充气系统的制作方法

文档序号:14918930发布日期:2018-07-11 02:38

本实用新型涉及一种充气系统,特别是一种能依据侦测模块的侦测状态,而对封闭空间进行充气的充气系统。



背景技术:

随着科技的进步,各式产品(例如电子零件、食品等)的生产商发现影响成品合格率的因素,除了相关制程设计及控制外,半成品及成品在运载或是制作过程中,其所处的环境状态,对最终的成品合格率也存在着直接或是间接的影响。是以,对于各式产品的生产商而言,如何控制半成品及成品在运载或是制作过程中的环境状态,成为了一个重要的课题。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的在于提供一种充气系统,用以改善现有技术中,各式半成品及成品在运载或是制作过程中容易受环境状态影响的问题。

为了实现上述目的,本实用新型提供一种充气系统,其用以对一封闭空间的内部进行气体交换,充气系统包含:一进气模块、一排气模块及一处理模块。进气模块包含:主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。主进气管路的两端分别定义为一进气端及一出气端,进气端与一供气设备连接,出气端与封闭空间连通。气动开关单元设置于主进气管路,气动开关单元能选择性地阻断进气端与出气端的连通。副进气管路的两端分别与气动开关单元及主进气管路相连通。电动开关单元设置于副进气管路,电动开关单元能选择性地阻断副进气管路两端的连通;当电动开关单元使副进气管路的两端相互连通时,由进气端进入的气体,能通过气动开关单元,而由出气端进入封闭空间。排气模块通过一排出管路与封闭空间相连通,排气模块能选择性地使封闭空间的气体向外排出。侦测模块能选择性地产生一侦测信号。处理模块电连接进气模块、排气模块及侦测模块;处理模块能依据侦测信号,控制进气模块及排气模块的动作,以选择性地对封闭空间进行气体交换作业。

优选地,排气模块还包含有一排气单元及一辅助排气单元,排气单元与排出管路相连接,排气单元用以将排出管路中的气体向外排出;辅助排气单元设置于排出管路,辅助排气单元能辅助排气模块将封闭空间的气体快速向外排出。

优选地,辅助排气单元还与主进气管路相连通,而部份主进气管路的气体能进入辅助排气单元,辅助排气单元能与排气单元相互配合,以使排出管路呈现为负压状态。

优选地,排气模块还包含有一调节单元,其连接主进气管路及辅助排气单元,调节单元能调节由主进气管路进入辅助排气单元的气体流量。

优选地,充气系统应用于一晶圆载具平台,晶圆载具平台包含有一承载台,承载台用以承载一晶圆载具;承载台设置有多个喷嘴,侦测模块包含有至少一载具种类侦测单元,载具种类侦测单元能侦测承载台设置的晶圆载具的种类;处理模块能依据载具种类侦测单元侦测晶圆载具的种类,而对应控制进气模块及排气模块,通过多个喷嘴,对晶圆载具内的封闭空间进行气体交换。

优选地,当承载台设置有特定的晶圆载具,且承载台对应卡合固定晶圆载具时,晶圆载具平台将对应产生一卡合信号;载具种类侦测单元包含有一传感器,其设置于承载台,承载台设置特定的晶圆载具时,传感器能对应产生一感测信号,处理模块能于接收感测信号及卡合信号,而选择性地控制进气模块及排气模块进行动作。

优选地,承载台具有一卡合组件,卡合组件用以夹持晶圆载具,以使晶圆载具能稳固地设置于承载台,当卡合组件夹持晶圆载具时,能对应产生一卡合信号;载具种类侦测单元包含有一传感器,其设置于承载台,当承载台设置特定的晶圆载具时,传感器能对应产生一感测信号;当处理模块接收感测信号及卡合信号时,处理模块将控制进气模块及排气模块对晶圆载具进行充气作业。

优选地,侦测模块包含有至少一载具侦测单元,载具侦测单元能用以侦测承载台是否设置有晶圆载具;处理模块能于载具侦测单元侦测承载台设置有晶圆载具时,选择性地控制进气模块及排气模块,对晶圆载具内的封闭空间进行气体交换。

