专利名称：试验装置及测试模块的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种对具有用于接收信号的多个元件终端的电子元件进行试验的试验装置。特别是关于一种试验装置及测试模块。
背景技术：
在习知技术中，已知有一种当对多个电子元件同时进行测定时，将测定位置的任意的输出入终端分配给任意的电子元件的构成(例如参照专利文献1。)。在该测定装置中，利用由电阻构成的同时测定用针定义台，确定测定装置的输出入终端的分配。
专利文献1日本专利早期公开的特开平5-322978号公报(第4-6页，1-4图)但是，习知的同时测定用针定义台，由与测定装置的输出入终端的数目相等个数的电阻构成。所以，在测定装置的输出入终端的数目多的情况下，时会使必要的电阻的数目增大，且使测试装置的成本上升。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种可解决上述课题的试验装置及测试模块。该目的利用权利要求范围中的独立项所记述的特征的组合而达成。而且，属项规定本发明的更加有利的具体例子。
本发明的第1形态提供一种试验装置，为一种对具有用于接收信号的多个元件终端的电子元件进行试验的试验装置，包括将表示应赋予前述元件终端的前述信号的动作的动作条件，与该元件终端建立对应并输出的动作条件输出部、将前述电子元件的测试所使用的测试信号，根据前述动作条件所示的动作而赋予前述电子元件的测试模块；前述测试模块包括别与某个前述元件终端电气连接并将前述测试信号分别供给到该元件终端的多个装置终端、用于存储表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息的终端对应存储部、将与对应前述动作条件的前述元件终端连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，对选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
也可使前述试验装置对多个前述电子元件进行试验；前述动作条件输出部指定应与形成设定前述动作条件的对象的前述装置终端进行连接的前述电子元件；前述测试模块还具有对前述多个电子元件的每一个，将用于表示与该电子元件连接的前述装置终端的每元件装置终端信息进行存储的每元件信息存储部；前述动作条件设定部将前述动作条件输出部所指定的前述电子元件中的，与前述动作条件建立对应的前述元件终端连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息及前述每元件装置终端信息进行选择，对所选择的前述装置终端，设定前述动作条件。
也可使前述动作条件输出部将前述动作条件，与多个前述元件终端的集合即终端集合建立对应并输出；前述终端对应存储部将用于表示前述终端集合、与该终端集合所包含的前述元件终端进行连接的前述装置终端的对应的信息，作为前述终端对应信息并进行存储；前述动作条件设定部根据前述终端对应信息，选择与对应于该动作条件的前述终端集合中所包含的前述元件终端进行连接的前述装置终端，在所选择的前述装置终端为与前述动作条件输出部指定的前述电子元件进行连接的前述装置终端的情况下，该装置终端设定前述动作条件。
本发明的第2形态提供一种试验装置，为一种对具有用于输出信号的多个元件终端的电子元件进行试验的试验装置，包括将表示前述元件终端输出的前述信号的期待值的动作条件，与该元件终端对应地进行输出的动作条件输出部、将前述电子元件的输出信号与前述动作条件表示的期待值进行比较的测试模块；前述测试模块包括分别与某个前述元件终端电气连接并分别输入该元件终端所输出的输出信号的多个装置终端、用于存储表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息的终端对应存储部、将与对应前述动作条件的前述元件终端连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，并设定前述动作条件，为从选择的前述装置终端所输入的前述输出信号的期待值的动作条件设定部。
也可使前述电子元件具有的前述多个元件终端分别属于多个域的某一个；试验装置包括前述动作条件输出部、多个前述测试模块、将前述多个测试模块进行连接的矩阵模块；前述多个测试模块的每一个还具有将用于表示从该测试模块具有的前述装置终端所输入的前述输出信号与关于该装置终端的前述期待值的不一致的错误信号，向前述矩阵模块进行输出的测试单元；前述矩阵模块具有多个每域集约部和多个每域分配部，其中每域集约部与前述多个域分别对应设置，并根据关于与属于该域的前述元件终端对应的各个前述装置终端的前述错误信号，生成用于表示关于属于该域的至少1个前述装置终端的前述输出信号和前述期待值的不一致的情况的域错误信号，每域分配部与前述多个域分别对应设置，并将由与该域对应的前述每域集约部所生成的前述域错误信号，对与属于该域的前述元件终端进行连接的前述测试模块的每一个进行分配。
各个前述测试模块也可在接收了前述域错误信号的情况下，进行属于该域的前述电子元件的错误处理。
也可使各个前述测试模块所具有的前述测试单元，包括多个在关于与属于相同域的2个以上的前述元件终端进行连接的2个以上的前述装置终端的某一个，前述输出信号和前述期待值不一致的情况下，将前述错误信号向前述矩阵模块进行输出的区段(segment)；前述每域集约部根据从与属于该域的前述元件终端进行连接的各个前述区段所输入的前述错误信号，生成前述域错误信号；前述每域分配部，将由与该域对应的前述每域集约部所生成的前述域错误信号，对与属于该域的前述元件终端进行连接的前述区段分别进行分配。
前述试验装置对多个前述电子元件进行试验；前述动作条件输出部指定进行试验的前述电子元件及前述域；前述矩阵模块包括将用于表示前述域和与属于该域的前述元件终端进行连接的前述区段的对应的区段对应信息进行存储的区段信息存储部、关于多个前述电子元件的每一个，将用于表示与该电子元件连接的前述区段的每元件区段信息的每元件信息存储部、根据与前述动作条件输出部所指定的前述域对应并在前述区段信息存储部中进行存储的前述区段对应信息，和与前述动作条件输出部所指定的前述电子元件对应并在前述每元件信息存储部中进行存储的前述每元件区段信息，选择与所指定的前述电子元件及前述域对应的前述区段的区段选择部；前述每域集约部根据从前述区段选择部选择的前述区段所输入的前述错误信号，生成前述域错误信号；前述每域分配部将前述域错误信号，利用前述区段选择部所选择的前述区段分别进行分配。
