改进的带宽估算法的制作方法

专利名称：改进的带宽估算法的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光器谱宽度测定，更多地涉及用干涉仪或衍射仪("光谱仪") 精确地估算光源的带宽，"光谱仪"的脉冲响应函数具有通常与被测光源相当或更 大的带宽。
背景技术：
DUV石印术的线变窄型受激准分子激光源的输出谱一般在时间上不恒定。虽然 技术进步大大提高了稳定性，但是谱的带宽或者函数形态(形状)都未完全固定。然 而，迄今还未完全表征出谱形变化对石印术性能的影响，半极大值全宽度(FWHM) 和95%封闭能量(195%或，有时称为"谱纯度"E95)照射带宽对图像反差、对数斜 率、曝光范围等的影响很大，正如以下文献讨论的那样，A.Kroyan， I. Lalovic, N. R. Farrar，在Proc. 21st Annual DACUS Symposium on Photomask Technology and Management上发表，G. T. Dao and B. J". Gre謹(Eds)(编辑)，Monterey Ca，在SPIE Vol. 4562， pp. 1112-1120, 2002上发表的"Contribution of polychromatic illumination to optical proximity effects in the context of Deep-UV lithography，，， K. Lai， I. Lalovic， R. Fair, A. Kroyan， C. Progler， N. R. Farrar， D. Ames， K. Ahmed在J. Microlithogr即hy， Microfabrication and Microsystems, Vol. 2， Issue 2， pp. 105-111， 2003上发表的"Understanding chromatic aberration
impacts on lithographic imaging", 这些内容通过弓l用包括在这里。
根据照射谱的生成，例如因光学材料局限于DUV波长，会不可避免地在KrF 与ArF石印术投射镜内产生某种色差。尽管色效应可用窄谱光源减至最小，但是即 使是照射谱的亚皮米展宽也不能被完全忽略，如A.Krayan、 J.J.Bendik、 0. Semprez、 N. R. Farrar、 G. G. Rowan与C. A. Mack在"Modeling the effects of excimer laser bandwidth on lithographic performance"(SPIE Vol. 4000， Optical Microlithography XIII，pp. 658-664， March 2000)—文中讨论的那样，其内容通过 引用包括在这里。由于该行业进入从未有过的更高数值孔径设定和更低的Ki值， 这一理念变得更紧迫了。为确保虚像特性维持在指定处理窗内，拥有来自光源以高 的精度和可靠性与稳定性报道这些谱品质因数的可信赖的计量学反馈，变得越益重 要了。另在更高级的应用中，实际上可用该信息以某种方式控制光源工作，以便稳 定光源的光谱或者调整其带宽。在这些场合中，获得的增强的谱性能重现性，意味 着可以设想出对系统寿命保持有效和一致的一般光学近似(OPC)法，例如包括要求
加强把带宽严格控制在某一范围内即低于某一阈值但又高于某一阈值的能力。
诸如FWHM与E95等常用的带宽计量法，并不总是精确地测量谱形状，尤其在 单独使用时。例如，谱远翼的能量值增大会显著提高E95带宽值，而FWHM带宽值 实际上基本不变。其它谱形变化例如会让E95不变而改变FW丽，或者让两种计量 法都不变而改变谱的能量中心或谱的其它重要的性能参数。这些形状变化常与带宽 变化有密切联系，对谱计量工具的设计和依赖于其带宽精密估算有效性的系统性能 有重大影响，特别在更流行的系统中，要求以等于或超过4000Hz的重复频率按逐 个脉冲的原则的计量反馈与伴生的控制功能。
超窄受激准分子激光源的详细形状与带宽变化可能源自各种物理机理，其中 有些变化在技术上不可避免，以往的克服办法是设计通常优化成尽量减小这些变化 影的光源。然而，即使有了工程控制，由于对准不当、光学元件故障或者无法管理 光源(如激光气体混合物)内部的重要处理参数，有时仍会出现大的谱形或带宽变 化。舱上谱计量组件的任务是正确地识别和精确地报道光源带宽，使之用作可信赖 的石印术过程控制的输入。为示明这些形状变化，

图1A-D示出了若干例用高分辨 率双通中阶梯光栅分光仪测得的在Cymer XLA 100 ArF M0PA(主控振荡器/功率放 大器)光源里见到的典型谱形变化。这些情况虽不详尽，但深信是典型的当代光源。 为了更好地比较谱能分布，更好地表示200个激光脉冲曝光的集中谱含量，把数据 归一为同样的总能量值。

发明内容
揭示了一种用于测量从激光器发射输入带宽计的光谱带宽的带宽计量法与装 置，它包括光学带宽监视器，用来提供代表第一参数的第一输出和代表第二参数 的第二输出，第一参数指示激光器发射光的带宽，第二参数指示激光器反射光的带 宽；和实际带宽计算装置，它把第一与第二输出用作多变量方程的一部分以计算实 际带宽参数，该方程运用光学带宽监视器专用的预定校正变量。实际带宽参数包括
激光器发射光谱全宽度内最大值某一百分比的谱全宽度(FWXM)或者在谱上包封激 光器发射光谱全谱能量某一百分比(EX)的二点间的宽度。带宽监视器包括一标准 具，第一输出代表至少一个标准具在FWXM的光学输出的干扰带宽度，或者在谱上 包封某一百分比激光发射光全谱能量的二点间的宽度(EX)，第二输出代表第二 FWX "M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X、X'〃。预计算的校正变量用可信标准从测 量的实际带宽参数值中求出，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。实际带宽参 数值由公式算出估算的实际带宽参数4XW,LXW2+M，其中Wi二代表FWXM或EX' 的第一测量输出，W2是代表FffX"M或EX'〃的第二测量输出。该装置与方法可在激光 石印术光源和/或在集成电路石印工具内实施。
附图简介
图1A-D示出带宽谱形状因改变了某些激光工作参数而得出的各种响应特性； 图2示出双通光栅光谱仪的实施例；
图3示出本发明一实施例应用单个平面标准具的角发散的光谱仪；
图4以洛伦兹函数FWHM带通Y为单位示出佛克脱源与洛伦磁函数仪表巻绕谱 FWHM带宽之差的等值线与形状参数；
图5示出对 5000实验光源光谱模拟的标准具光谱仪FWHM干扰带等值线，图 示的两组示出对标准具FWHM带通Y不同选择的效果；
图6根据用巻绕了全都具有同样0. llpm FWHM带宽的真实光源谱的0. 12pm FWHM带能对洛伦兹函数光谱仪的模拟，示出能量从近谱翼漏泄而扩展标准具干扰 带的FWHM的情况；
图7A与7B分别示出用同等0. llpm FW丽与不同E95带宽测出的两个激光光 谱(I)及其O. 12pm FWHM带宽的洛伦兹仪器函数的巻积，说明各种阈值的巻绕干扰 带宽度对两个光谱不同；偏差量在(n)中示出A，该差值是恒定偏差与点斜率FWHM页
模型因谱形变化而造成的系统误差源，如本申请所述；
图8A-C示出本发明一实施例利用总数 5000样本谱，例如与图6使用的同样 的样本谱改善点斜率FWMH估算器模型的情况，在增大强度阈值X%=25%、 50%、 75% 时作干扰带宽度测量；
图9示出实验结果，表明E95干扰带点斜率模型估算对激光器工作条件变化 引起的谱形变化的系统灵敏度，例如包括某种3130测量谱，灰色方块用干扰带 EW35y。作为输入，黑圈使用干扰带FW75%， 二三条不同的斜率与三条不同的截线很 明显，对应于数据不同的谱形分集；
图10示出用带宽公式两个强度阈值(FW35y。+75y。)模型对E95。/。的预测，按组合 的四次独立的实验示出3250谱组I,带延迟MOPA时序的正常F2浓度；组II, 正常的F2与正常的时序；组III，浓縮的F2，正常F2，縮短的MOPA时序，与图9 的点斜率模型相比，奇偶偏差受控更佳，插图示出谱整体的跟踪误差分布，S为 12. lfm，其中的4fra可用源光谱的有限信噪比(SNR)说明。
较佳实施例的详细描述
图1A的实例I示出在MOPA的主控振荡器或单一振荡器增益媒体例如ArF单 腔光源中，明显浓縮激光气体的氟浓度的影响。以恒定的总压力对气体混合物添加 额外的氟，宽度就增大。在这些测量，当氟被浓縮到高于初始浓度的13%时，发现 FW丽在测量精度内保持不变。但E95并不恒定，同样的浓縮却增大了 18%，这说明 谱的函数形式有明显变化，不只是简单的重新标定波长轴。激光器气体混合物的这 样大的过多浓縮并不典型，但可以表示光源的内部控制的假设故障模式，至少表示 激光腔内氟含量较少增大时代表性的带宽谱形变化。
例如图1B的实例II示出声学扰动在激光振荡期间同步通过电极间隙的作用。 谱翼保持固定而谱中心峰平展的事实，显然可见谱分布形状响应于这种所谓的带宽 谐振峰现象而变化。这种谱形的形状变化，效果与图1A的前一实例相反。此时， 比所得的标称值增大52%的FWHM带宽远离飞行时间(TOF)谐振或声学谐振，而E95 只超出标称值增大8%。精心设计放电腔虽能明显减小TOF谐振作用的大小，但在 所有高重复频率系统中仍有一定程度的作用，而且会以不同的工作激光放电与输出 脉冲重复频率、温度和其它激光操作参数随机地出现。
图1C所示的实例III示明了 MOPA光源两腔室之间增益媒体内放电开始相对 时序的极大静态误差所引起的变化。出现该现象的原因在于MO输出的谱形与带宽
同时间相关，因而该特征对M0PA系统有点独特(由于功率振荡器的注入模式与自由
振荡模式之间的增益争用，M0P0结构的光谱更混乱)。正常工作时，两腔室点火之 间的延迟被选成使时间TO对应于M0PA系统电光转换效率的峰值。在这种形状对时 延的测量中，当延迟增大到To+10ns时，带宽在FWHM中减小于10%，在E95中减 小了25%。当延迟减到TO—10ns时，发现带宽增大同样的量。虽然可用改变这一延 迟的方法来控制M0PA结构的带宽，但是与效率峰值如此大的偏差会对控制激光输 出的其它特性造成损失，此结果进一步表明存在着光源内部失控的谱形后果。