优选地,侦测模块还包含有一温湿度侦测单元,其设置于排出管路,温湿度侦测单元用以侦测由封闭空间所排出的气体的温度及湿度。

优选地,副进气管路更设置有一压力调节阀,其用以调整副进气管路的气体压力;主进气管路邻近于出气端还设置有一流量侦测单元,其用以侦测通过气动开关单元的气体流量;主进气管路邻近于出气端还设置有一气体过滤单元,其能过滤通过气动开关单元的气体中的特定分子。

本实用新型的有益效果还在于:通过进气模块、排气模块、侦测模块及处理模块的相互配合,可以于适当的时机对封闭空间进行气体交换,借此可有效地控制封闭空间的环境状态,从而可有效降低封闭空间的环境状态对设置于封闭空间的半成品或是成品的影响。

附图说明

图1为本实用新型的充气系统的方块示意图;

图2、3为本实用新型的充气系统应用于晶圆载具平台的示意图。

具体实施方式

请参阅图1,其为本实用新型的充气系统的示意图。如图所示,充气系统 1包含有一进气模块10、一排气模块20、一侦测模块30及一处理模块(图未示)。充气系统1用以对一封闭空间SP的内部进行气体交换。所述封闭空间 SP例如可以是依据需求为任何装置(例如晶圆盒)的内部或是房间的内部等。

进气模块10包含:一主进气管路101及一副进气管路11。主进气管路101 的两端分别定义为一进气端101a及一出气端101b,进气端101a与一供气设备IN连接,出气端101b与封闭空间SP连通。主进气管路101的实际实施例,例如可以是软管或是硬管,不加以限制,其可依据需求加以变化;供气设备 IN例如可以是钢瓶或是厂房原本配置有的配气管路等;当然,主进气管路101 的出气端101b可以是设置有压力阀102,以用以调节供气设备IN进入主进气管路101的气体压力。出气端101b与封闭空间的连接方式,依据需求可以加以变化,举例来说,所述封闭空间可以是晶圆盒(例如FOUP、FOSB)的内部空间,而所述出气端101b可以是通过喷嘴等相关结构与晶圆盒的内部空间相连通。

进气模块10还包含有一气动开关单元103,其设置于主进气管路101,气动开关单元103能选择性地阻断进气端101a与出气端101b的连通,即,气动开关单元103可以选择性地使由进气端101a进入主进气管路101的气体无法流动至封闭空间SP中。气动开关单元103所通入的气体压力,到达预定压力时,气动开关单元103将会使其所连接的管路相连通,所述预定压力可以是依据需求加以设计。在实际应用中,气动开关单元103可以是保持常闭的状态,而在进入气动开关单元103的气体压力达到预定的状态时,气动开关单元103 才对应使进气端101a与出气端101b彼此相连通。

副进气管路11的两端分别与气动开关单元103及主进气管路101相连通。电动开关单元111设置于副进气管路11,电动开关单元111能选择性地阻断副进气管路11两端的连通;所述电动开关单元111电连接处理模块,处理模块能利用电子控制的方式,控制电动开关单元111的启闭。当电动开关单元 111使副进气管路11的两端相互连通时,由进气端101a进入的气体,通过副进气管路11后,能对应开启气动开关单元103,据以使进气端101a与出气端 101b彼此相连通,而由进气端101a进入的气体将可以流动至封闭空间SP中。换句话说,气动开关单元103必需是在副进气管路11畅通的状态下,才得以被开启,而在副进气管路11不畅通(即处理模块控制电动开关单元111关闭) 时,气动开关单元103则是呈现为关闭的状态。当然,在不同应用中,也可以是使气动开关单元103可以在特定的状态下,可以直接通过主进气管路101 的气体进行启闭作业。