本发明的第3形态提供一种试验装置，为一种对分别具有用于接收信号的多个元件终端的多个电子元件进行试验的试验装置，包括将对前述元件终端赋予前述电子元件的试验中所使用的试验信号的情况下的，用于表示前述试验信号的动作的动作条件，与该元件终端建立对应，且指定应与形成将前述动作条件进行设定的对象的前述装置终端进行连接的前述电子元件而进行输出的动作条件输出部、分别与某个前述元件终端进行电气连接，并对该元件终端分别供给到前述测试信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、关于前述多个电子元件的每一个，表示与该电子元件连接的前述装置终端的每元件装置终端信息进行存储的每元件信息存储部、将前述动作条件输出部所指定的前述电子元件的，与前述动作条件相对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息及前述每元件装置终端信息进行选择，并对所选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
本发明的第4形态提供一种试验装置，为一种对分别具有用于输出信号的多个元件终端的多个电子元件进行试验的试验装置，括将表示前述电子元件输出的输出信号的期待值的动作条件，该元件终端建立对应，且指定应与形成将前述动作条件进行设定的对象的前述装置终端连接的前述电子元件而进行输出的动作条件输出部、分别与某个前述元件终端进行电气连接，分别输入该元件终端所输出的前述输出信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、关于前述多个电子元件的每一个，表示与该电子元件连接的前述装置终端的每元件装置终端信息进行存储的每元件信息存储部、将前述动作条件输出部所指定的前述电子元件的，与前述动作条件相对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息及前述每元件装置终端信息进行选择，并对所选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
本发明的第5形态提供一种测试模块，为一种对具有用于接收信号的多个元件终端的电子元件，赋予该电子元件的试验所使用的试验信号的测试模块，包括分别与某个前述元件终端电气连接，并对该元件终端分别赋予前述试验信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、将表示赋予前述电子元件的前述试验信号的动作的动作条件与前述元件终端对应地接收，并将与该动作条件对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，且对所选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
本发明的第6形态提供一种测试模块，为一种将具有用于输出信号的多个元件终端的电子元件所输出的输出信号与期待值进行比较的测试模块，括分别与某个前述元件终端电气连接，并分别输入该元件终端输出的前述输出信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、将表示前述电子元件输出的前述输出信号的期待值的动作条件与前述元件终端对应地接收，并将与该动作条件对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，且设定前述动作条件作为从选择的选择前述装置终端所输入的前述输出信号的期待值的动作条件设定部。
另外，上述发明的概要并未列举本发明的必要特征的全部，们的特征群的子群也可又形成发明。
如利用本发明，可以适当的成本提供试验装置。
图1所示为关于本发明的一实施形态的试验装置100的构成的一个例子。
图2所示为模块接口202的构成的一个例子。
图3所示为每元件信息存储部318的构成的一个例子。
图4所示为动作条件设定部316的构成的一个例子。
图5所示为测试单元204的构成的一个例子。
图6所示为针映象的一个例子。
图7所示为针组映象的一个例子。
图8所示为每元件装置终端信息的一个例子。
图9所示为矩阵设定部208的构成的一个例子。
图10所示为矩阵开关部210的构成的一个例子。
50电子元件 52元件终端100试验装置102测试控制部104总线开关106数字模块108矩阵模块110负载板202模块接口204测试单元206装置终端208矩阵设定部210矩阵开关部 302元件终端选择部304终端对应存储部 306DUT选择部308DUT映象寄存器 310OR电路312AND电路 314数据寄存器316动作条件设定部 318每元件信息存储部402针数据表404区段502域指定部504区段信息存储部506DUT选择部 508每元件信息存储部510区段选择部 602每域集约部604每域分配部 606区段指定部具体实施方式
下面通过发明的实施形态对本发明进行说明，但以下的实施形态并不限定关于权利要求范围的发明，而且，在实施形态中所说明的特征的组合的全部未必是发明的解决方法所必须的。
图1为关于本发明的一实施形态的试验装置100的构成的一个例子。本例的目的是以低成本提供一种对DUT(Device Under Test，被测器件)即多个电子元件50效率良好地进行试验的试验装置100。
关于本实施形态的电子元件50具有多个元件终端52。元件终端52为例如电子元件50的输出入终端(元件针)。电子元件50也可具有例如动作频率等不同的多个输出入接口。关于本实施形态的测试装置100的目的是将这些多个输出入接口同时进行试验，具有与各个输出入接口对应地设定域，并对每个域独立地进行试验的机能。更具体地说，试验装置100将电子元件50具有的多个元件终端52的每一个，作为属于多个域的某一个的元件终端进行设定，并在每个设定的域独立地进行试验。
