1.一种充气系统，其特征在于，所述充气系统用以对一封闭空间的内部进行气体交换，所述充气系统包含：
一进气模块，其包含：
一主进气管路，其两端分别定义为一进气端及一出气端，所述进气端与一供气设备连接，所述出气端与所述封闭空间连通；
一气动开关单元，其设置于所述主进气管路，所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通；
一副进气管路，其两端分别与所述气动开关单元及所述主进气管路相连通；及
一电动开关单元，其设置于所述副进气管路，所述电动开关单元能选择性地阻断所述副进气管路两端的连通；当所述电动开关单元使所述副进气管路的两端相互连通时，由所述进气端进入的气体，
能通过所述气动开关单元，而由所述出气端进入所述封闭空间；
一排气模块，其通过一排出管路与所述封闭空间相连通，所述排气模块能选择性地使所述封闭空间的气体向外排出；
一侦测模块，其能选择性地产生一侦测信号；以及
一处理模块，其电连接所述进气模块、所述排气模块及所述侦测模块；
所述处理模块能依据所述侦测信号，控制所述进气模块及所述排气模块的动作，以选择性地对所述封闭空间进行气体交换作业。
2.依据权利要求1所述的充气系统，其特征在于，所述排气模块还包含有一排气单元及一辅助排气单元，所述排气单元与所述排出管路相连接，所述排气单元用以将所述排出管路中的气体向外排出；所述辅助排气单元设置于所述排出管路，所述辅助排气单元能辅助所述排气模块将所述封闭空间的气体快速向外排出。
3.依据权利要求2所述的充气系统，其特征在于，所述辅助排气单元还与所述主进气管路相连通，而部份所述主进气管路的气体能进入所述辅助排气单元，所述辅助排气单元能与所述排气单元相互配合，以使所述排出管路呈现为负压状态。
4.依据权利要求3所述的充气系统，其特征在于，所述排气模块还包含有一调节单元，其连接所述主进气管路及所述辅助排气单元，所述调节单元能调节由所述主进气管路进入所述辅助排气单元的气体流量。
5.依据权利要求1所述的充气系统，其特征在于，所述充气系统应用于一晶圆载具平台，所述晶圆载具平台包含有一承载台，所述承载台用以承载一晶圆载具；所述承载台设置有多个喷嘴，所述侦测模块包含有至少一载具种类侦测单元，所述载具种类侦测单元能侦测所述承载台设置的所述晶圆载具的种类；所述处理模块能依据所述载具种类侦测单元侦测所述晶圆载具的种类，而对应控制所述进气模块及所述排气模块，通过多个所述喷嘴，对所述晶圆载具内的封闭空间进行气体交换。
6.依据权利要求5所述的充气系统，其特征在于，当所述承载台设置有所述晶圆载具，且所述承载台对应卡合固定所述晶圆载具时，所述晶圆载具平台将对应产生一卡合信号；所述载具种类侦测单元包含有一传感器，其设置于所述承载台，所述承载台设置所述晶圆载具时，所述传感器能对应产生一感测信号，所述处理模块能于接收所述感测信号及所述卡合信号，而选择性地控制所述进气模块及排气模块进行动作。
7.依据权利要求5所述的充气系统，其特征在于，所述承载台具有一卡合组件，所述卡合组件用以夹持所述晶圆载具，以使所述晶圆载具能稳固地设置于所述承载台，当所述卡合组件夹持所述晶圆载具时，能对应产生一卡合信号；所述载具种类侦测单元包含有一传感器，其设置于所述承载台，当所述承载台设置所述晶圆载具时，所述传感器能对应产生一感测信号；当所述处理模块接收所述感测信号及所述卡合信号时，所述处理模块将控制所述进气模块及排气模块对所述晶圆载具进行充气作业。
8.依据权利要求5所述的充气系统，其特征在于，所述侦测模块包含有至少一载具侦测单元，所述载具侦测单元能用以侦测所述承载台是否设置有所述晶圆载具；所述处理模块能于所述载具侦测单元侦测所述承载台设置有所述晶圆载具时，选择性地控制所述进气模块及所述排气模块，对所述晶圆载具内的所述封闭空间进行气体交换。
9.依据权利要求1所述的充气系统，其特征在于，所述侦测模块还包含有一温湿度侦测单元，其设置于所述排出管路，所述温湿度侦测单元用以侦测由所述封闭空间所排出的气体的温度及湿度。
10.依据权利要求1所述的充气系统，其特征在于，所述副进气管路更设置有一压力调节阀，其用以调整所述副进气管路的气体压力；所述主进气管路邻近于所述出气端更设置有一流量侦测单元，其用以侦测通过所述气动开关单元的气体流量；所述主进气管路邻近于所述出气端更设置有一气体过滤单元，其能过滤通过所述气动开关单元的气体中的分子。