热外管的一端连接一热源排风管，热源排风管为设备机台自带部件，且能够提供高温气体，加热外管可以通过热源排风管中提供的高温气体对尾气管路进行加热处理，且无需增加额外部件，具有成本低廉，易于实现等优点。
【专利说明】
尾气管路加热装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种尾气管路加热装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造领域，设备机台会由栗对设备机台的反应腔室持续进行反应残留物和反应尾气的抽出，从而排出残留物和反应尾气，保证每一次工艺反应的反应环境的合格。抽出的残留物和气体通常需要经过尾气管路排出。通常情况下，残留物和反应尾气均需要维持在一定温度以上，若温度变为室温，则会导致残留物和反应尾气结晶或者形成粉末聚集在尾气管路中，堵塞尾气管路。因此，需要对尾气管路进行加热，以防止其被堵塞。
[0003]因此，无论是常压还是减压系统，为了减少尾气管路的定期维护(PM)次数，延长使用周期，通常都是采用包裹加热带(heating jacket)对尾气管路进行加热的方式。加热带一般由控制器、包裹层和加热组件构成。通常，控制器费用很昂贵，而且需要额外提供电源，使用成本也较高。由于尾气管路通常较长，导致成本额外高昂，不利于进行降低生产成本。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种尾气管路加热装置，能够节约成本，并且实现简单。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型提出了一种尾气管路加热装置，包括:热源排风管、加热外管、泄压管路、泄压阀、密封件及贴片热敏;其中，尾气管路位于所述加热外管内，并保持预定距离;所述加热外管一端连接所述热源排风管，另一端接排气端;所述泄压管路连接所述加热外管;所述泄压阀设于所述泄压管路上;所述密封件密封所述尾气管路和加热外管连接处;所述贴片热敏紧贴所述尾气管路。
[0006]进一步的，在所述的尾气管路加热装置中，所述加热外管通过第一管路连接所述热源排风管。
[0007]进一步的，在所述的尾气管路加热装置中，所述第一管路上设有第一阀门。
[0008]进一步的，在所述的尾气管路加热装置中，所述加热外管通过第二管路连接排气端。
[0009]进一步的，在所述的尾气管路加热装置中，所述第二管路上设有第二阀门。
[0010]进一步的，在所述的尾气管路加热装置中，所述加热外管内壁上设有铝箔层。
[0011]进一步的，在所述的尾气管路加热装置中，所述加热外管的管径大于所述尾气管路的管径。
[0012]与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在:在尾气管路外套上加热外管，加热外管的一端连接一热源排风管，热源排风管为设备机台自带部件，且能够提供高温气体，加热外管可以通过热源排风管中提供的高温气体对尾气管路进行加热处理，且无需增加额外部件，具有成本低廉，易于实现等优点。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一实施例中尾气管路加热装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合示意图对本实用新型的尾气管路加热装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0015]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0016]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0017]请参考图1，在本实施例中，提出了一种尾气管路加热装置，包括:热源排风管10、加热外管20、泄压管路40、泄压阀41、密封件80及贴片热敏70;其中，尾气管路30位于所述加热外管20内，并保持预定距离，即所述加热外管20的管径大于所述尾气管路30的管径;所述加热外管20—端连接所述热源排风管10，另一端接排气端90;所述泄压管路40连接所述加热外管20;所述泄压阀41设于所述泄压管路40上;所述密封件80密封所述尾气管路30和加热外管20连接处;所述贴片热敏70紧贴所述尾气管路30。
[0018]在本实施例中，所述加热外管20通过第一管路50连接所述热源排风管10。所述第一管路50上设有第一阀门51。所述加热外管20通过第二管路60连接排气端90，排气端90可以为厂务排气端。所述第二管路60上设有第二阀门61。第一阀门51和第二阀门61分别控制第一管路50和第二管路60的通断。
[0019]在本实施例中，所述热源排风管10为设备机台自带管路，其可以提供温度在1100摄氏度甚至更高的高温气体。将其连接至加热外管20中，高温气体能够对位于加热外管20中的尾气管路30进行加热处理，维持尾气管路30的温度。为了防止热扩散，在所述加热外管20内壁上设有铝箔层。
[0020]为了能够控制加热外管20中高温气体的流量，可以在尾气管路30侧壁上紧贴一贴片热敏70，从而能够监测尾气管路30的温度，避免其温度过高。当温度达到预定温度时，可以通过关闭第一阀门51，避免放入更多的高温气体至加热外管20中对尾气管路30进行加热；当温度较低时，则可以打开第一阀门51，放入更多的高温气体至加热外管20中对尾气管路30进行加热。
[0021]其中，泄压管路40—方面用于排泄加热外管20中过多的高温气体，另一方面，当加热外管20中存在一定的液体或水残留时，可以通过泄压管路40排出。
[0022]综上，在本实用新型实施例提供的尾气管路加热装置中，在尾气管路外套上加热外管，加热外管的一端连接一热源排风管，热源排风管为设备机台自带部件，且能够提供高温气体，加热外管可以通过热源排风管中提供的高温气体对尾气管路进行加热处理，且无需增加额外部件，具有成本低廉，易于实现等优点。
[0023]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种尾气管路加热装置，其特征在于，包括:热源排风管、加热外管、泄压管路、泄压阀、密封件及贴片热敏;其中，尾气管路位于所述加热外管内，并保持预定距离;所述加热外管一端连接所述热源排风管，另一端接排气端;所述泄压管路连接所述加热外管;所述泄压阀设于所述泄压管路上;所述密封件密封所述尾气管路和加热外管连接处;所述贴片热敏紧贴所述尾气管路。2.如权利要求1所述的尾气管路加热装置，其特征在于，所述加热外管通过第一管路连接所述热源排风管。3.如权利要求2所述的尾气管路加热装置，其特征在于，所述第一管路上设有第一阀门。4.如权利要求1所述的尾气管路加热装置，其特征在于，所述加热外管通过第二管路连接排气端。5.如权利要求4所述的尾气管路加热装置，其特征在于，所述第二管路上设有第二阀门。6.如权利要求1所述的尾气管路加热装置，其特征在于，所述加热外管内壁上设有铝箔层。7.如权利要求1所述的尾气管路加热装置，其特征在于，所述加热外管的管径大于所述尾气管路的管径。
【文档编号】F24H3/00GK205716436SQ201620623889
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月22日
【发明人】赵旭良, 牛景豪
【申请人】上海新昇半导体科技有限公司