试验装置100包括测试控制部102、总线开关部104、多个数字模块106、矩阵模块108及负载板110。
测试控制部102为例如控制测试装置100的全体的CPU等，输出用于表示应赋予电子元件50的元件终端52的信号的时序及/或电平等的动作的动作条件，或用于表示元件终端52输出的信号的时序及/或电平等的期待值的动作条件。测试控制部102根据例如预先设定的程序，指定某一个元件终端52，并与该元件终端52对应地输出动作条件。在本例中，测试控制部102输出例如表示信号的边缘的时序的信息，作为动作条件。
另外，测试控制部102为输出动作条件的动作条件输出部的一个例子。测试控制部102输出动作条件，作为应与元件终端52对应设定的测试条件的一个例子。测试控制部102也可将用于表示应供给到电子元件50的信号的各种各样的动作的动作条件，与元件终端52对应输出。
总线开关104为将多个数字模块106及矩阵模块108分别与测试控制部102进行电气连接的传送路。总线开关104将从测试控制部102所接收的动作条件，分别并列供给到多个数字模块106。
矩阵模块108为将多个数字模块106进行电气连接的测试模块。矩阵模块108在电子元件50的测试中，如某个数字模块106检测到电子元件50的错误，则对将该电子元件50进行试验的各数字模块106通知试验的错误。矩阵模块108具有矩阵开关部210及矩阵设定部208。矩阵开关部210为矩阵结构的开关电路，并与各个数字模块106彼此进行连接。矩阵开关210从矩阵设定部208接收用于控制开关电路的转换的转换控制信号，并依此将连接多个数字模块106的组合进行变更。矩阵设定部208依据通过总线开关104从测试控制部102所接收的指示，输出转换控制信号。
数字模块106为将电子元件50的试验所使用的试验信号供给到电子元件50，并将电子元件50的输出信号与期待值进行比较的测试模块，具有模块接口202、测试单元204及多个装置终端206。模块接口202根据通过总线开关104从测试控制部102所接收的动作条件，设定例如测试单元204的动作的时序。模块接口202藉由例如在与多个装置终端206分别对应并设置于测试单元204内的标准针资源中，指定装置终端206并写入数据，而设定例如对该装置终端206的时序。模块接口202也可根据动作条件，设定测试单元204所输出的信号的电平。而且，模块接口202也可根据动作条件，设定应与从电子元件50所输出的输出信号进行比较的信号电平的期待值。
测试单元204为包括输出试验信号的驱动电路及接收电子元件50的输出信号的比较电路的针电子电路，通过装置终端206及负载板110，与电子元件50电气连接。而且，测试单元204根据由模块接口202所设定的动作条件，输出试验信号。而且，测试单元204根据由模块接口202所设定的动作条件，接收电子元件50的输出信号，并与动作条件所示的期待值进行比较。
在本例中，测试单元204通过矩阵开关部210，与其它的数字模块106上所设置的测试单元204进行电气连接。测试单元204将例如根据电子元件50的输出信号的信号，通过矩阵开关部210，供给到另外的测试单元204。更具体地说，测试单元204将用于表示从该数字模块106具有的装置终端206所输入的电子元件50的输出信号，与关于该装置终端206的期待值的不一致的错误信号，向矩阵模块108进行输出，并通过矩阵模块108向另外的测试单元204供给错误信号。
多个装置终端206为试验装置100的输出入终端(测试针)，分别通过某个元件终端52和例如操纵台等的连接单元即负载板110，被电气连接。各个装置终端206对所连接的元件终端52，分别供给到从测试单元204所接收的试验信号。在这种情况下，装置终端206按照例如根据动作条件在测试单元204所设定的时序，输出试验信号。藉此，数字模块106按照例如动作条件所示的时序，将测试信号供给到电子元件50。而且，各个装置终端206将所连接的元件终端52输出的输出信号进行输入。在这种情况下，数字模块106将由各个装置终端206所输入的输出信号，与利用测试控制部102而设定的动作条件所示的期待值进行比较。如利用本例，则可适当地设定将信号对电子元件50进行输出入的动作条件。而且，藉此，可适当地设定例如将信号对电子元件50进行输出入的时序。
下面，关于测试装置100的动作进行更加详细地说明。在本例中，试验装置100将p个电子元件50并列进行试验。这些电子元件50的每一个为相同品种的LSI，并分别具有多个元件终端52。在各个电子元件50中，这些多个元件终端52由例如DP1、DP2、…号等共同的元件终端号分别进行指定。而且，这些元件终端52的至少一部分，从试验装置100接收试验信号。而且，这些元件终端52的至少一部分，依据来自试验装置100的试验信号而输出信号。
而且，试验装置100包括具有相同或同样的机能及构成的q个数字模块106。各个数字模块106具有n个装置终端206。因此，试验装置100具有n×q个装置终端206。这些装置终端206的至少一部分，与p个电子元件50分别具有的多个元件终端52进行电气连接。另外，p、q及n分别为大于等于1的整数，即1、2、3…中的某一个。
而且，例如在测试控制部102指定DP1号的元件终端52并输出动作条件的情况下，在q个数字模块106中所设置的q个模块接口202及测试单元204，对与DP1号的元件终端52连接的装置终端206，设定动作条件。在这种情况下，模块接口202及测试单元204使p个电子元件50对应各个中的DP1号的元件终端52，并对p个装置终端206设定动作条件。
在这种情况下，q个数字模块106将与元件终端52对应被输出的动作条件并列地展开处理，并设定与该元件终端52对应的装置终端206的动作条件。因此，如利用本例子，测试控制部102可将动作条件所示的数据，对多个数字模块106，适当地进行广播并写入。
