专利名称：流体流动传感器热接口方法及系统的制作方法
技术领域：
实施例总的涉及检测方法及系统。实施例还涉及流体流动传感器。实施例另外涉及使用在与流体流动传感器相关联的流动通道和管道设备。
背景技术：
在各种医疗、处理和工业应用中，传感器已经被用于测量流速，遍及从供给麻醉剂的便携式呼吸机至化学设备中的大规模处理设备。在这些应用中，流动控制是正确操作的固有方面，通过使用流动传感器测量流动系统内的流体流速来部分地实现该流动控制。在许多流动系统中，例如，含有甲醇和水的二元混合物的燃料电池流动系统，流体的化学组分可能频繁地改变。
流动系统经常要求多于一种的具有不同化学和热物理性能的流体。例如，在通过基于氮的气体的半导体处理系统中，取决于处理的需要，基于氮的气体可随时地由基于氢或基于氦的气体所取代；或者在天然气计量系统中，因气体的不均匀浓度分布曲线，天然气的成分可能改变。
因此，在各种应用中，流体流动传感器是重要的。通常必需的是利用液体或流体流动传感器确定流体的成分。用于确定流体成分的一种方法是测量其热导率，并且将得到的值与标准值相比较。通过测量从加热器传递至该流体的能量，可以获得测量值。在许多情况中，由于材料不相容、防爆应用、乃至医疗风险，而导致流体不应当与传感器和/或相关联的加热器相接触。然而，该材料典型地耗散来自流体和传感器的能量，从而降低热效率，进而降低信号质量。因此，所需要的是一种增强的传感器结构，该传感器结构可能克服前述缺陷。
发明内容
本发明的下面概述被提供，以有利于对本发明独特的一些创新特征的理解，但不是用于作为全部说明。通过将整个说明书、权利要求书、附图和摘要作为一个整体，可以得到对本发明各个方面的全面理解。
因此，本发明的一个方面提供改进的传感器系统和方法。
本发明的另一个方面提供改进的材料或管道，用于流体的热传导测量的流体流动传感器中导热。
本发明的另一个方面提供将加热器与流体流动传感器隔离的膜，用于其能量守恒和改进的测量。
本发明的另一个方面提供改进的流体流动传感器，用于测量流体的成分。
现在如这里所描述的，可以实现本发明的前述方面和其它目的及优点。公开了传感器方法和系统。流体流动传感器可被提供，该流体流动传感器测量流体的热导率。该传感器自身可被配置成包括与传感器基片相关联的一或多个检测部件。可将加热器与所述传感器相关联，其中所述加热器将热提供给所述流体。膜元件还可被提供，用于将所述流体与所述加热器和所述传感器隔离，以使所述膜元件在从所述加热器至所述传感器的方向中传导热量，从而在所述传感器、所述加热器和所述流体之间形成热耦合，该热耦合允许所述传感器通过在其他方向中没有不期望的热量损耗的情况下测量其热导率来确定所述流体的成分。该膜元件可被配置在成形的管道或流动通道之上或在其内。
另外，该膜元件或管道可以由具有其壁厚的至少一个壁组成，其中多个导热颗粒被散布在所述管道或流动通道的所述一个壁或多个壁内。多个导热颗粒优选具有近似等于或小于所述壁厚的颗粒直径。该多个导热颗粒还具有高热导率和低电导率。
在附图中，相同参考标记在所有单独的视图中表示相同或功能类似的部件，并且附图被结合及形成说明书的一部分，该附图进一步说明本发明且连同本发明的详细说明一起用于解释本发明的原理。
图1说明依据本发明实施例的被实施的传感器系统的框图；图2说明依据本发明的可替换实施例的系统的直观图，包含具有卵形横截面的流动通道的该系统可被实施；图3说明依据本发明的可替换实施例的系统的直观图，在可被实施的该系统中流动通道包括卵形D状横截面；图4说明依据本发明的可替换实施例的被实施的金属点图形的顶视图；图5说明依据本发明的可替换实施例的被实施的金属线图形的顶视图；
图6说明依据本发明的可替换实施例的金属图模结构的侧视图；以及图7说明依据本发明的可替换实施例的被实施的传感器系统的框图。
具体实施例方式
在这些非限制性例子中说明的具体值和结构可被改变且仅仅是例证性的，以说明本发明的至少一个实施例，并且不是用于限制本发明的范围。
图1说明依据本发明实施例的可被实施的传感器系统100的框图。系统100包括低热导率管道116，在管道116的壁上具有多个导热颗粒118。可以沿与检测媒质105相对的传感器基片102设置多个检测部件104和108。尽管单个传感器基片102和检测媒质105被描述在图1中的系统10中，可以理解其可替换实施例可被配置有一个或多个该传感器基片和一套或多套相关联的传感器部件的功能。
