专利名称：法兰结构的硅压阻式压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是一种由硅压力芯体和外部接口封装而成的硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体，属于仪器仪表测量技术领域。
附图
是本实用新型的结构示意图图中的1是法兰主体、2是盖环、3是硅芯片、4是膜片、5是硅油、6是金丝、7是瓷环、8是玻璃绝缘子、9是引脚、10是“O”型密封圈。
权利要求1.法兰结构的硅压阻式压力传感器，其特征是由法兰主体(1)、盖环(2)、硅芯片(3)、膜片(4)、硅油(5)、金丝(6)、瓷环(7)、玻璃绝缘子(8)、引脚(9)、“O”型密封圈(10)组成，其中法兰主体(1)、盖环(2)、膜片(4)通过焊接连在一起，法兰主体(1)上有安装定位孔，引脚(9)和法兰主体(1)通过玻璃绝缘子(8)连结在一起，瓷环(7)安装在引脚(9)上，硅芯片(3)粘贴在法兰主体(1)的中心部位，并通过金丝(6)和引脚(9)接在一起，法兰主体(1)的内部充满硅油(5)。
专利摘要本实用新型涉及的是一种由硅压力芯体和外部接口封装而成的法兰结构硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体，属于仪器仪表测量技术领域。其结构主要由法兰主体、盖环、硅芯片、膜片、硅油、金丝、瓷环、玻璃绝缘子、引脚、“O”型密封圈组成，其中法兰主体、盖环、膜片通过焊接连在一起，法兰主体上有安装定位孔，引脚和法兰主体通过玻璃绝缘子烧结在一起，瓷环安装在引脚上，硅芯片粘贴在法兰主体的中心部位，并通过金丝和引脚焊接在一起，法兰主体的内部充满硅油。本实用新型的优点法兰结构具有安装方便，可冲洗，可测粘稠的介质为防堵型、高频响等特点。
文档编号G01L9/06GK2539161SQ02220468
公开日2003年3月5日 申请日期2002年5月10日 优先权日2002年5月10日
发明者赵建立, 黄标, 佘德群, 高峰, 李维平 申请人:赵建立, 黄标, 佘德群, 高峰, 李维平