这里，测试控制部102也可指定应于形成将动作条件进行设定的对象的装置终端206连接的电子元件50，并输出动作条件。例如，测试控制部102从p个电子元件50中指定CPx号的电子元件50，并输出与元件终端号码为DP1号的元件终端52对应的动作条件。在这种情况下，模块接口202及测试单元204对CPx号的电子元件50中的、与DP1号的元件终端52连接的装置终端206，进行动作条件的设定。
而且，测试控制部102也可将动作条件，对多个元件终端52的集合即终端集合(针组)建立对应并输出。例如，测试控制部102与含有DP1、DP3及DP7号的3种元件终端52的终端集合建立对应，输出动作条件。在这种情况下，模块接口202及测试单元204关于各个电子元件50，对与这些3种元件终端52连接的装置终端206，进行动作条件的设定。在这些情况下，也可对装置终端206适当地设定动作条件。
图2所示为模块接口202的构成的一个例子。模块接口202具有元件终端选择部302、终端对应存储部304、DUT选择部306、每元件信息存储部318及动作条件设定部316。
元件终端选择部302为输出用于指定在终端对应存储部304中所存储的数据的地址的地址译码器，预先存储多个元件终端52(参照图1)的每一个和应与其对应输出的地址的对应。而且，元件终端选择部302根据通过总线开关104从测试控制部102(参照图1)所接收的动作条件，将与其建立对应的元件终端52所对应的地址供给到终端对应存储部304。藉此，元件终端选择部302选择与动作条件对应的元件终端52，并使与该元件终端52建立对应的数据，输出到终端对应存储部304。
在本例中，元件终端选择部302还将终端集合与地址的对应进行存储。而且，在测试控制部102将动作条件与终端集合建立对应并输出的情况下，元件终端选择部302将与该终端集合对应的地址，供给到终端对应存储部304。
终端对应存储部304为将用于表示各个元件终端52、与该元件终端52进行连接的装置终端206(参照图1)的对应的终端对应信息进行存储的存储器。在本例中，终端对应存储部304将用于表示该对应的信息即针映象，作为终端对应信息的一部分进行存储。终端对应存储部304在对各个元件终端52预先建立对应的地址，将用于表示与该元件终端52连接的装置终端206的数据进行存储。而且，终端对应存储部304从元件终端选择部302接收与某个元件终端52对应的地址，并依此且根据针映象，将用于表示与该元件终端52连接的装置终端206的数据输出。
在本例中，终端对应存储部304与各个数字模块106(参照图1)上所设置的n个装置终端206对应，将各个比特与各个装置终端206建立对应的n比特数据，在各个地址中进行存储。终端对应存储部304在例如各个地址中，对用于表示与该地址对应的元件终端52所连接的装置终端206的比特，存储值1。
而且，终端对应存储部304还将用于表示终端集合、与该终端集合中所包含的元件终端52进行连接的装置终端206的对应的信息即针组映象，作为终端对应信息的一部分进行存储。而且，在从元件终端选择部302接收与该终端集合对应的地址的情况下，终端对应存储部304根据针组映象，输出用于表示与该终端集合对应的装置终端206的数据。在另外的例子中，终端对应存储部304也可为寄存器。而且，终端对应存储部304也可具有将针映象及组映象的每一个分别进行存储的多个存储器。
在本实施形态中，终端集合可以为属于1个或多个域的多个元件终端52的集合，更佳为属于1个或多个域的所有元件终端52的集合。藉此，测试控制部102藉由与某个终端集合对应地输出动作条件，可对属于该终端集合中所含有的1个或多个域的所有的元件终端52设定共同的动作条件。另一方面，测试控制部102藉由与某个元件终端52对应地输出动作条件，可对各元件终端52个别地设定动作条件。因此，试验装置100藉由在属于相同终端集合的所有元件终端52设定共同的动作条件后，在各元件终端52设定个别的动作条件，可高速地进行动作条件的设定。
DUT选择部306为依据测试控制部102的指示，选择p个电子元件50(参照图1)的一部分或全部的寄存器。DUT选择部306将用于表示所选择的电子元件50的信号，供给到每元件信息存储部318。例如，在测试控制部102指定某个电子元件50并输出动作条件的情况下，DUT选择部306输出用于表示所指定的电子元件50的信号。
每元件信息存储部318关于多个电子元件50的每一个，将用于表示与该电子元件50连接的装置终端206的每元件装置终端信息进行存储。而且，每元件信息存储部318根据每元件装置终端信息，将用于表示与DUT选择部306所选择的电子元件50连接的装置终端206的信号，供给到动作条件设定部316。
动作条件设定部316从终端对应存储部304接收基于针映象的信号，并从每元件信息存储部318接收根据每元件装置终端信息的信号。而且，动作条件设定部316根据这些信号，选择测试控制部102所指定的电子元件50中的、与动作条件对应的元件终端52所连接的装置终端206。藉此，动作条件设定部316根据针映象及每元件装置终端信息，选择该装置终端206。
而且，动作条件设定部316将用于表示所选择的装置终端206的信号，与通过总线开关104从测试控制部102所接收的动作条件一起，供给到测试单元204，并在测试单元204中对该装置终端206设定动作条件。藉此，动作条件设定部316对与应供给测试信号的元件终端52对应选择的装置终端206，根据动作条件，设定例如时序。而且，对与输出信号的元件终端52对应选择的装置终端206，设定动作条件作为从该装置终端206所输入的输出信号的期待值。
这里，动作条件设定部316在所选择的装置终端206为与测试控制部102所指定的电子元件50进行连接的装置终端206的情况下，也可对该装置终端206设定动作条件。而且，动作条件设定部316也可根据组映象，选择与动作条件所对应的终端集合中包含的元件终端52进行连接的装置终端206。如利用本例，可适当地选择装置终端206，并对所选择的装置终端206，适当地设定动作条件。
模块接口202也可根据例如每元件装置终端信息，选择与特定的电子元件50连接的装置终端206，并使该装置终端206有效或无效。藉此，模块接口202也可将例如试验结果为错误的电子元件50，从试验装置100进行电气分离。如利用本例，藉由适当地选择与各个电子元件50连接的元件终端52，可以高自由度进行对多个电子元件50的试验。