图1D的最后实例IV示出了该激光光谱对光栅变窄激光振荡器(M0或单腔振荡 器)的谐振器内扩大的波前弯曲部分的响应特性。在该实验中，通过施加机械力以 人工方法使线变窄分系统内反射光学元件的表面形态畸变，模拟激光腔内失效元件 的作用。从形态可见，对谱形的作用是意味深长的。这是形状变化很少改变FWHM 的第二个实例，而E95将近改变了三倍。这种干扰也破坏了谱对称性。对于设计精 良的光源而言，这种变化并不正常，而用由于过度热负载、反射光学元件与其安装 架之间不同的热膨胀造成的失效光学元件来证明而已。
这四种情况包罗了申请受让人在研发中所见到的主要谱形种类。它们仅示出 几种经常出现的会导致错误计量、报道指标内带宽的谱变化，当实际带宽不在指标 内时，无论什么指标都被选用，而当实际带宽不偏出指标时，就偏出指标。在极高 重复频率且严格控制的波长/带宽、带宽稳定性、剂量稳定性和其它严密的工作参
数测控要求方面，任一种情况都对激光器工作有害。问题在于要开发出舱上或光源 外接的计量法，它不会不考虑能负面影响受照曝光工具石印性能的谱变化，而且精 密地做到而不管谱的函数形式或形状变化。
对于DUV光源而言，存在多例带宽测量与估算技术。然而，对于高重复频率 的受激准分子激光源，按每一脉冲原则开发精密而耐用的谱计量法极具技术挑战， 至少比迄今在原有技术计量系统中所知道的更富技术挑战。对于未来的光源，理想 的谱计量法应具有以下五个特征或其中的大部分特征。该法要求极高的光谱分辨 度，通过要求光谱仪的脉冲响应(仪器函数)具有比光源谱小多倍的带宽，能更严格
地改写该分辨度。该法还要求在波长a)空间有宽的检查范围。曾经提出，在照射
谱远翼，即使小的变化也会明显影响虚像特性；对E95的直接计算，该要求同样是 必要的，正如A. Kroyan、 I. Lalovic和N. R. Farrar在"Effects of 95% integral vs.FWHM Bandwidth specifications on lithographic imaging" (SPIE Vol. 4346， Optical Mircolithography XIV. pp. 1244-1253， March 2001)—文中讨论的那样,
其内容通过引用包括在这里。该法还要用一种精密而耐用的方法使源谱带宽摆脱 (消巻积)光谱仪的仪器函数， 一般对确保正常测量不可忽略，而且变得更加严格。 这可能是应用仪器函数独立测量的直接消巻积法，或是某种得到同样结果或估算的 数学或半经验模型。该法对单脉冲测量还要求高信噪比(SNR)。从理论上说，逐一 脉冲估算谱质量与石印处理评定都有这一要求。在石印生产环境中，该系统评定都 有这一要求。在石印生产环境中，该系统还要求光学与机械的简洁性与耐用性，这 对校正稳定性测量重现性与长寿命是必需的。
当前的技术很难(若不是不可能)同时满足所有这些要求。图2的多通光栅光 谱仪能提供良好的光谱分辨率、宽的检查范围，可用富利叶或其它方法对仪器函数
的影响消巻积。如图2所示，这种光谱仪20包括入射缝22、光栅24、最大反射率 镜26和谱强度检测器30，但这种仪器体大、易碎，通常要用活动部件调谐，安装、 对准、校正与保养不便。由于不受欢迎，所以高分辨度光栅光谱仪要用长曝光实现 合适的SNR，不适合逐一脉冲报道谱质量。它们还很昂贵，可能占了大部分高性能 光源如激光石印工具光源的总费用。光栅光谱仪是系统鉴定必需的工具，在研究功 用方面，必须以谱纯度、线不对称性等来精确地表征极精细的谱形与带外能量分布。 但在例如石印生产应用中，它们一般不适合舱上实时波长或带宽计量学测量。
图3的法布里-珀罗标准光谱仪可提供另一种方法。它们在光学上很简单，机 械上耐用，无活动部件。图4的这种光谱仪40包括束均化器42、准直镜44、标准 具465、成像镜50和强度检测器52，强度检测器52还包括横向光电二极管阵列 54。对指定的输入不用缝装置，可在检测器平面如在PDA54得到大量辐射，甚至与 差的束质量无关。因此，利用不同波长发射束之间的角度鉴别，平面镜标准具46 可从单个照射短脉冲中捕获有用的谱信息。
单纯在光谱分辨率与检查间隔方面与光栅光谱仪作竞争，就要求长的自由谱 范围(FSR)、高发射比与高精密度(fineness)3的标准具。 一种用于DOV光源的商 用双通中阶梯光栅光谱仪，在以高阶工作时，可实现15pm的固定检査范围和50fm FWHM带通的仪器函数。为使标准具光谱仪匹配这种性能，就要求FSRal5pm,精密 度3 300。虽然这种性能完全适合较长的波长，但不适用于DUV，因为表面形态(平 行度、平坦度、精糙度)与镜膜局限性通常将总精密度限于3<50。可用模退化的 球面共焦标准具减小几何形状不完美造成的精密度损失，因为球面镜的聚焦作用在 镜面形成小的模直径，从而抑制了几何不完美的影响。但在该结构中，为谱分析必 须扫描镜内光程长，使分析隔离的短脉冲或甚至脉冲串里的几个脉冲成为不可能。
再者，对一给定的间隔，用此法把FSR—分为二，而模匹配要求还意味着插入损耗 对劣质束显得过高。所以为获得像光栅光谱仪一样的性能，共焦结构丢弃了许多标 准具光谱仪40特殊的优点。用多个标准具串接结构获取髙光谱分辨度与大的检查 范围的其它方案，结果也一样。
除了这些限制，对于各种谱测量任务而言，空气间隔的平面标准具光谱仪通
常是最佳的选择。虽在DUV方面并不提供最大检査范围或分辨能力，但在这些领域 能实现适当的平衡，同时对要求物理耐用性与可靠性的制造应用保留了需要的特 征，比如优异的单一短脉冲SNR与适应性。对于石印机照射的光谱监视，可以应用 FSR为2 40pm以获得20 50精密度值的平面标准具，这意味着这些设备被用于 光谱仪仪器函数的FWHM带宽与光源谱带宽之比接近或大于1的范围。在该范围内， 上述的标准具FWHM干扰带宽度证明对源谱形状细部而不是其FWHM具有不可忽视的 灵敏度，例如包括谱纯度，即谱在最大波长任一侧某一区内的积分总能量，通常被 测为E95。/。或E95，谱纯度随着E95宽度减小而增大。
如上所述，DUV光源谱形可以明显变化，在元件与控制件失效时尤其如此。这 些形状变化可能"隐藏"在光谱仪的仪器函数下面，影响其输出，因而申请人断定 必须特别强调上述第三个要求，即用来根据标准具干扰带测量估算源谱带宽的方 法，可以依赖和不依赖于源谱形状变化引起的系统误差。
必须考虑谱形对源光带宽估算的影响。根据光谱仪测量，可用若干技术恢复
整个源谱或源带宽。光谱仪的信号输出oa)是源谱sa)与光谱仪仪器函数ia)
的巻积
<formula>formula see original document page 30</formula> (1)
给出光谱仪信号oa)，常用三种方法测定源谱sa)的带宽。本领域的技术人
员应理解，输出信号可以是用光电二极管阵列(PDA)从标准具光学输出里检测干扰
带的结果，该阵列可以检测光横越阵列二极管的强度分布。然后可用这些强度值绘
制强度曲线，数字处理器可用数学上的内插技术强度阵列中占据FWHM比例即 FW75%M或FW35%M的位置和/或强度阵列中构成E95值E75值边界的位置。因此， 以沿线性排列的光电二极管分布的光强度阵列形式的检测器输出信号，被转换成另 一种代表从带宽检测器输出函数Oa)求出的值的信号，整个系统用它来测量FW服 或E95等。这是一种带宽检测器输出形式，它表示的参数还代表光源的实际带宽， 即代表实际的FW薩或E95。
最全面的常用方法是信号oa)的全消巻积法。给出oa)与独立测定的ia)， 发现可用富里叶或其它方法求解公式i。但这是一项富有挑战的任务，因为通常有 许多源谱sa)与ia)巻积而得出同一个实际输出信号oa)，这是完整的oa)，
带宽检测器成像器即pda实际上只"看见"其各分离的部分，而带宽检测器系统可
以据其算出代表性参数值，如fwhm或e95。
通常要专门处理测量中的噪声和ia)里的零，对细粒化谱，这种处理要花大 量时间，因而该法一般并不适合在高重复频率应用中按逐一脉冲的原则监视光源谱 的带宽。在对基础研究应用高分辨度光栅谱仪测量时，或在要求详尽掌握平均谱的 光源制造测试环境中，仍优选该方法。
第二种技术要求在源谱与仪器函数分析近似的基础上作数学论证，如在谱密
度S0O与ia)二者都完全是洛伦兹函数或高斯分布时，源谱Sa)的fwhm和e95
就直接与o(人)和ia)的带宽相关。例如，研究一种fwhm带宽分别为rs和n的洛
伦兹源谱和仪器函数
柳=丄^柳1 r"2
<formula>formula see original document page 31</formula>此时，s(入)的fwhm带宽nS只是减一常数。e95值可以同样处理，因为 E
<formula>formula see original document page 31</formula>(3)
式中e(…)指括号内谱分布的e95带宽。
不用全消巻积而获得光源带宽的第三种常用方法，开始时用公式2和3作为 第一次推测，但要修改其形式或增加其它校正项，以便减小不完整地假设源谱和/ 或仪器函数的形状而造成的系统误差，因而具有半经验的特征，要求对可信的测量 作校正。 一般情况下，光源通过一系列的工作模式或条件操作，使其带宽发生变化。 测试中，用外接的高分辨度光栅光谱仪与富利叶消巻积法(或其它手段)仔细测定源 fw丽带宽n，同时记录正在校正的计量系统的输出。如上所述，该输出可能是光 源内所含的标准具光谱仪的fwhm干扰带宽度w，或是某种代表被检w的数字或模
拟信号。有了这一数据。就能根据关系式rsaf(w)估算出源带宽rs。根据对数据的
检验和/或借助于上一段指出的数学推理，可对半径验模型f作出最佳选择。
详细察看这些半经验模型，对fwhm带宽估算选用的最简模型是减一实验确定
的常量偏差:
<formula>formula see original document page 32</formula>
(4)
由公式2可见，在光源谱和光谱仪仪器函数都是纯洛伦兹函数时，该模型在数学上
是准确的。标准具光谱仪的仪器函数ia)极接近洛伦兹函数，但如上所述，DUV 光源的谱sa)—般不适合用高斯或洛伦兹分布近似，实际上很难参数化。对图iA
