一种供气切换设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及气体输送技术领域，特别是涉及一种供气切换设备。
【背景技术】
[0002]随着我国工业化进程的推进，各种设备被不断优化结构以适应节能等方面的需求。其中在气体输送设备中，需要用到供气切换设备。
[0003]近年来，对于多通道供气系统中，根据气源设定指标进行不同通道之间的切换设备中，对可利用气体最大化地利用以达到节能环保和节约成本，以及准确地提供合格气体以供使用等方面的要求越来越高，因此，根据气体性能指标，对合格气体最大化地利用、节约成本和准确地提供合格气体等成设计目标。
[0004]现有技术中，常利用电子特气柜与多气瓶进行并联，气瓶中存储具有一定压力与纯度的待用气体，待用气体可以为某种特气，所谓特气，是指某些具有特别用途且价格较昂贵的气体，例如锗烷。纯度为一定体积中特气的含量，由于气罐中存在一定量的杂质，气压降低时，所输出气体的纯度随之下降。电子特气柜对各个气瓶中的气压进行监测，当正使用中的某罐气体的压力值低于设定值时，电子特气柜根据检测到的气压值进行气瓶切换，将另一瓶待用的气瓶接通以继续提供特气，而关闭前一瓶气压低于标准设定值的气瓶，这便于将此使用完毕的气瓶进行更换，以维持本管路接入口具有新的满瓶待用的状态。
[0005]而在上述电子特气柜的结构设置中，与电子特气柜所连接的各个气瓶被电子特气柜所监测的指标仅为气瓶压力，对于密闭状态下的气瓶，其内部压力随温度的变化而变化，对于不同地域的温差，特别是不同季节的温度差异显著，这使得单以气瓶压力判断气瓶中的特气是否被完全地使用这一工艺设置方式具有局限性。第一、根据生产流程使用需求，所供特气的压力必须处于某一压力值以上方能保障后续生产的顺利进行，因此，气瓶压力数值的检测是必须的；第二、影响气瓶中所使用气体是否符合使用要求的另一个决定性指标为纯度，当纯度达不到使用要求时，也必须停止使用此气瓶中的气体。对于以上两点，由于纯度与压力这两个指标存在一定的关联性，当气瓶中的压力较高时，所输出的较高压力的气体的纯度能够符合要求，而当压力明显过低时，所输出气体的纯度存在不合格的概率较大。之所以不能够将纯度和压力这两个指标作出绝对地对应关系，与上述压力随温度的变化而产生波动有关。现有技术中，为得到所需压力值以上，同时纯度符合要求的气体，通常以调高压力检测的最低值方式进行保障，以锗烷为例，按标准设置，满罐压力为1235PIS(PIS为英制压力单位)，净重为2.6公斤，而行业标准是在重量剩余10%作为更换气罐的设定值，按此行标，锗烷罐应在123.5PSI压力时应予以更换，而对于半导体、光伏行业的工艺需求，锗烷气在15PSI压力以上便能够符合使用要求，但顾及低气压状态的锗烷气能否满足纯度要求的考虑，故实际应用中，通常以行标的123.5PSI压力作为指导标准，因此，在更换气罐时，可能存在依然能够被利用的锗烷气被浪费的状态。相对应地，若罐内气体的压力符合检测标准，而实际输出气体的纯度达不到使用要求，则供气切换设备无法满足合格供气的要求。由此，现有技术中只通过压力测量装置所检测出的压力数据作为切换气瓶的单一指标这一结构设置降低了合格气体利用的效率、提高了用气成本，同时无法准确地提供合格气体。
[0006]上述现有技术中的供气切换设备的合格气体利用率低、用气成本高和提供合格气体的准确性低是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型的目的是提供一种供气切换设备，通过本实用新型的应用，将明显提高合格气体的利用率、降低用气成本，同时提高合格气体供给的准确性。
[0008]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种供气切换设备，包括至少两个并联的气罐、分别检测各个所述气罐压力的压力检测装置，与所述压力检测装置信号接通且能够控制各个所述气罐通断切换的第一控制器，还包括用于检测各个所述气罐输出气体的纯度的纯度检测装置和能够控制各个所述气罐通断切换的第二控制器，所述纯度检测装置与所述第二控制器信号接通。
[0009]优选地，所述第一控制器和所述第二控制器为一体结构控制器，能够控制各个所述气罐通断切换的所述一体结构控制器分别与所述压力检测装置和所述纯度检测装置信号接通。
[0010]优选地，所述一体结构控制器具体为可编程逻辑控制器。
[0011]优选地，还包括用于发出通断切换提示信息的提示装置，所述提示设备与所述可编程逻辑控制器信号接通。
[0012]优选地，所述纯度检测装置具体为纯度分析仪。
[0013]优选地，还包括压力调节阀，所述纯度检测装置通过所述压力调节阀与所述气罐连通。
[0014]优选地，还包括流量调节阀，所述纯度检测装置通过所述流量调节阀与所述气罐连通。
[0015]在一个关于供气切换设备的优选实施方式中，至少两个气罐并联，压力检测装置用于分别检测各个气罐的压力，同时压力检测装置与第一控制器信号接通，第一控制器根据压力数据能够控制各个气罐进行通断切换。与此同时，用于检测各个气罐输出气体的纯度的纯度检测装置与第二控制器信号接通，第二控制器能够根据纯度数据控制各个气罐进行通断。通过以上结构设置，当自某一气罐中输出的气体被压力检测装置检测出压力数值超底线，即压力过低时，由压力检测装置向第一控制器发出压力信号，第一控制器根据此压力信号控制气罐进行切换，关断此压力低的气罐并开启另一备用气罐，以保证合格压力气体的持续供应；平行地，当上述被检测压力的气罐在正常供气的状态下，其输出的气体同时被纯度检测装置检测纯度，当压力数据被压力检测装置检测为合格，而纯度数据被纯度检测装置检测为不合格时，纯度数据被接通至第二控制器，由第二控制器控制气罐进行切换，即将输出纯度不合格的气体的气罐关断，开启另一备用气管以持续供气。对于以上配合设置的压力检测装置与第一控制器，纯度检测装置和第二控制器，其两组为检测指标项不同的平行控制结构。由此，将压力参数调节至后续生产流程所需的最低压力值，而不必以高压力值来保障纯度数据的合格性，即当输出气体的压力为达到最低使用限制时，同时由纯度检测装置检测到的纯度数值为合格时，便可以对气罐内的气体进行充分地，有质量保证地利用。
[0016]现有技术中，为避免较低压力的输出气体的纯度数据不合格，而需要设置较高的最低压力输出底线，而此压力设置值高于后续生产工艺所实际需要的压力值，则在气体压力合格时，同时气体纯度数据未被检测是否合格的状态下便对气罐进行了更换，这大概率地存在被更换掉的气罐的压力与纯度均合格。如此被更换掉的气罐浪费掉了可利用的气体，增加了生产成本。同时，对应地，因温度等因素造成气罐气压的变化，在气压仍合格的情况下，而未被检测的纯度数据为不合格状态的气体被输送并使用将造成不合格气体的输出。相比于现有技术，本实用新型同时并列地设置检测压力和纯度的装置，这将明显提高合格气体的利用率、降低用气成本，同时提高合格气体供给的准确性。
【附图说明】
[0017]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0018]图1为本实用新型结构示意图；