检测媒质105例如可以为诸如在医疗应用中使用的盐水或另一相当医疗流体之类的流体。由箭头208和210表示的流体流动一般地与检测媒质105共线。在具体实施例中，部件106可以是与检测部件104和108共同定位的加热器或检测部件。部件104、106和108因此可被实施作为检测电阻器。假定部件106是加热器，然后热量可从加热器106通过导热颗粒118被传递至被检测的流体(也就是，检测流体105)。
这样，热量可通过流体被传导至其它导热颗粒，其它导热颗粒与检测电阻器或检测部件104、108相接触。该热量最后通过该颗粒被传导至部件104和108，在该部件104和108点处热量被检测且产生流动信号。可以理解的是，尽管图1说明了部件106的使用(例如，加热器和/或检测部件)，但是图1中的结构可以没有部件106而被实施，在该情况中，部件104和108可被实施作为自加热部件，该部件根据流动可以以不同速度冷却。
然而当没有流动时，部件104和108可获得相同数量的热量，并且它们的信号差值为零值。如果流动如箭头208至210所示表示为从右向左时，则传感器或检测部件108比检测部件104更冷。因此呈现出差值信号，该差值信号与质量流量成比例。注意在图1中，流体流动可以是双向的。在一个实施情况中，流体流动可以从右至左，分别从箭头208至210。在可替换实施例中，流体流动可以从左至右，分别从箭头211至213。
多个导热颗粒118的各个颗粒直径近似等于管道116的壁的壁厚。该颗粒被以高百分率集聚，以使它们一般彼此没有实际接触。从而，在径向上的热导率远高于在其纵向或圆周方向中的热导率。基座管道116可以由低热导率的非硅树脂塑料材料形成。在可替换实施例中，硅树脂材料可以起作用，但是将因其相对高的热导率而具有低效率。从而，非硅树脂塑料材料是优选的。
颗粒118具有高热导率和低电导率。颗粒118可以由诸如但不限于金刚石或晶体陶瓷材料之类的材料制成。阳极化铝或其它氧化金属可被利用以形成该颗粒118。导电颗粒还可以替代颗粒118使用，但是一般是不理想的，因为该颗粒可能与流过管道116的流体或进入不期望区域中的泄漏电流起反应。
使用箭头208和210，通过检测媒质105的流体流动一般被描述在图1中。加热器106可以提供热，如由箭头106和108所示。为了确定流过检测媒质105的流体的热组分，该流体的热导率可经由传感器104和108被测量，且与标准值相比较。该检测功能还可以通过测量从加热器106传递至检测媒质105的功率(也就是，热量)来完成。管道116可由优先在加热器至流体的方向中将热/功率传导至传感器的材料薄片制成，以使热/功率没有浪费耗散在其它方向中。
因此，可以由膜配置管道116，该膜将流体(也就是，检测媒体105)与加热器106、检测器基片102和检测部件104、108隔离。该膜较好地将热传导通过膜自身的薄尺寸，而不是其长度或宽度。该膜可由镀有金属点(也就是，不必是圆形的)的低热导率聚合物膜制造，其中从下面的这种金属中激光钻孔、等离子体蚀刻或湿法蚀刻(例如，使用光刻法)在该点下面的聚合物材料，从而在聚合物背景中剩下具有金属点的膜。
在可选择实施例中，前述膜可被配置为在其相对侧带有图案化的薄(例如，25μm)金属的薄(例如，25μm)聚合物。取决于期望的实施例，金属还可被配置在其单侧上。该金属可被图案化为线或点。这些特征的宽度和间距是非常小的(例如，5μm)。该薄聚合物允许最小限度的热绝缘。该金属允许从该传感器部件至该媒质的强度和热导率。这实施例允许隔离聚合物和传感器加热器(例如，加热器206)及检测电阻器和/或其它检测部件的非精确对齐。
聚合物自身可以是平面的和亲水的或疏水的(例如，聚酯)。该金属可由生物适合的金属制造，诸如钨或铂。沉积可以为半导体方法，诸如CVD或非电解镀层(electro-less plated)或溅射。金属之间的间隙应当优选要求绝缘填充和用于其媒质侧为平面化的。
在可选择实施例中，在实施激光钻孔在其中产生一个或多个最后的孔洞之后，该孔洞可被填充诸如金属之类的高热导率材料，典型地使用非电解镀层直至聚合物表面，从而使其镀层侧的平坦化。该可选择实施例可在其平面侧提供强的、改进的密封和增强热耦合。