一D所示的谱来说，E95/FWHM之比不恒定的事实，明白地说明高斯或洛伦兹假设不 适用。对于由公式3等可见的这些分析形式，该比值保持不变。因此，常量偏差模 型(公式4)将对源带宽rs给出不完美的估算,受到取决于谱形细节的系统误差支配。 为说明这一点，研究一种假设的光源，其谱Sva)的形状极接近佛克脱分布曲线。 佛克脱分布曲线是具有等能量值的洛伦兹与高斯分布的巻积<formula>formula see original document page 32</formula>(5)
这样，就用两个参数完全表征了源谱形状，即FWHMR和洛伦兹与高斯分量的
<formula>formula see original document page 32</formula>。受该源照射的标准具光谱仪的输出Ov(X)与纯洛伦兹仪 器响应Iv(X)的巻积近似，其中该洛伦兹的FW函Y由标准具FSR与其精密度3之比 给出<formula>formula see original document page 32</formula>(6)
图4示出标准具光谱仪输出干扰带0va)的FWHM与源谱Sva)相对于Y的FWHM
之差与两个独立形状参数rv/Y和rVY的关系。正如预期的那样，若rG—0，则标准
具干扰带FWHM与源谱FWHM之差S就接近r的极值，这是公式2描述的条件。但当 高斯分量宽度增大时，S变小，公式3的恒定偏差模型将不能在通用和接近精度与 一致性要求范围内准确估算源带宽度。这种讨论有点人为因素，不过清楚地示明了 洛伦兹与高斯光源极端状况之间的变化。
把恒定偏差模型扩展到点斜率模型，可改进其性能
<formula>formula see original document page 32</formula> (7)
点斜率模型适合研究假设的佛克脱谱分布，但只有在参数r与n约束在它们
的误差内；例如，若有一线性关系rfmn+b，其中m与b为常数，贝usva)的总带
宽变化不涉及过宽的范围。然而，若谱形约束很差，点斜率模型也会遭受不精确的
影响，而不精确性增大是不允许的。在FWHM估算时，值得再次指出，当仪器函数
ia)的FWHM带通做得极小时，这些简单模型的性能改善很大。但如上所述，对DUV 中即使FSR适中的平面标准具组件，也难以或无法实现这一点。
现在讨论一种应用标准具光谱仪估算带宽的更健全的方法。对任一光源谱 sa)，似乎有效的带宽估算仅出自对用光谱分辨率极高的设备获得的谱作精确的消 巻积。再者，似乎E95估算甚至更站不住脚，因为这要求在很宽的波长范围内对源 谱积分。可喜的是，由于彻底了解了该技术的局限性，仍得出了用较宽的带能标准 具对FWHM与E95 二者作带宽估算的健全的半径验方法。申请人和同事研究了多种 把标准具干扰带用作输入来估算例如DUV受激准分子光源谱带宽的技术。通过结 构，这些技术被设计成抑制或有效校正谱形变化引起的系统误差。大多数在研究中 的方法都依赖于三种简单的观察。首先，标准具的FWHM带通r-FSR/3越宽，受源 谱分布翼内能量影响的干扰带FWHM w(及其E95)越多。其次，若测量干扰带X呢峰 强度的全宽度(FWX。/。或FWXM)，在X—100%时，全宽度就主要取决于源谱线中心附近 的能量值；当x—oy。时，全宽度更依赖于源谱两翼的能量值。第三，即便在内部元 件病态的操作或故障情况下，接近单一振荡器或MOPA光源的带宽与谱形空间仍限 于有限范围。
根据这三点，申请人和同事在桌面实验中发现，能够"优化"选择标准具带 通Y，干扰带测量技术和带宽估算器模型，以便在最大值某一百分比例如FWHM带宽 或者某一包封的能量百分比例如E95带宽，精确地预测相对不受谱形中系统性变化 影响的源。
申请人和同事发现，fw丽仪器带通y受石印激光源照射的标准具光谱仪，其 FWXy。干扰带宽度w(X%， Y)可以较佳地模拟为
<formula>formula see original document page 33</formula>(8)
其中A、 B、 C都是常量，取决于光谱仪仪器函数和测量干扰带全宽度的强度部分， 而r^与E ^分别是源谱S(r)的FWHM和E95，部分是申请人在上面引用的专利申请 流水号10/109,223的主题。公式8对这里讨论的模型作了进一步归一化，计及了 干扰带宽度对源谱的相依性。当比值E^/r^:^常数或E源^常数时，得到点斜率 模型，在任一种这样的条件时，保持Aal，得到恒定偏差模型。公式8的系数通过 计算机模拟或对可信标准作校正确定。其实要得到期望的灵敏度，用模拟法指导选 择参数x、 y和估算器模型的函数形式是有用的。绘制干扰带宽度与源谱的E95和FW匪的关系曲线，可判定公式8对给出的谱形总体的适用性。该模型可用图5的
曲线验证，其中比值e jr^对总体不恒定，但数据仍位于三维空间(r^、 e双、w) 的某一平面附近。该模型虽不完美，但对有用的(r^、 Effi、 Y)值范围有效。注意，
当E */1^ =常数时，还得到一平面，因而使用该比值明显变化的谱样本验证该特 性很重要。
对实验测定的上述种类的谱形，申请人和同事发现，当"^Es而x^50时，A B。 还发现，若YsE源/2-r源且X^50yo，则Aa3.5B。这证实了预期的情况当标准具仪器 函数Y的FWHM变窄时，50%强度的干扰带宽度w就更好地跟随源谱FWHM而与形状变 化无关。申请人研究了这一结论，就是说，根据具有太宽Y选择的标准具干扰带的 FW丽，若用点斜率模型估算源谱的FWHM带宽，某种E95"流过"(bleeds through) 仪器函数，由图6可见。这是因为与仪器函数的巻积将源谱两翼的某些能量推入了 标准具干扰带的芯部。若源谱的FWHM( 芯部)与E95( 翼部)像上述演示的那样独 立地变化，则源FWHM估算会出现系统误差，如图7A与B所示。
设计标准具光谱仪时，Y二FSR/3的有效选择在很大程度上受限于能否得到优 质的反射膜、低损耗/高度平坦的基板和楔角极小的腔垫片，因此，通常无法优化 选择，尤其是配用当代与将来的DUV光源并符合当代与未来的石印机要求时。但申 请人发现，对用于新模型的规定谱宽度检测，通过调整阈参数X可以纠正这一状况。 在使用点斜率模型而且^r^时，图8绘出的模拟结果示出了把X从带宽检测器测 出的且形成带宽检测器输出的干扰带峰强度的25%增大到50% 75%对大多数有形 状变化的源谱FWHM带宽估算误差的作用。X增大时，情况有了改善，申请人把它
归结于宽度在增大阈值时减小了对源谱芯部与翼部间能量平衡变化的灵敏度，这是 由比值A/B随阈值X增大而增大的事实引起的，因为与对FW25。/。相比，与Iva)巻 积的过程使源谱两翼有较少的能量对FW75。/。作出贡献。
申请人将此直接应用到计量学比如E95计量法。在图6和7A与B所示的FWX% 标准具光谱仪干扰带内，可清楚地看出源谱E95在恒定FWHM的变化的事实，说明 能以要求的测量精度与稳定度等估算光源谱的E95，不必依靠数据的消巻积与全积 处理。在平面标准具光谱仪用于FWHM估算时，利用该模型(公式8)通常足以使Y像 实际的那么小，并将X增大到干扰带检测器比如PDA的角分辨度所允许的最大程度， 而检测器的分辨度部分取决于强度测量的像素粒度(阵列中的二极管)，因而这种数 学运算作为内插。此时，A/B可以大于5，而对形状变化的灵敏度则小得可以接受。
但对E95估算，状况仍具挑战性，因为难以构成A/B远小于1而且仍然满足
34
光谱仪设计其它方面提出的约束(检测器分辨度与信噪比等)的情景。
申请人和同事通过检测，Max(E源}实验光谱仪FW357。与Fff75。/。干扰带宽度的特 性，考察了标准具光谱仪应用于计量学比如E95计量法的有效性。之所以选择该Y， 是因为对源谱两翼能量值具有能接受的灵敏度而不过多损害其它特性。实验中， Cynier XLA100原型激光器DUV光源在其正常工作范围内和以外的各种条件下工作， 使其输出的带宽与谱形发生明显变化(对应于图1A — C中种类I-III的条件与变 化)。该源发出的光经过匀化，同时照射高分辨度双通中阶梯光栅光谱仪和实验的 标准具光谱仪40。光栅光谱仪输出用富利叶法消巻积，算出相应的E95带宽，并且 分析光栅光谱仪曝光期间获得的标准具干扰带图案，报告分离的干扰带值WJ卩ff2， 比如干扰带FW35。/。与FW75%。结果用图9的曲线表示，即两强度阈值的干扰带宽度 与光栅光谱仪记录的消巻积源谱的E95的关系。由点斜率来看
<formula>formula see original document page 35</formula>干扰带宽度以一个斜率m跟随MOPA时序偏差与氟浓缩引起的源E95宽度变化，不 过以完全不同的斜度m'^n对腔声学现象引起的源E95变化作出响应，结果是带宽 和谱形不同种类的衍生变化与激光器内不同的物理过程相关联。最佳拟合截线b 也随工作点变化。因此，申请人根据该实验和其它实验得出结论存在形状变化时， 单一强度阈值X的全宽度测量不足以作健全的E95估算。
明白了单阈值法不合适后，申请人和同事研究了某些根据干扰带宽度模型(公 式8)得出的其它技术。在一种技术中，将两台标准具光谱仪设计成为各自得到完 全不同的系数A、 B、 C，这也是上面引用的以申请人姓名提出的专利申请流水号 10/615,321的主题。这些光谱仪可同时操作而同时获得两个不同的干扰带宽度； 准备了这些干扰带宽度和一组六个系数后，可对未知的源FWHM或E95求出两个多 变量线性方程系统。然而，虽然该法凭其自身的质量可能极其成功，但是要用两台 独立的标准具光谱仪，缺点是成本高而且复杂。不过模拟表明，若合理选择系数并 满足一定的检测约束，可对源的FWHM与E95二者都报出极佳的估值，如同上面引 用的专利申请主题一样。
本发明一实施例的另一种方法能过硬地对源谱作E95估算，同时只用单个标 准具，以不同的方式应用公式8。在该法中，根据本发明一实施例，通过精密度和 FSR选用来固定标准具带通y，但系数A、 C、 C值仍可明显变化，通过改变进行宽 度测量的强度阈值X。例如，对两种完全不同的X选择，可以再次得出平面方程。
为测试本发明该实施例，申请人和同事用改用两个强度阈值的E95估算器模 型重复了实验。在该组测量中，选用的模型为
五源《〖.w(350/0,y) + Z:.w(750/0,;K) + M, (10)
式中K、 L、 M是校正系数，通过光栅光谱仪测量的源谱E95与该模型的最佳拟合决 定。经过如此变化，由图IO绘制的实验结果可见，在很宽的谱形变化范围内，明 显提高了源E95估算精度。根据公式8的模型，申请人和同事认为，两个FWX呢项 的组合，部分"检测出"谱线芯部和两翼附近内的源谱能量分布的独立变化。因此， 该模型校正了简单的一维(点斜率)模型对其不敏感的独立的FWHM与E95变化。虽 然仍有一些系统偏差，但在应用本发明一实施例改进的技术时，对给出的谱总体而