另外，这里如使终端对应存储部304设置在例如测试控制部102内，则有时需要与在试验装置100上可搭载的最大数的装置终端206相对应的存储容量的终端对应存储部304，而使试验装置100的成本增大。但是，如利用本例，可使用与试验装置100上所设置的装置终端206的数目对应的，适当存储容量的终端对应存储部304。因此，如利用本例，可防止测试装置100的成本增大到必要以上。藉此，可以适当的成本提供试验装置100。
图3所示为每元件信息存储部318的构成的一个例子。每元件信息存储部318具有多个DUT映象寄存器308及多个OR电路310。在本例中，每元件信息存储部318具有与数字模块106(参照图1)上所设置的装置终端206(参照图1)的个数相等的n个OR电路310。而且，每元件信息存储部318具有较电子元件50(参照图1)的个数p多的、m个DUT映象寄存器308。每元件信息存储部318从DUT选择部306，接收作为用于表示由测试控制部102(参照图1)所指定的电子元件50的信息的，各个比特与各个DUT映象寄存器308相对应的m比特的信号。
m个DUT映象寄存器308中的p个，与p个电子元件50建立对应。DUT映象寄存器308在与某个电子元件50建立对应的情况下，将用于表示与该电子元件50连接的装置终端206的信息进行存储。DUT映象寄存器308与n个装置终端206对应，将各个比特与各个装置终端206对应的n比特的数据，作为每元件装置终端信息进行存储。
DUT映象寄存器308对例如用于表示与对应的电子元件50连接的装置终端206的比特，存储值1。藉此，各个DUT映象寄存器308将与各个电子元件50对应的每元件装置终端信息进行存储。而且，与测试控制部102所指定的电子元件50对应的DUT映象寄存器308，依据从DUT选择部306所接收的信号，将存储的n比特的每元件装置终端信息，供给到n个OR电路310。
n个OR电路310分别与n个装置终端206的每一个对应设置，并从各个DUT映象寄存器308接收每元件装置终端信息中的与该装置终端206对应的比特。而且，各个OR电路310将从各个DUT映象寄存器308所接收的比特的逻辑和，供给到动作条件设定部316。在其它的例子中，每元件信息存储部318也可取代DUT映象寄存器308，而具有用于存储每元件装置终端信息的存储器。
图4所示为动作条件设定部316的构成的一个例子。动作条件设定部316具有数据寄存器314、与n个装置终端206(参照图1)对应设置的n个AND电路312。数据寄存器314为例如触发电路，将通过总线开关104从测试控制部102(参照图1)接收的动作条件一端闩锁而在设定的时序发送到测试单元204。
n个AND电路312将每比特对从终端对应存储部304及每元件信息存储部318分别接收的信号的逻辑积，输出到测试单元204。藉此，动作条件设定部316选择测试控制部102所指定的电子元件50(参照图1)中的、与动作条件相对应的元件终端52(参照图1)进行连接的装置终端206，并将用于表示所选择的装置终端206的信号，输出到测试单元204。如利用本例，可适当地选择装置终端206。
图5所示为测试单元204的构成的一个例子。测试单元204具有与n个装置终端206(参照图1)对应设置的n个针数据表402、多个区段404。
针数据表402为设定对应的装置终端206的动作条件的寄存器。各个针数据表402在根据从动作条件设定部316所接收的n比特的信号，选择对应的装置终端206的情况下，将从数据寄存器314接收的信号所示的数据进行存储。藉此，针数据表402设定对对应的装置终端206的动作条件。如利用本例，可对各个装置终端206适当地设定动作条件。
而且，在本例中，针数据表402依据从矩阵开关部210所接收的错误信号，使对应的装置终端206有效或无效。例如，在对某个电子元件50的试验为错误的情况下，针数据表402依据矩阵开关部210的指示，使与该电子元件50连接的装置终端206无效。
区段404与预先确定的数目的装置终端206对应地分别设置，并对对应的装置终端206的信号的输出入进行控制。在本实施形态中，区段404对1个或2个以上的装置终端206的信号的输出入进行控制，其中装置终端206与属于相同电子元件50的相同域的1个或2个以上的元件终端52进行连接。区段404包括例如与对应的装置终端206电气连接的驱动器及比较器，且在该装置终端206使信号对电子元件50(参照图1)进行输出入。
在本例中，区段404与矩阵开关部210进行电气连接，在关于所连接的1个或2个以上的装置终端206的至少1个，从该装置终端206所输入的电子元件50的输出信号与期待值不一致的情况下，将错误信号向矩阵模块108进行输出。矩阵开关部210依据例如该输出信号，对另外的数字模块106(参照图1)上所设置的测试单元204进行控制。
在以上的说明中，一个区段404所对应的装置终端206，与属于相同电子元件50的相同域的元件终端52电气连接。藉此，区段404确定将装置终端206在电子元件50上进行连接的情况下的分配中的最小分割单位。在这种情况下，藉由以区段404的单位管理装置终端206的分配，可减少管理所必需的资源。
另外，区段404也可例如与1个个的装置终端206对应设置。在这种情况下，可将各个装置终端206以高自由度对多个电子元件50进行分配。
图6所示为终端对应存储部304所存储的针映象的一个例子。在本例中，各个数字模块106具有32个(n＝32)装置终端206，且各个电子元件50具有512个元件终端52。
终端对应存储部304对用于表示各个元件终端52的元件终端号码1～512，将用于表示与该元件终端52连接的装置终端206的装置终端号码，藉由在与该装置终端号码对应的域中存储1而表示。例如，终端对应存储部304对元件终端号码为1的元件终端52，存储用于指定装置终端号码为15及30的2个装置终端206的针映象。如利用本例，可适当地存储元件终端52和装置终端206的对应。