通过改变用于传感器基片102和105的材料类型，另外的实施例可以被实施。包含流体流动检测的许多应用要求电池供电。选择的常规基片典型的是陶瓷，其允许用于控制热能的一些非有效(non-efficient)装置。然而，依据本发明的可替换实施例，通过实施玻璃纤维基安装基片，用于流体流动检测的能量可以是最大化的，并且因此为守恒的。从而，检测基片102初始可在稳固的流体流动传感器模片中被实施，以及直接被安装且引线结合在纤维玻璃基片上，通常称为FR4或G10(例如，近似0.5至2mm厚)。因此，依据其可替换实施例，基片102可被实施作为纤维玻璃基片。用于热绝缘的优选基片可是薄(例如，近似1至5毫英寸(mil)或25至250微米)柔性电路，诸如基于聚酰亚胺的柔性电路。
图2说明依据本发明的可替换实施例的被实施的系统200的直观图，该系统200包含具有卵形横截面的流动通道216。流动通道216类似于图1和2中的管道116，差别在于流动通道216具有卵形横截面。当然，可以理解的是，尽管相关于图2中的可替换实施例示出卵形状但是依据本发明的实施例的其它横截面形状也可被实施，诸如例如矩形形状横截面。卵形横截面不认为是本发明的限制特征。系统200的流动通道216可适合于结合图1和2中的系统100使用。流体流动在图2中用箭头208和210指示。多个检测部件104和108还在图2中被说明，该多个检测部件类似于图1中的检测部件104和108。
常规流动通道在垂直方向中横过检测部件的检测区域，以使常规流动通道圆周上的小部分与传感器部件的小部分对齐。在系统200的结构中，然而通过最优流动通道形状，流体流动传感器的灵敏度和热导率可被最大化，该最优流动通道形状由流动通道216的卵形横截面积所表示。常规流动通道一般被配置为具有均匀半径的圆柱体形状。
图3说明依据本发明的可替换实施例的系统300的直观图，在可被实施的该系统中流动通道316包括卵形D状横截面。注意在图1-3中，相同或类似部分由相同参考标记表示。因此在系统300中，检测部件104和108被定位在“D”形卵横截面的“平坦侧”。流体流动在图3中由箭头308和110表示。因此，优选“卵”形横截面是“D”形横截面，其中“D”的平坦侧与有源检测部件104、108相接触。加热器106一般被定位在检测部件104和106之间。在可替换实施例，加热器106可被检测部件取代，并且沿流动通道316的“D”形横截面的平坦部分被移动至不同的位置。
另一方面，流动通道316包括卵形横截面流动通道，该流动通道覆盖传感器检测部件104、106和108的大表面面积。该结构一般具有大的宽对高比率，例如5∶1比率。此外，流动通道的传感器侧可被提供尽可能薄的厚度，以便最大化从媒质至传感器部件的热导率。因此，利用沿流动通道315的更宽间隙而不是长度间隙，可以最大化灵敏度。流动通道216可以是模制的或挤压的，以及用于形成流动通道216的材料可以是金属、熔融石英、Radel 5000、聚合物等等。流动通道216可以被应用于具有导热流体的检测部件104、106和108，以进一步最大化热导率。
公开的实施例可被实施大量应用，包含涉及流体使用的医疗应用，诸如盐水的或其它医疗流体。可被实施的可替换实施例中的一个例子是在所谓的“飞行时间(time of flight)”型传感器的环境中，其中由加热器106产生热脉冲。然后，从热脉冲的开始测量时间，直至在检测部件104和/或108处检测到热峰。“飞行时间”型传感器的例子被公开在美国专利申请No.6,234,016中，在此通过参考被结合的于2001年5月22目授予Ulrich Bonne等人的“用于测量流体速度的时间延迟逼近”的美国专利申请No.6,234,016公开了一种方法和装置，其用于测量相对独立于流体实际性质的流体速度。
图4说明依据本发明的可替换实施例的被实施的金属点图形400的顶视图。金属点图形400可被配置成形成多个颗粒，诸如在这里参考图1被说明的那些。因此，在图4中，多个金属点402-424被描述在层426、428和430上组成图形。圆点402-424可以为具有近似4μm直径的大小。圆点402-424还可以互相被间隔开5μm。
圆点402-424包括如这里所指示的金属导体。然而，注意还可根据其他形状配置该金属导体。例如，图5说明依据本发明的可替换实施例的被实施的金属线图形400的顶视图。代替形成圆点，金属导体可被形成如金属线502、504和506的图形。