言，可将误差分布的总和减少一半。申请人和同事同样认为，把两种充分分开的 Exy。测量当作带宽检测器输出，则宽度测量具有同样的效果。在测定期望的实际带 宽参数方面，对带宽检测器中FW测量或者E测量使用两个独立和分离的X。/。值是有 效的，对一给定的仪器例如上述的特定标准具而言，不管是FW还是E，例如FWHM 或E95，都只取决于生成的有关常数K、 L与M。同样地，用于校正和后来实际检测 的标准具的两次测量，每次都是FW与E变化，结果一样。
而本领域的技术人员将明白，运用单台宽度检测装置如PDA，可得到处理W1 的值例如FWXM或EX'和W2的值例如FWX"M或EX"'所需的数据，若二者都是FW或E, 则X^T， X'-X'〃。然后根据检测器及其关联处理器的操作，可用PDA得出的强度值 方便而迅速地同时算出W,与W2两个值。
尽管把标准具光谱仪干扰带的能量宽度(EX。/。)计算结果用作点斜率或其它模 型输入可能有更多的运算需求，因为要求积分，但是仍可实现，而提高的运算速度 和/或对积分任务优化的专用DSP电路，使这种情况成了一种可行的解法。当该法 进入标准具选择范围及其它光谱仪设计方面时，甚至具有一定优点。
还应理解，该实际带宽参数例如FWHM或E95，即这里揭示的本发明该实施例 的装置与方法的最终输出，最好只是其估值。不过就激光源及其测控系统和/或石 印系统来说，关心的是实际值。如在本申请包括权利要求书中所使用的，带宽测量 参数的"实际"值或"估算的实际"值可以互换使用，表示本发明诸揭示实施例得 到的因而依赖于系统其余部分的这一最后确定的值，作为该系统能在这里讨论的极 限内能产生的期望带宽测量参数比如FWHM或E95的最佳与最接近的测定。
如上所述，本领域的技术人员应明白，除了各种缺点外，标准具光谱使用于
DUV石印术使用的带宽计量舱上线变窄型受激准分子光源也有独特的优点。这些光 源呈现出对其输出谱因某些特定工作条件引起的细部形状或函数形式的相依性。由 于这些光谱仪实际实施例仪器函数带通不可忽略的影响，这类形状变化会对常用于 估算带宽的方法引入大的系统误差。幸好，通过应用简单的标准具干扰带宽度模型， 根据本发明一实施例，提出了一些对这些变化不很敏感的特殊方法。通过对谱的芯 部与两翼附近之间的相对能量分布引入测量灵敏度，使用这些技术就能抑制与谱形 变化相关的误差。由于石印处理对照射带宽的灵敏度，所以管理这一系统误差源对 当前和将来的应用尤其是涉及源谱主动控制或稳定化的应用很重要。
本领域的技术人员还应理解，在更理论化的层面上，本发明一实施例涉及一 种可能包括光学色散仪器的带宽计方法与装置，例如包括分散光源光输出的内所含 能量的标准具，光源可能是激光器DUV源，或者也许是应用激光产生的等离子体
(LPP)或放电产生的等离体(DPP)的EUV光源。根据光源输出光能的波长分布，色散 将其自然波长域的输出光转换成空间或时间域。本发明利用沿阵列范围记录光强的
横向光电二极管阵列，还试用检测器和光电二极管阵列分别记录能量波长分布的空 间或时间变化，而且还可根据记录的空间或时间变化提供输出信号。该输出信号包 括阵列上像素之间测得的多个宽度，代表在光源(FWXM)和(FWX'M)发射光谱全宽度 内最大值某一百分比的谱全宽度或者谱上两点间的宽度，这两点限定的谱含量包封 了 一定百分比的光源(EX")和(EX'〃)发射光谱全谱的能量。
本发明一实施例还试用了至少两个这种值的任意组合，例如在组合为FWXM与 FWX'M时，X^X'，而在组合为EX〃与EX'〃时，X'VX'〃。本领域的技术人员还应理解， 使用的特定组合和X与X'或X"与X'〃之差可按经验选择，例如根据色散元件的类型、 记录仪和光源的类型与精度(由SNR测得)，包括对光源发射光谱出现畸变的种类与
概率，每一个对被测谱内能量分布不同方面，例如对最大值xy。的宽度或包封能量
Y。/。的宽度更敏感，即通常对谱的中心部分或外缘部分(翼部)等不同谱部分的能量更 敏感。
本发明一实施例还试图分别根据检测器记录的能量波长分布，即如用横向PDA 阵列中各光电二极管(像素)检出的光强分布所示的空间或时间变化，用第一计算装 置分别在空间或时间域内计算能量波长分布宽度。根据本发明一实施例，该第一计 算设备根据色散仪器的光学特性，分别将空间或时间分布(如PDA中检出的光强) 转换成波长域，即测定上述的宽度值并输出这些宽度值。
根据本发明一实施例，第二计算装置应用至少一个这类宽度值代表第一计算
装置计算的波长域内能量的波长分布，并把它们用作对光源、色散仪器、检测器具 有特定的预定校正变量的多变量方程的自变量，还把至少一个宽度取作自变量。即 如上所述，根据本发明一实施例，通过用一可信的标准测量与特定标准具光谱仪等 特定仪器输出的至少一个宽度相关的谱的实际波长，来测定该预定的校正值，因而 当将同一宽度输出被输入第二计算装置时，多变量方程与预计算校正变量的联用将 在校正过程中返回该可信标准测出的同一个或基本上一样的期望波长参数(FWXM 或EX)。上述的本发明实施例涉及到应用第一计算装置的两次这样的宽度测量，但 如这里指出，它只要求至少一次，也可以超过两次。而根据本发明另一实施例，第 一与第二计算装置可以是同一个计算装置。求解该多变量方程，计算描绘光源输出
的能量谱分布的实际带宽参数，光源选自FWX*M、 EXW。
本领域的技术人员应明白，上述本发明诸实施例并不将发明限于揭示的诸 特定实施例。应该理解，有许多变化与修正并不违背所附权利要求书的范围与 精神，例如除了标准具，还可应用产生所需干扰带图案或其它带宽检测测量参 数的衍射光学元件。同样地，可用各种方式获得先作校正再用于运算的宽度测 量值，即用于本发明一实施例方程的W,(与某一 FWXM或EX和仪器带通函数有 关)和WJ与另一 FWXM或EX和仪器带通函数有关)，而不是PDA的处理输出。 此外，PDA本身可求出最终输出，这与通过处理PSA强度值输出而得出最终输 出的方法相对立，它在PDA中配用了专门编程而且具有特种算法或代数、三角 的电路的数字信号处理器(DSP)。用来以FWXM或EX形式把PDA强度值转换的 某些状况处理成Wi与W2，作为带宽检测器装置和有关电路的实时输出。然后在 独立的处理器中或在DSP自身，接着处理该相应的方程，用以测定期望的实际 参数。通过增加阵列中的像素(二极管)数以加快处理和增大SNR，可对带宽检 测器输出增加更多的粒度。可在所附权利要求书的范围内作其它变化和修正， 本发明应以该权利要求书范围作解释。
另外，上述诸实施例涉及到多变量线性方程，但本领域的技术人员应明白， 有时会在含校正系数的转换函数中出现非线性项。而且，诸实施例相对于石印 术应用的较窄带宽的激光输出光带宽描述。然而，对于其它光源，例如EUV光 源要作窄带宽测定而且使用同类或其它形式单色谱而在测量中因仪器特性而 引入同样不准确性，也可应用本发明。再者，给出的某些细节用来测定校正系 数，但本领域的技术人员应该理解，利用众所周知的普通误差传播技术，可对 实际带宽作某种测量，如同用对第一与第二带宽监视器输出的两个值的出现相
关的所谓"可信标准，，测定的一样。如Berington在Data Reduction and Error Analysis for the Physical Sciences中提出的那样，"可信标准"的性能(精 度)要求用误差传播技术测定的该可信标准的随机误差，必须与来自带宽监视 器的通过多变量变换方程传播的标准具测量的随机误差为同一量级或者更小。
权利要求
1.一种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，其特征在于，包括光学带宽监视器，用于提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器发射光的带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光的带宽的第二参数；和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分以计算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
2. 如权利要求l所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
3. 如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是谱上两点间的宽度，限定了包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的谱范围(EX)。
4. 如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输 出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X-X〃， X、X"'。
5. 如权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输 出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X-X〃， X、X'〃。
6. 如权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输 出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX"M或EX'〃中的至少一个，其中X-X"， X'-X'〃。
7. 如权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
8. 如权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
9. 如权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
10. 如权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX〃'的第二测量输出。