终端对应存储部304在例如试验装置100的起动时，从测试控制部102(参照图1)接收针映象并进行存储。测试控制部102根据例如用于表示各个电子元件50的元件终端52和装置终端206的对应的针分配数据，制作针映象图。测试控制部102藉由将针分配数据中的、与对各个电子元件50的相同的元件终端号码相对应的值，关于所有的电子元件50求逻辑和，而制作针映象。
图7所示为终端对应存储部304所存储的针组映象的一个例子。在本例中，测试控制部102将动作条件与4096组的终端集合的某一个建立对应并输出。
终端对应存储部304对用于表示各个元件终端的针组号码1～4096，将用于表示与该终端集合所包含的元件终端52进行连接的装置终端206的装置终端号码，藉由在与该装置终端号码对应的域中存储1而表示。例如，终端对应存储部304对针组号码为1的终端集合，存储用于指定装置终端号码为1、4、6、10～12、15～19、21、29～32的16个装置终端206的针组映象。如利用本例，对与终端集合对应的多个装置终端206，可效率良好地广播例如共同的时序或信号的电平等动作条件并进行设定。
图8所示为DUT映象寄存器308存储的每元件装置终端信息的一个例子。在本例中，试验装置100将8个(p＝8)电子元件50(参照图1)并列进行试验。而且，在含有该DUT映象寄存器308的数字模块106中的、装置终端号码1～16的装置终端206，与第1号的电子元件50(DUT1)进行连接。装置终端号码17～32的装置终端206，与第2号的电子元件50(DUT2)进行连接。
与第1～8号的电子元件50(DUT1～8)分别对应的DUT映象寄存器308，将用于表示与对应的电子元件50连接的装置终端206的每元件装置终端信息，藉由在表示该装置终端206的装置终端号码的域中存储值1，而分别进行表示。例如，与第1号的电子元件50对应的每元件信息存储部508，在装置终端号码为1～16的域中，存储值1。如利用本例，可在各个数字模块106中，适当地选择与各个电子元件50进行连接的装置终端206。
图9所示为矩阵设定部208的构成的一个例子。矩阵设定部208包括域指定部502、区段信息存储部504、DUT选择部506、每元件信息存储部508及区段选择部510。
如前所述，本例的试验装置100(参照图1)具有利用各不相同的多种类的频率(测试速率)的信号，对包含例如多个输出入接口的电子元件50(参照图1)进行试验的机能。试验装置100对每个电子元件50，预先分别设定含有1个或多个区域404(参照图5)的多个域，并对各个域设定基于各不相同的频率的时序。在各个域中所包含的多个区段404，也可设置在各不相同的数字模块106(参照图1)上。而且，测试控制部102对矩阵模块108指定用于进行试验的电子元件50及域。
域指定部502为与元件终端选择部302(参照图2)具有相同或同样的机能的地址译码器。域指定部502将多个域的每一个与应输出的地址的对应预先进行存储。而且，域指定部502通过总线开关104从测试控制部102(参照图1)接收用于表示某个域的信息，并将与其对应的地址供给到区段信息存储部504。
区段信息存储部504存储用于表示各个域、与属于各个域的元件终端52连接的区段404的对应的区段对应信息。区段信息存储部504依据从域指定部502所接收的地址，将用于表示与该地址对应的域中所包含的区段404的区段对应信息，供给到区段选择部510。该区段对应信息为例如每个区段1比特所构成的比特序列，使对应被指定的域中所包含的区段404的比特取“1”的值，对应未被包含的区域404的比特取“0”的值。
DUT选择部506与DUT选择部306具有相同或同样的机能，将用于表示测试控制部102所指定的电子元件50的信号，供给到每元件信息存储部508。每元件信息存储部509除了取代装置终端206(图1)而将表示区段404的信息进行存储以外，与每元件信息存储部318(参照图3)具有相同或同样的机能。每元件信息存储部508依据从DUT选择部506所接收的信号，将用于表示与该电子元件50连接的装置终端206所对应的区段404的每元件区段信息，供给到区段选择部510。该每元件区段信息为例如每个区段1比特所构成的比特序列，使对应被指定的电子元件50所连接的区段404的比特取“1”的值，对应未被包含的区域404的比特取“0”的值。
区段选择部510根据与测试控制部102所指定的域对应地在区段信息存储部504中进行存储的区段对应信息，和与测试控制部102所指定的电子元件50对应地在每元件信息存储部508中进行存储的每元件区段信息，选择与所指定的电子元件50及域对应的区段404。而且，区段选择部510将用于表示所选择的区段404的转换控制信号，供给到矩阵开关部210。区段选择部510也可输出例如从区段信息存储部504所接收的区段对应信息及从每元件信息存储部508所接收的每元件区段信息的，每比特的逻辑积。矩阵开关部210根据转换控制信号，设定例如将多个测试单元204(参照图1)彼此进行连接的开关电路。如利用本例，可适当地控制矩阵开关部210。
图10所示为矩阵开关部210的构成的一个例子。在本例中，测试控制部102(参照图1)设定j个域。矩阵开关部210具有分别与j个域对应设置的，j个每域集约部602及每域分配部604、区段指定部606。
而且，在本例中，试验装置100(参照图1)具有i个区段404(参照图5)。矩阵开关部210从i个区段404分别接收1比特的错误信号。
这里，各个区段404的装置终端206(参照图1)，与某个电子元件50进行电气连接。而且，在试验中当该电子元件50产生错误时，该区段404将用于表示该错误的错误信号，供给到矩阵开关部210。
各个每域集约部602根据关于与属于该域的元件终端52对应的各个装置终端206的错误信号，生成用于表示关于属于该域的某个装置终端206产生输出信号和期待值的不一致的域错误信号。关于本实施形态的每域集约部602，根据从属于该域的元件终端52所连接的各个区段404输入的错误信号，生成域错误信号。
更具体地说，每域集约部602从与i个区段404对应的i比特的错误信号，选择与对应的域中所包含的区域404对应的错误信号。而且，每域集约部602在所选择的错误信号的某一个为表示错误的信号的情况下，将用于表示在该域内产生错误的情况的1比特的域错误信号，供给到对应的每域分配部604。这样，每域集约部602将从对应的区段404所接收的错误信号进行集约。
