专利名称：微机械陀螺仪封装真空度检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及微电子机械技术领域中的一种微机械(MEMS)陀螺仪封装真空度检测装置。特别适用于MEMS器件封装真空度的检测。
背景技术：
微陀螺仪器件要求一定程度的真空封装，真空度不足，腔体内气体将对器件产生阻尼，器件灵敏度不高，性能不好；真空度过高又会发生“振荡”现象，这就要求对封装的真空度进行检测，找出适合器件性能发挥的最佳真空度数值，进而作到能控制这种真空度的封装。目前适合此范围的真空测试仪表有电阻真空计和热偶式真空计，这些真空计都有结构固定的真空规管，测试简单、方便，稳定性好，但不适合比真空规管小的封闭腔体真空度测试，如微机械陀螺仪封装腔体真空度测试。
发明内容
本实用新型的目的在于避免上述背景技术中的不足之处而提供一种微机械小腔体产品封装真空度测试的一种微机械陀螺仪封装真空度检测装置，并且本实用新型还具有结构简单，生产工艺简易，成本价格低廉，可靠性好等特点。
本实用新型的目的是这样实现的它包括陶瓷外壳1、盖板2、加热丝3、热偶丝4；其中陶瓷外壳1加工成腔体结构，加热丝3两端采用热压键合工艺固定在陶瓷外壳1腔体内对角线键合区5、7上；热偶丝4两端采用热压键合工艺固定在陶瓷外壳1腔体内对角线键合区6、8上；加热丝3和热偶丝4的交叉点9用储能焊工艺焊接连接；盖板2用低温焊料焊接在陶瓷外壳1的顶面上，陶瓷外壳1内腔对角线上的键合区5至8与对应的外部引线连接；键合区5上加热丝3的一端和键合区6上热偶丝4的一端与外部电源连接，构成加热件；键合区7上加热丝3的一端和键合区8上热偶丝4的一端与外部表头连接，构成热偶件。
本实用新型加热丝3采用铂丝、或钨丝、镍丝材料制作。热偶丝4采用康铜合金、或铂铑—铂、铜—康铜材料制作。
本实用新型相比背景技术有如下优点(1)本实用新型采用加热丝3、热偶丝4作测试件，测试范围广泛，尤其适合不能直接用真空计检测的小腔体封装产品。
(2)本实用新型检测装置制作结构简单、生产工艺简易、成本低、可靠性高。
图1是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
参照图1，它包括陶瓷外壳1、盖板2、加热丝3、热偶丝4；其中陶瓷外壳1采用多层陶瓷片制作工艺加工成腔体结构，陶瓷片由95％Al2O3瓷粉球磨流延而成，加热丝3两端采用热压键合工艺固定在陶瓷外壳1腔体内对角线键合区5、7上，加热丝3采用铂丝、或钨丝、镍丝材料制作，实施例加热丝3采用铂丝制作；热偶丝4两端采用热压键合工艺固定在陶瓷外壳1腔体内对角线键合区6、8上，热偶丝4采用康铜合金、或铂铑—铂、铜—康铜材料制作，实施例热偶丝4采用康铜合金制作。加热丝3和热偶丝4的交叉点9用储能焊工艺焊接连接；盖板2用低温焊料焊接在陶瓷外壳1的顶面上，盖板2采用可伐材料用专用模具冲制而成；陶瓷外壳1内腔对角线上的键合区5至8与对应的外部引线连接；键合区5上加热丝3的一端和键合区6上热偶丝4的一端与外部电源连接，构成加热件，产生加热电流，外接电源电压为220V；键合区7上加热丝3的一端和键合区8上热偶丝4的一端与外部表头连接，构成热偶件，产生热电势，外部表头为毫伏计。
本实用新型简要工作原理如下将封装产品本身视为测量规管，将其作成热偶式规管，对热偶式规管的加热丝3通以一定的加热电流，在低真空下热电偶产生的热电势取决于周围气体压强，热电势与内部真空度有一定对应关系，即可对所封产品腔体内真空度进行测试。并配以标准抽真空系统校准装置，得出输出热电势与真空度对应关系的值，达到真空度测试目的。
权利要求1.一种微机械陀螺仪封装真空度检测装置，它包括陶瓷外壳(1)、盖板(2)，其特征在于还包括加热丝(3)、热偶丝(4)；其中陶瓷外壳(1)加工成腔体结构，加热丝(3)两端采用热压键合工艺固定在陶瓷外壳(1)腔体内对角线键合区(5)、(7)上；热偶丝(4)两端采用热压键合工艺固定在陶瓷外壳(1)腔体内对角线键合区(6)、(8)上；加热丝(3)和热偶丝(4)的交叉点(9)用储能焊工艺焊接连接；盖板(2)用低温焊料焊接在陶瓷外壳(1)的顶面上；陶瓷外壳(1)内腔对角线上的键合区(5)至(8)与对应的外部引线连接；键合区(5)上加热丝(3)的一端和键合区(6)上热偶丝(4)的一端与外部电源连接，构成加热件；键合区(7)上加热丝(3)的一端和键合区(8)上热偶丝(4)的一端与外部表头连接，构成热偶件。
2.根据权利要求1所述的微机械陀螺仪封装真空度检测装置，其特征在于加热丝(3)采用铂丝、或钨丝、镍丝材料制作。
3.根据权利要求1或2所述的微机械陀螺仪封装真空度检测装置，其特征在于热偶丝(4)采用康铜合金、或铂铑-铂、铜-康铜材料制作。
专利摘要本实用新型公开了一种微机械陀螺仪封装真空度检测装置，涉及微电子机械技术领域一种封装真空度检测仪。它由陶瓷外壳、盖板、加热丝、热偶丝组成。它采用在低真空状态下，对热偶式规管的加热丝通以一定的加热电流，热电偶产生的热电势取决于周围气体的压强，达到真空度检测的目的。本实用新型不需真空计，具有结构简单，操作容易，成本低等特点，特别适合微惯性小型器件低真空封装腔体内真空度测试。
文档编号G01C19/00GK2653474SQ0326988
公开日2004年11月3日 申请日期2003年9月5日 优先权日2003年9月5日
发明者张丽华, 李军, 邵崇俭, 郑宏宇, 戴增荣, 邹勇明 申请人:中国电子科技集团公司第十三研究所