11. 如权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出-估计的实际带宽参数二KXWJLXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX〃'的第二
12. 如权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W,L X W2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
13. —种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱宽度的带宽计，其特征在于，包括光学带宽监视器，提供第一输出，代表光学带宽监视器测量的第一谱宽度测量和光学带宽监视器测量的第二谱宽度测量；和 -实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出作为多变量方程的组成部分以 计算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
14. 如权利要求13所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
15. 如权利要求13所述的装置，其特征在于，还包括-实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间 的宽度(EX)。
16. 如权利要求13所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输 出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X4〃， X、X'〃。
17. 如权利要求14所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X'W'。
18. 如权利要求15所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X^X〃， X、X"'。
19. 如权利要求16所述的装置，其特征在于，还包括.-用可信标从准测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
20. 如权利要求17所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
21. 如权利要求18所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
22. 如权利要求19所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW一LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
23. 如权利要求20所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二 测量输出。
24. 如权利要求21所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW+LXW2+M式中Wf代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
25. —种光刻法光源，其特征在于，包括带宽计，用于测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽，包括光学带宽监视器，用于提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器发射光的带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光的带宽的第二参数； 和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分以 计算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
26. 如权利要求25所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度 (FWXM)。
27. 如权利要求25所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
28. 如权利要求25所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X^X〃， X、X'〃。
29. 如权利要求26所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中XW, X、X"'。
30. 如权利要求27所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X4〃， X、X'〃。
31. 如权利要求28所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
32. 如权利要求29所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二的出现输出相关。
33. 如权利要求30所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关的。
34. 如权利要求31所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中Wf代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
35. 如权利要求32所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXWJLXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
36. 如权利要求33所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二 K X W,+L X W2+M式中Wp代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
37. —种光刻法光源，其特征在于，包括测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，所述带宽计包括 光学带宽监视器，提供第一输出，代表光学带宽监视器测量的第一谱宽度测量和光学带宽监视器测量的第二谱宽度测量；和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出作为多变量方程的组成部分以 计算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
38. 如权利要求37所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
39. 如权利要求37所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是谱 上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
40. 如权利要求37所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX〃'中的至少一个，其中XW， X、X'〃。
41. 如权利要求38所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X^X〃， X、X"'。
42. 如权利要求39所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X-X〃， X、X〃'。
43. 如权利要求40所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
44. 如权利要求41所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
45. 如权利要求42所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
46. 如权利要求43所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX"M或EX"'的第二测量输出。
47. 如权利要求44所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W,+L X W2+M式中Wi二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出D
48. 如权利要求45所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W,L X W2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，Wz是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
49. 一种光刻机，其特征在于，包括 激光源，包括一种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，所述带宽计包括光学带宽监视器，用于提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器发 射光的带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光的带宽的第二参数； 和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分计 算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