每域分配部604将与该域对应的每域集约部602所生成的域错误信号，分配到与属于该域的元件终端52连接的数字模块106的每一个。关于本实施形态的每域分配部604将该域错误信号，分配到与属于该域的装置终端206连接的区段404的每一个。
更具体地说，每域分配部604在关于某域从每域集约部602接收用于表示错误的域错误信号的情况下，输出使用于表示该域所包含的区段404的比特值为1的域错误信号的i比特的比特序列。而且，该域错误信号的比特序列的各比特，分别与i个的区段404对应。藉此，在对应的域中不包含的某个区段404输出错误信号的情况下，每域分配部604对对应的域中所包含的所有的区段404，输出值1的域错误信号。藉此，每域分配部604可对对应的区段404分配错误信号。
区段指定部606输出对j个每域分配部604分别输出的i比特的信号的每比特的逻辑和。每域分配部604将表示该逻辑和的i比特的信号中的各个比特，供给到i个区段404的每一个。
藉此，在某个区段404输出错误信号的情况下，矩阵开关部210可对与该区段404属于相同的域的所有的区段404，通知该错误。接收了该通知的区段404也可进行例如将对应的电子元件50从装置终端206进行电气分离等，关于电子元件50的该域的错误处理。如利用本例，可适当地管理多个域。
在以上的说明中，每域集约部602及每域分配部604的每一个，根据从矩阵设定部208所接收的转换控制信号，依据对应的域，设定例如开关电路。藉此，每域集约部602及每域分配部604，可设定各个每域集约部602及每域分配部604，以在与测试控制部102所指定的电子元件50及域对应的区段404间，能够适当地收发错误信号。
上面利用实施形态对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限定于上述实施形态所记述的范围。业内人士应知道对上述实施形态可加以各种各样的变更或改良。由权利要求范围的记述可知，加以这种变更或改良的形态也可包含于本发明的技术范围中。
如利用本发明，可以适当的成本提供试验装置。
权利要求
1.一种试验装置，为一种对具有用于接收信号的多个元件终端的电子元件进行试验的试验装置，包括将表示应赋予前述元件终端的前述信号的动作的动作条件，与该元件终端建立对应并输出的动作条件输出部、将前述电子元件的测试所使用的测试信号，根据前述动作条件所示的动作而赋予前述电子元件的测试模块；前述测试模块包括分别与某个前述元件终端电气连接并将前述测试信号分别供给到该元件终端的多个装置终端、用于存储表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息的终端对应存储部、将与对应前述动作条件的前述元件终端连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，并对选择了的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
2.如权利要求1所述的试验装置，其特征在于前述试验装置对多个前述电子元件进行试验；前述动作条件输出部指定应与形成设定前述动作条件的对象的前述装置终端进行连接的前述电子元件；前述测试模块还具有对前述多个电子元件的每一个，将用于表示与该电子元件连接的前述装置终端的每元件装置终端信息进行存储的每元件信息存储部；前述动作条件设定部将前述动作条件输出部所指定的前述电子元件中的，前述动作条件建立对应的前述元件终端连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息及前述每元件装置终端信息进行选择，并对所选择的前述装置终端，设定前述动作条件。
3.如权利要求2所述的试验装置，其特征在于前述动作条件输出部将前述动作条件，与多个前述元件终端的集合即终端集合建立对应并输出；前述终端对应存储部将用于表示前述终端集合、与该终端集合所包含的前述元件终端进行连接的前述装置终端的对应的信息，作为前述终端对应信息并进行存储；前述动作条件设定部根据前述终端对应信息，选择与对应于该动作条件的前述终端集合中所包含的前述元件终端进行连接的前述装置终端，所选择的前述装置终端为与前述动作条件输出部指定的前述电子元件进行连接的前述装置终端的情况下，对该装置终端设定前述动作条件。
4.一种试验装置，为一种对具有用于输出信号的多个元件终端的电子元件进行试验的试验装置，包括将表示前述元件终端输出的前述信号的期待值的动作条件，与该元件终端对应地进行输出的动作条件输出部、将前述电子元件的输出信号与前述动作条件表示的期待值进行比较的测试模块；前述测试模块包括分别与某个前述元件终端电气连接并分别输入该元件终端所输出的输出信号的多个装置终端、用于存储表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息的终端对应存储部、将与对应前述动作条件的前述元件终端连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，并设定前述动作条件，作为从选择的前述装置终端所输入的前述输出信号的期待值的动作条件设定部。
5.如权利要求4所述的试验装置，其特征在于前述电子元件具有的前述多个元件终端分别属于多个域的某一个；该试验装置包括前述动作条件输出部、多个前述测试模块、将前述多个测试模块进行连接的矩阵模块；前述多个测试模块的每一个还具有将用于表示从该测试模块具有的前述装置终端所输入的前述输出信号与关于该装置终端的前述期待值的不一致的错误信号，向前述矩阵模块进行输出的测试单元；前述矩阵模块具有多个每域集约部，该每域集约部与前述多个域分别对应设置，并根据关于与属于该域的前述元件终端对应的各个前述装置终端的前述错误信号，生成用于表示关于属于该域的至少1个前述装置终端的前述输出信号和前述期待值的不一致的情况的域错误信号，多个每域分配部，该每域分配部与前述多个域分别对应设置，并将由与该域对应的前述每域集约部所生成的前述域错误信号，对与属于该域的前述元件终端进行连接的前述测试模块的每一个进行分配。