在较佳的应用中,主进气管路101还可以设置有一气压侦测单元104,副进气管路11还可以设置有一压力调整阀112。气压侦测单元104用以侦测主进气管路101的气体压力,其可以通过有线或是无线的方式,将其所侦测的相关信息传递至处理模块(例如是工业计算机等);当然,气压侦测单元104也可以是机械指针式,不加以限制。压力调整阀112用以调整通过电动开关单元 111的气体压力,即,对应控制在电动开关单元111开启时,通过副进气管路 11而进入气动开关单元103的气体压力。在实际应用中,压力调整阀112可以是手动或是电动形式,不加以限制;且压力调整阀112所侦测到的压力值可以是通过有线或是无线的方式传递至处理模块。

在特殊的应用中,电动开关单元111可以是设计为在电动开关单元111 发生不预期的断电问题时,电动开关单元111仍可保持未断电前的状态。亦即,电动开关单元111在通电而使副进气管路11的两端相连通的状态下,遭遇不预期的断电时,电动开关单元111可以仍保持副进气管路11两端的连通;相反地,电动开关单元111在通电且使副进气管路11阻断的状态下,遭遇不预期的断电时,电动开关单元111可以仍保持副进气管路11的两端不连通。

在实际应用中,主进气管路101还可以设置有一流量侦测单元105及一气体过滤单元106,流量侦测单元105可以设置于气动开关单元103与出气端 101b之间,而气体过滤单元106则可以邻近于出气端101b设置。流量侦测单元105用以侦测通过气动开关单元103的气体流量。流量侦测单元105可以是通过有线或无线的方式电连接处理模块,而可据以将侦测所产生的相关信号传递至处理模块;当然,流量侦测单元105也可以是机械指针式。通过流量侦测单元105的设置,不但可以量测通过气动开关单元103的气体流量外,还可以用以判断气动开关单元103是否正常运作。

排气模块20能通过一排出管路201与封闭空间SP相连接。排气模块20 至少包含有一排气单元21,所述排气单元21能受处理模块控制而选择性地使封闭空间SP的气体向外排出。所指的排气单元21可以是任何能使排出管路 201中的气体向远离封闭空间SP的方向流动的构件。较佳地,排气模块20还可以包含有一电磁阀22及一气压侦测单元23,电磁阀22电连接处理模块,而处理模块可以选择性地控制电磁阀22的启闭,以使电磁阀22选择性地阻断排出管路201。气压侦测单元23用以侦测排出管路201的气体压力,气压侦测单元23可以是电连接处理模块,而处理模块则可实时地接收气压侦测单元 23所量测的排出管路201的气体压力。

在不同的应用中,排气模块20还可以是包含有一辅助排气单元24,其设置于排出管路,辅助排气单元24能辅助排气模块20将封闭空间SP的气体快速向外排出。举例来说,辅助排气单元24可以是与主进气管路101相连通,而部份主进气管路101的气体能进入辅助排气单元24,辅助排气单元24能与排气单元21相互配合,以使排出管路201呈现为负压状态,据以可加速将排出管路中的气体排出;较佳地,排气模块20还可以包含有一调节单元25,其两端分别连接主进气管路101及辅助排气单元24,而调节单元25能用以调节由主进气管路101进入辅助排气单元24的气体流量,据以对应调整辅助排气单元24所产生的负压的大小。

侦测模块30用以侦测一环境状态,以对应产生一侦测信号;处理模块电连接侦测模块30,而处理模块能依据侦测信号,对应控制进气模块10及排气模块20对封闭空间SP,进行气体交换作业。举例来说,侦测模块30可以是包含有一温湿度侦测单元31,其可以是设置于排出管路201,而温湿度侦测单元31用以侦测排出管路201的气体的湿度及温度,据以得知封闭空间SP内的气体状态。当然,侦测模块30不局限于设置于排出管路201的温湿度侦测单元31,侦测模块30可以是依据需求包含有各式的侦测器(例如用以侦测特定气体的浓度、温度、酸碱等),而处理模块则可以是依据不同侦测器所传递的侦测信号,对应决定进气模块10及排气模块20的动作。