50. 如权利要求49所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
51. 如权利要求49所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
52. 如权利要求49所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX〃'中的至少一个，其中XtOT， X'^X'〃。
53. 如权利要求50所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X-X〃， X、X〃'。
54. 如权利要求51所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX〃'中的至少一个，其中X-X〃， X、X'〃。
55. 如权利要求52所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
56. 如权利要求53所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
57. 如权利要求54所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
58. 如权利要求55所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中Wf代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
59. 如权利要求56所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
60. 如权利要求57所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW,LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二 测量输出。
61. —种光刻光源，其特征在于，包括测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，所述带宽计包括提供第一输出的光学带宽监视器，第一输出代表光学带宽检测器测出的第 一和第二谱宽度测量；和把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分计算实际带宽参数的实际 带宽计算装置，所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
62. 如权利要求61所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度 (FWXM)。
63. 如权利要求61所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
64. 如权利要求61所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中XA〃， X、X"'。
65. 如权利要求62所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X4〃， X、X"'。
66. 如权利要求63所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX〃'中的至少一个，其中X-X〃， X'W〃。
67. 如权利要求64所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
68. 如权利要求65所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
69. 如权利要求66所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
70. 如权利要求67所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二 K X W,+L X W2+M式中Wf代表FWXM或EX，的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
71. 如权利要求68所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXWJLXW2+M式中Wf代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX〃'的第二测量输出。
72. 如权利要求69所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW'+LXW2+M式中Wp代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
73. —种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，其特征在 于，包括光学带宽监视装置，用于提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器 发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分计 算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视装置专用的预定校正变量。
74. 如权利要求73所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度 (FWXM)。.
75.如权利要求73所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间 的宽度(EX)。
76.如权利要求73所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学 输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X'^X〃'。
77. 如权利要求74所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X-X〃， X'-X'〃。
78. 如权利要求77所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中XW ， X' rf〃'。
79. 如权利要求76所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
80. 如权利要求77所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第 一和第二输出的出现相关。
81. 如权利要求78所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
82. 如权利要求79所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W,L X W2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
83. 如权利要求80所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW'+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
84. 如权利要求81所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXWt+LXW2+M式中Wp代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二 测量输出。
85. —种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，其特征在于，包括提供第一输出的光学带宽监视装置，第一输出代表带宽检测器测量的第一谱宽度测量和光学带宽检测装置测量的第二谱宽度测量；和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量线性方程的组成部 分计算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视装置专用的预定校正变量。
86. 如权利要求85所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
87. 如权利要求85所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
88. 如权利要求85所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX〃'中的至少一个，其中X^X〃， X' ^X"'。
89. 如权利要求86所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX〃'中的至少一个，其中X^X〃， X' ^X〃'。
90. 如权利要求87所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X-X〃， X、X'〃。
91. 如权利要求88所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
92. 如权利要求89所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第 一 和第二输出的出现相关。
93. 如权利要求90所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
94. 如权利要求91所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW—LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