6.如权利要求5所述的试验装置，其特征在于各个前述测试模块在接收了前述域错误信号的情况下，进行属于该域的前述电子元件的错误处理。
7.如权利要求5所述的试验装置，其特征在于各个前述测试模块所具有的前述测试单元，包括多个在关于与属于相同域的2个以上的前述元件终端进行连接的2个以上的前述装置终端的某一个，前述输出信号和前述期待值不一致的情况下，将前述错误信号向前述矩阵模块进行输出的区段(segment)；前述每域集约部根据从与属于该域的前述元件终端进行连接的各个前述区段所输入的前述错误信号，生成前述域错误信号；前述每域分配部，将由与该域对应的前述每域集约部所生成的前述域错误信号，对与属于该域的前述元件终端进行连接的前述区段分别进行分配。
8.如权利要求7所述的试验装置，其特征在于前述试验装置对多个前述电子元件进行试验；前述动作条件输出部指定进行试验的前述电子元件及前述域；前述矩阵模块包括将用于表示前述域和与属于该域的前述元件终端进行连接的前述区段的对应的区段对应信息进行存储的区段信息存储部、关于多个前述电子元件的每一个，将用于表示与该电子元件连接的前述区段的每元件区段信息的每元件信息存储部、根据与前述动作条件输出部所指定的前述域对应并在前述区段信息存储部中进行存储的前述区段对应信息，和与前述动作条件输出部所指定的前述电子元件对应并在前述每元件信息存储部中进行存储的前述每元件区段信息，选择与所指定的前述电子元件及前述域对应的前述区段的区段选择部；前述每域集约部根据从前述区段选择部选择的前述区段所输入的前述错误信号，生成前述域错误信号；前述每域分配部将前述域错误信号，对利用前述区段选择部所选择的前述区段分别进行分配。
9.一种试验装置，为一种对分别具有用于接收信号的多个元件终端的多个电子元件进行试验的试验装置，包括将对前述元件终端赋予前述电子元件的试验中所使用的试验信号的情况下的，用于表示前述试验信号的动作的动作条件，与该元件终端建立对应，且指定应与形成将前述动作条件进行设定的对象的前述装置终端进行连接的前述电子元件而进行输出的动作条件输出部、分别与某个前述元件终端进行电气连接，并对该元件终端分别供给前述测试信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、关于前述多个电子元件的每一个，将表示与该电子元件连接的前述装置终端的每元件装置终端信息进行存储的每元件信息存储部、将前述动作条件输出部所指定的前述电子元件的，与前述动作条件相对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息及前述每元件装置终端信息进行选择，并对所选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
10.一种试验装置，为一种对分别具有用于输出信号的多个元件终端的多个电子元件进行试验的试验装置，包括将表示前述电子元件输出的输出信号的期待值的动作条件，与该元件终端建立对应，且指定应与形成将前述动作条件进行设定的对象的前述装置终端连接的前述电子元件而进行输出的动作条件输出部、分别与某个前述元件终端进行电气连接，并分别输入该元件终端所输出的前述输出信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、关于前述多个电子元件的每一个，将表示与该电子元件连接的前述装置终端的每元件装置终端信息进行存储的每元件信息存储部、将前述动作条件输出部所指定的前述电子元件的，与前述动作条件相对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息及前述每元件装置终端信息进行选择，并对所选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
11.一种测试模块，为一种对具有用于接收信号的多个元件终端的电子元件，赋予该电子元件的试验所使用的试验信号的测试模块，包括分别与某个前述元件终端电气连接，并对该元件终端分别赋予前述试验信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、将表示赋予前述电子元件的前述试验信号的动作的动作条件与前述元件终端对应地接收，并将与该动作条件对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，且对所选择的前述装置终端设定前述动作条件的动作条件设定部。
12.一种测试模块，为一种将具有用于输出信号的多个元件终端的电子元件所输出的输出信号与期待值进行比较的测试模块，包括分别与某个前述元件终端电气连接，并分别输入该元件终端输出的前述输出信号的多个装置终端、将用于表示各个前述元件终端和与该元件终端连接的前述装置终端的对应的终端对应信息进行存储的终端对应存储部、将表示前述电子元件输出的前述输出信号的期待值的动作条件与前述元件终端对应地接收，并将与该动作条件对应的前述元件终端进行连接的前述装置终端，根据前述终端对应信息进行选择，且设定前述动作条件作为从选择的选择前述装置终端所输入的前述输出信号的期待值的动作条件设定部。
全文摘要
本发明的目的是提供一种试验装置，为一种对具有用于接收信号的多个元件终端的电子元件进行试验的试验装置，包括将表示应赋予元件终端的信号的动作的动作条件，与该元件终端建立对应并输出的动作条件输出部、将电子元件的测试所使用的测试信号，根据动作条件所示的动作而赋予电子元件的测试模块；测试模块包括分别与某个元件终端电气连接并将测试信号分别供给到该元件终端的多个装置终端、用于存储表示各个元件终端和与该元件终端连接的装置终端的对应的终端对应信息的终端对应存储部、将与对应动作条件的元件终端连接的装置终端，根据终端对应信息进行选择，并对选择了的装置终端设定动作条件的动作条件设定部。
文档编号G01R31/319GK1791803SQ20048001388
公开日2006年6月21日 申请日期2004年5月21日 优先权日2003年5月21日
发明者鹫津信栄 申请人:爱德万测试株式会社