专利名称：硅微加速度传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种可以检测双向加速度的传感器。
背景技术：
现有的加速度传感器体积大，灵敏度低，只能检测一个方向的加速度。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题提供一种可以检测两个方向加速度的高精度硅微加速度传感器。
解决上述问题的技术方案硅微加速度传感器，其组成包括外壳，所述的外壳中装有带硅微加速度芯片的电路板，所述的外壳的底部是具有相互垂直的边的底板。所述的外壳的上部是与所述的电路板相连的航空插头。
上述的硅微加速度传感器，所述的带硅微加速度芯片的电路板中包括与直流电源相连的以AD202芯片为中心件的敏感电路，与该电路相连的以TL084为中心件的偏置电路，以及与所述的编置电路相连的以TL084为中心件的放大电路，所述的敏感电路上联接有两组这样的偏置电路和放大电路。
上述的硅微加速度传感器，所述的加速度敏感电压通过AD202芯片对所述的相垂直的两个边的测振产生敏感电压，所述的偏置电路用分压电阻将输入的电压进行分压，形成新电压后，经TL084同倍放大后取得实用的偏置电压，所述的放大电路将加速度敏感电路的输出电压与编置电压相减，并放大，得到传感器的电压信号，所述的输出信号通过所述的航空插头输出。
与现有技术相比的有益效果1.本产品中由于采用单晶硅经过微细加工技术加工而成的最新型芯片，其灵敏度、分辩率、精度、线性、动态范围和稳定性等诸多方面都有良好的表现，在性能价格比上具有明显优势，其主要技术指标附后。
2.本产品的底板具有相互垂直的边，可以配合检测电路进行两个方向的测振，效果明显。
3.本产品采用航空插头，和AD202，使本产品的电路简单，体积小，使本产品的体积和重量进一步降低，更方便、更实用。
4.偏置电路的取样电压与敏感电路的电压相同，大大的降纸了漂移电压。
附图1是本产品的结构示意图。
附图2是附图1的俯视图。附图3是本产品的电原理图。
附图4是电原理图的电源电路原理图。
以下结合附图说明具体的实施方式实施例1.
硅微加速度传感器，其组成包括外壳1，所述的外壳1中装有带硅微加速度芯片的电路板2，所述的外壳1的底部是具有两对相互垂直的边的底板3，垂直边用于检测相互垂直的两个方向的信号，所述的外壳1的上部是与所述的电路板2相连的7芯航空插头4。
上述的硅微加速度传感器中，所述的带硅微加速度芯片的电路板中包括与5v直流电源相连的以AD202芯片为中心件的敏感电路，该敏感电路根据检测到的X和Y方向的振动，产生关于X、Y两个方向的加速度的敏感电压，通过AD202的两个输出电路输出。
其中以AD202为中心，其外围的电路及其联接关系按照芯片手册中关于AD202的外接电路联接示意图，其振动信号通过输入电路进入芯片中。
该电信号进入与该电路相连的以TL084为中心件的偏置电路，所述的偏置电路用分压电阻R1、R1.5和R2将输入的电压进行分压，形成2.5v新电压后，经TL084同倍放大后取得实用的偏置电压。
然后信号进入到所述的偏置电路相连的以TL084为中心件的放大电路，所述的放大电路将加速度敏感电路的输出电压与偏置电压相减，通过电阻R1′、R12、R10进行处理，并通过TL084放大，得到传感器的电压信号。
所述的敏感电路上联接有两组这样的编置电路和放大电路，分别接在敏感电路的X、Y输出信号的电路上。
所述的输出信号通过所述的航空插头输出。主要技术指标
权利要求1.一种硅微加速度传感器，其组成包括外壳，其特征是所述的外壳中装有带硅微加速度芯片的电路板，所述的外壳的底部是具有相互垂直的边的底板，所述的外壳的上部是与所述的电路板相连的航空插头。
2.根据权利要求1所述的硅微加速度传感器，其特征是所述的带硅微加速度芯片的电路板中包括与直流电源相连的以AD202芯片为中心件的敏感电路，与该电路相连的以TL084为中心件的偏置电路，以及与所述的偏置电路相连的以TL084为中心件的放大电路，所述的敏感电路上联接有两组这样的偏置电路和放大电路。
3.根据权利要求2所述的硅微加速度传感器，其特征是所述的加速度敏感电路通过AD202芯片对所述的相垂直的两个边的测振产生敏感电压，所述的偏置电路用分压电阻将输入电压进行分压，形成新电压后，经TL084同倍放大后取得实用的偏置电压，所述的放大电路将加速度敏感电路的输出电压与偏置电压相减，并放大，得到传感器的电压信号，所述的输出信号通过所述的航空插头输出。
专利摘要硅微加速度传感器，一种可以检测双向加速度的传感器。现有的加速度传感器体积大，灵敏度低，只能检测一个方向的加速度。本产品的组成包括外壳1，外壳1中装有带硅微加速度芯片的电路板2，外壳1的底部是具有两对相互垂直的边的底板3，外壳1的上部是与电路板2相连的7芯航空插头4，带硅微加速度芯片的电路板中包括与直流电源相连的以AD202芯片为中心件的敏感电路，与该电路相连的以TL084为中心件的偏置电路，以及与偏置电路相连的以TL084为中心件的放大电路，所述的敏感电路上联接有两组这样的偏置电路和放大电路。本产品是一种体积小、灵敏度高的传感器。
文档编号G01P15/08GK2557952SQ02210940
公开日2003年6月25日 申请日期2002年3月28日 优先权日2002年3月28日
发明者尚利军, 郭迅 申请人:哈尔滨北奥振动技术开发有限责任公司