95. 如权利要求92所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
96. 如权利要求93所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二观!j量输出。
97. -种光刻光源，其特征在于，包括测量从激光器发射输入到带度计的光谱宽度的带宽计装置，所述带宽计装 置包括光学带宽监视装置，用于提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器 发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分计 算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视装置专用的预定校正变量。
98. 如权利要求97所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
99. 如权利要求97所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
100. 如权利要求97所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中XtOT， X' ^X'〃。
101. 如权利要求98所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中XtOT， X' ^X'〃。
102. 如权利要求99所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X-X〃， X' ^X'〃。
103. 如权利要求100所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
104. 如权利要求101所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
105. 如权利要求102所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
106. 如权利要求103所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W,+L X W2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
107. 如权利要求104所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXWJLXW2+M式中W,.^代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
108. 如权利要求105所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX"M或EX'〃的第二测量输出。
109. —种光刻光源，其特征在于，包括测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计装置，所述带宽计装置包括提供第一输出的光学带宽监视装置，第一输出代表带宽检测器测量的第一谱宽度测量和光学带宽检测装置测量的第二谱宽度测量；和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分计算实际带宽参数的实 际带宽计算装置，所述方程使用光学带宽监视装置专用的预定校正变量。
110. 如权利要求109所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
111. 如权利要求109所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
112. 如权利要求109所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中XtOT， X' ^X'〃。
113. 如权利要求110所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X' ^X'〃。
114. 如权利要求111所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX"M或EX"'中的至少一个，其中X#X"， X' ^X'〃。
115. 如权利要求112所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关的预算的校正变量。
116. 如权利要求113所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
117. 如权利要求114所述的装置，其特征在于，还包括-用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
118. 如权利要求115所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW,LXW2+M式中Wf代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
119. 如权利要求116所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXWJLXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX"M或EX"'的第二测量输出。
120. 如权利要求117所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXWi+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二 测量输出。
121. —种光刻机，其特征在于，包括激光源，包括测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计装置，包括提供第一和第二输出的光学带宽监视装置，第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和利用把第一和第二输出用作多变量线性的方程的组成部分计算实际带宽 参数的实际带宽计算装置，所述方程使用光学带宽监视装置专用的预定校正变
122. 如权利要求121所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度 (FWXM)。
123. 如权利要求121所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
124. 如权利要求121所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X' ^X'〃。
125. 如权利要求122所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX"M或EX"'中的至少一个，其中X^X〃， X' ^X〃'。
126. 如权利要求123所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视装置是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的 宽度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X、X〃'。
127. 如权利要求124所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量。与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
128. 如权利要求125所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
129. 如权利要求126所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
130. 如权利要求127所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X Wi+L X W2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
131. 如权利要求128所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXWt+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
132. 如权利要求129所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，Wa是代表FWX"M或EX'〃的第二测量输出。
133. —种光刻光源，其特征在于，包括测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计装置，所述带宽计装置包括提供第一输出的光学带宽监视装置，第一输出代表光学带宽监视装置测量的第一与第二谱宽度测量；和利用把第一与第二输出用作多变量线性方程组成部分计算实际带宽参数 的实际带宽计算装置，所述方程使用光学带宽监视装置专用的预定校正变量。
134. 如权利要求133所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
135. 如权利要求133所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。
136. 如权利要求133所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X^X〃， X'tO('〃。