处理模块电连接进气模块10、排气模块20及侦测模块30,处理模块可以是依据侦测模块30所传递的侦测信号,而控制进气模块10及排气模块20对封闭空间进行气体交换的作业。举例来说,处理模块可以是在温湿度侦测单元 31侦测到由封闭空间SP所排出的特定气体的湿度高于一预定值时,控制相关装置动作(例如屏幕画面、警示灯、警示声)以提醒相关人员,而后相关人员则可以是依据需求,处理模块控制进气模块10及排气模块20的动作。其中,所述处理模块例如可以是工业计算机、微处理器等,不加以限制。

请一并参阅图1至图3,本实用新型的充气系统1可以是应用于晶圆载具平台A;在以下说明中将沿用前述实施例所界定的各个构件,而在以下实施例中,将不再针对所述些构件进行详细说明。所述晶圆载具平台A包含有一承载台A1及多个喷嘴A2。承载台A1用以设置一晶圆载具(FOUP)B。多个喷嘴A2 设置于承载台A1,多个喷嘴A2是分别连接主进气管路101的出气端101b及排出管路201。于本实施例图中所示的多个喷嘴A2的设置位置,仅为示意于实际应用中,不以其为限。

前述侦测模块30还可以是包含有至少一载具侦测单元32,载具侦测单元 32用以侦测承载台A1是否设置有晶圆载具B;前述处理模块能于载具侦测单元32侦测承载台A1设置有晶圆载具B时,选择性地控制进气模块10及排气模块20,对晶圆载具B内的封闭空间SP进行气体交换。在实际应用中,载具侦测单元32可以是包含有一第一侦测器321及三个第二侦测器322,第一侦测器321可以利用无线的方式(例如红外线、超音波感测等)判断晶圆载具B 是否设置于承载台A1,三个第二侦测器322可以是于晶圆载具B固定设置于承载台A1时,被晶圆载具B抵压而对应产生信号。处理模块接收第一侦测器 321及第二侦测器322侦测晶圆载具B所产生的信号后,可据以确认承载台A1 是否设置有晶圆载具B。值得一提的是,所指的第一侦测器321及三个第二侦测器322,是可以用以检测任何形式的晶圆载具B,且利用三个第二侦测器322 将可有效提高检测的准确性;当然,在不同的应用中,第二侦测器322的数量亦可依据需求增减。

在另外的实施例中,侦测模块30还可以是包含有至少一载具种类侦测单元33。载具种类侦测单元33设置于承载台A1,其能用以侦测设置承载台A1 的晶圆载具B的种类,以对应产生相关侦测信号;处理模块则能依据载具种类侦测单元33侦测晶圆载具B的种类,而对应判断所述晶圆载具B的是否需要进行充气,处理模块再进一步控制进气模块10及排气模块20,分别利用相对应的喷嘴A2,对晶圆载具B内的封闭空间SP进行充气作业。具体来说,不同的晶圆载具B的进、排气孔及其相关结构的设置位置可能不尽相同,因此,通过载具种类侦测单元33的侦测,处理模块能对应控制进气模块10及排气模块 20,依据不同的晶圆载具B,而对应利用不同的喷嘴A2,对晶圆载具B的内部进行气体交换。或者,处理模块能依据不同的晶圆载具B,而控制进气模块10 及排气模块20使不同的气体,交换至晶圆载具B中。

在实际应用中,当特定的晶圆载具B固定设置于承载台A1时,载具种类侦测单元33将会被触发,而产生相对应的感测信号,处理模块接收载具种类侦测单元33所传递的感测信号后,若处理模块也接收到来自承载台A1的卡合组件A3所传递的一卡合信号,则处理模块将对应控制进气模块10及排气模块 20对晶圆载具B的内部进行充气作业。所述卡合组件A3是用以夹持设置于承载台A1上的晶圆载具B,且卡合组件A3在夹持晶圆载具B后,将会对应产生所述卡合信号。若处理模块仅接收所述感测信号或是卡合信号,处理模块将不会控制进气模块10及排气模块20对晶圆载具B进行充气作业。在不同的应用中,所述充气系统1的侦测模块30的载具种类侦测单元33,可以是包含有所述卡合组件A3,或者是用以侦测卡合组件A3与晶圆载具B的卡合状态的传感器。

再多了解一些
当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1