一种分支阀箱的制作方法

文档序号:14962792发布日期:2018-07-18 01:15

本实用新型涉及化学品输送领域,特别是涉及一种分支阀箱。



背景技术:

随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化,其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程后端化学品废液回收系统,回收酸碱废液中多种贵金属,涉及到多种危险化学品输送和应用,此类化学品都具有高危害性,高腐蚀性。

在前端机台将化学品输送至阀箱中间管路,若管路太长或需要分歧管路,因供应管路为双套管,需设计对应的分支阀箱将三通连接、阀门连接等含连接点的部分包含在内,以防止漏液。



技术实现要素:

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种分支阀箱,能够在化学品输送管路中将三通连接、阀门连接等含连接点的部分包含在内,防止漏液。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种分支阀箱,包括:阀箱、手阀、三通管件和内管;所述手阀和三通管件设在阀箱内,手阀与三通管件通过内管连接;所述阀箱一侧设有入口接头,阀箱另一侧设有出口接头,入口接头位于阀箱内的一端通过内管与手阀连接,出口接头位于阀箱内的一端通过内管与三通管件连接;所述阀箱底部设有一节透明短管,透明短管上安装有阀门,阀门与阀箱之间的透明短管上固定有电容式泄露检测器。

进一步,所述透明短管上安装有传感器固定座,所述电容式泄露检测器固定在传感器固定座上。

进一步,所述阀箱上端设有可拆卸门。

进一步,所述入口接头和出口接头位于阀箱外的一端上均连接有双套管。

进一步,所述阀箱通过板材焊接而成,板材为不锈钢材质。

进一步,所述阀箱通过板材焊接而成,板材为透明PVC材质。

本实用新型的有益效果是:本实用新型能够在化学品输送管路中将三通连接、阀门连接等含连接点的部分包含在内,防止漏液。

附图说明

图1是本实用新型一种分支阀箱一较佳实施例的结构示意图;

图2是所示一种分支阀箱的A-A剖视结构示意图。

附图中各部件的标记如下:1、阀箱;2、手阀3、三通管件;4、内管;5、入口接头;6、出口接头;7、明短管;8、阀门;9、传感器固定座;10、可拆卸门。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1和图2,本实用新型实施例包括:

一种分支阀箱,包括:阀箱1、手阀2、三通管件3和内管4;所述手阀和三通管件设在阀箱内,手阀与三通管件通过内管连接;所述阀箱一侧设有入口接头5,阀箱另一侧设有出口接头6,入口接头位于阀箱内的一端通过内管与手阀连接,出口接头位于阀箱内的一端通过内管与三通管件连接,入口接头和出口接头位于阀箱外的一端上均连接有双套管,接头内径与双套管外径相匹配;所述阀箱底部设有一节透明短管7,透明短管上安装有阀门8,方便排液,阀门与阀箱之间的透明短管上固定有传感器固定座9,电容式泄露检测器固定在传感器固定座上。阀箱上端设有可拆卸门10,方便维护。所述阀箱通过板材焊接而成,根据化学品物性不同,有机类采用不锈钢板材,酸碱类采用透明PVC板材。机台内的管道阀门等材料依次类别。本实用新型能够在化学品输送管路中将三通连接、阀门连接等含连接点的部分包含在内,防止漏液。

以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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