137. 如权利要求134所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中XW， X、X〃'。
138. 如权利要求135所述的装置，其特征在于，还包括带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中XW， X、X'〃。
139. 如权利要求136所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱的第一和第二输出的出现相关。
140. 如权利要求137所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
141. 如权利要求138所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
142. 如权利要求139所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXWJLXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
143. 如权利要求140所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出 估计的实际带宽参数二KXW,LXW2+M式中Wf代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二测量输出。
144. 如权利要求141所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W,+L X W2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
145. —种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱宽度的方法，其特征在于，包括 用光学带宽监视器提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器发射光 带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和在一实际带宽计算装置中，利用把第一和第二输出用作多变量线性方程的 组成部分计算实际带宽参数，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变里。
146. —种从窄带光源发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，其特征在于，所述带宽计包括提供第一和第二输出的光学带宽监视器，第一输出代表指示光源发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示光源发射光带宽的第二参数；和利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分计算实际带宽参数的 实际带宽计算装置，所述方程使用光学带宽监视器专用的预定校正变量。
147. 如权利要求146所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)。
148. 如权利要求146所述的装置，其特征在于，还包括 实际带宽参数是谱上两点间的宽度，限定了包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的谱范围(EX)。
149. 如权利要求146所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中X-X〃， X、X"'。
150. 如权利要求147所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二 FWX〃M或EX'〃中的至少一个，其中X-X〃， X'rf"'。
151. 如权利要求148所述的装置，其特征在于，还包括 带宽监视器是一标准具，第一输出代表标准具在FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽 度(EX')，第二输出代表第二FWX〃M或EX"'中的至少一个，其中Xrf〃， X'^X"'。
152. 如权利要求149所述的装置，其特征在于，还包括 用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
153. 如权利要求150所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
154. 如权利要求151所述的装置，其特征在于，还包括用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出预计算的校正变量，与校正谱 的第一和第二输出的出现相关。
155. 如权利要求152所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数=K X W一L X W2+M式中Wp代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX"'的第二 观'J量输出°
156. 如权利要求153所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW'+LXW2+M式中Wp代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
157. 如权利要求154所述的装置，其特征在于，还包括实际带宽参数值由下式算出估计的实际带宽参数二KXW,+LXW2+M式中W,二代表FWXM或EX'的第一测量输出，W2是代表FWX〃M或EX'〃的第二测量输出。
158. —种带宽计，其特征在于，包括光学色散计，用于按光源能量波长分布将包含光源输出的能量分成空间域或时间域；检测器，分别用于记录能量波长分布的空间或时间变化，并根据记录的空 间或时间变化提供输出信号；第一计算装置，用于分别根据检测器记录的能量波长分布的空间或时间变化，分别计算能量波长分布宽度，并按色散仪光学特性分别把空间或时间分布 转换成波长域；和第二计算装置，用于通过把至少一个宽度用作多变量方程的自变量并把至少一个取得的宽度用作自变量，利用至少一个第一计算装置算出的能量在波长 域中波长分布的宽度，所述方程具有光源、色散仪、检测器专用的预定校正变
159. 如权利要求158所述的装置，其特征在于，还包括 第一与第二计算装置为同一计算装置。
160. 如权利要求158所述的装置，其特征在于，还包括至少一个宽度是选自下述组的至少两个宽度，所述组包括光源发射光谱 全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)与(FWX'M)和谱上限定包封 光源发射光谱全谱某一百分比能量谱范围的两点间的宽度(EX")或(EX'〃)， 其中X^X' ， X'VX"'。
161. 如权利要求159所述的装置，其特征在于，还包括至少一个宽度是选自下述组的至少两个宽度，所述组包括光源发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)与(FWX'M)和谱上限定包封 光源发射光谱全谱某一百分比能量谱范围的两点间的宽度(EX〃)或(EX'〃)， 其中X-X' ， X〃-X"'。
162. 如权利要求158所述的装置，其特征在于，还包括 评估多变量方程，计算描述由选自组FWX、、 EX"的光源输出的能量谱分布的实际带宽参数。
163. 如权利要求159所述的装置，其特征在于，还包括 其中评估多变量方程，计算描述由选自组FWX'M、 EX"的光源输出的能量谱分布的实际带宽参数。
164. 如权利要求160所述的装置，其特征在于，还包括-评估多变量方程，计算描述由选自组FWX'M、 EX"的光源输出的能量谱分布的实际带宽参数，其中X'等于X或X'， X"等于X"或X'〃。
165.如权利要求158所述的装置，其特征在于，还包括 评估多变量方程，计算描述由选自组FWX'M、 EX"的光源输出的能量谱分布的实际带宽参数，其中X'等于X或X'， X"等于X〃或X'〃。
全文摘要
揭示了一种测量激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计量方法与装置，包括提供第一和第二输出的光学带宽监视器，第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分以计算实际带宽参数的实际带宽计算装置，所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。该实际带宽参数包括激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)或谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。带宽监视器包括一标准具，第一输出代表该标准具在FWXM的光学输出的至少一个干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX’)，第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个，其中X≠X″，X’≠X″′。预算的校正变量用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出，与校正谱第一和第二输出的出现相关。实际带宽参数值从以下式算出估算的实际带宽参数＝K×W1+L×W2+M，其中W1＝代表FWXM或EX’的第一测量输出，W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。该装置与方法可在激光面印术光源和/或集成电路石印机中实施。
文档编号G01B9/02GK101111738SQ200480017992
公开日2008年1月23日 申请日期2004年6月14日 优先权日2003年6月26日
发明者R·J·拉法克 申请人:西默股份有限公司