图6说明依据本发明的可替换实施例的金属图形结构600的侧视图。图6描述“夹层”结构的侧视图，在该“夹层”结构中近似25μm的聚合层被设置在金属层614、616、618和606、608、610之间，该金属层还可具有近似25μm的宽度。平面化绝缘体填充层602和604还可分别定位在金属层614、606和616、608和618、610之间。取决于期望的实施例，金属层614、616、618和606、608、610可被形成为圆点(也就是，参见图4)或线(也就是，参见图5)。金属层614、616、618和606、608、610还可被形成为其它图形，诸如金属导体的栅格图形。金属导体因此具有各种形状。一般地，其中形成的圆点或线的尺寸应当小于导体或其间隙，无论那一个均为小的。
图7说明依据本发明的可替换实施例的可被实施的传感器系统700的框图。系统700类似于图1中的系统100，除了各自元件的厚度改变之外。同样，相比于图1中系统100的结构，系统700的一般结构被改变。图7中的系统700一般包括具有多个导热颗粒718的低热导率管道716，该导热颗粒718定位在管道716的壁内。多个检测部件704和708可以沿着传感器基片702被设置。管道716可以被配置成围绕用于检测的媒质705。尽管在图7中的系统700中说明单个传感器基片702和检测的媒质705，但可以理解，其中可替换实施例可以被配置成具有一个或多个传感器基片和一套或多套相关联的传感器部件的功能。
检测的媒质705例如可以是流体，诸如在医疗应用中使用的盐水或另外相当的医疗流体。由箭头208和210表示的流体流动一般与检测的媒质705共线的。在具体实施例中，部件706可以是与检测部件704和708共同定位的加热器或检测部件。部件704、706和708因此可以作为检测电阻器被实施。假定部件706是加热器，然后热量可以被从加热器706通过导热颗粒718传递至被检测的流体(也就是，检测的媒质705)。
注意，图7中的部件704、706和708一般类似于图1中的部件104、106和108。类似地，图7中的传感器基片702类似于图7中的传感器基片102。同样地，图7中的媒质705与图1中的媒质105类似。颗粒718类似于颗粒118，以及管道716类似于管道116。传感器基片702可以包括例如近似500μm的厚度。检测的媒质705可以具有近似100μm的内直径。管道716的壁厚可以为近似25μm。另一方面，部件704、706和708的每一个可以具有近似1μm的厚度。
热量可以通过流体被传导至其它传导颗粒，该传导颗粒与检测电阻器或检测部件704、708相接触。该热量最终通过该颗粒被传导至部件704和708，在该部件704和708点处热量被检测且生成流动信号。可以理解的是，尽管图7说明部件706(例如加热器和/或检测部件)的使用，但是在没有部件706的情况中图7的结构也可以被实施，在该情况中，部件704和708可以作为自加热部件被实施，该自加热部件根据流动可以以不同速度冷却。
然而，在没有流动时，部件704和708可以获得同样数量的热量，并且其信号差值为零值。如果流动表示为从右至左，如箭头208至210所示，则传感器或检测部分708比检测部件704凉。因此，存在差值信号，该信号与质量流量成比例。注意，在图7中，流体流动可以是双向的。在一个实施中，流体流动可以为从右至左，分别从箭头208至210。在可替换实施例中，流体流动可以从左至右，分别从箭头211至213。
多个导热颗粒718的各个颗粒直径近似等于管道716的壁的壁厚。该颗粒以高百分率集聚，以使它们一般彼此不实际接触。从而在径向上的热导率将远高于在其纵向或圆周方向上的热导率。底座管道716可以由低热导率的非硅树脂塑料材料制造。在可替换实施例中，硅树脂材料可以起作用，但是由于其相当高的热导率而具有低效率。从而非硅树脂塑料材料是优选的。
颗粒718具有高热导率和低电导率。颗粒718可以由诸如但不限于金刚石或晶体陶瓷材料之类的材料制造。阳极化铝或其它氧化金属可被利用以形成该颗粒718。导电颗粒还可以代替颗粒718使用，但是一般不是优选的，因为该颗粒可能与流过管道716的流体或进入不期望的区域的泄漏电流起反应。
这里阐述的实施例和例子被表述以更好地解释本发明及其实际应用，从而使本领域熟练技术人员能够实现和利用本发明。然而，本领域熟练技术人员将认识到，前面的描述和例子仅仅表述用于说明和示例的目的。本发明的其它改变和修改对于本领域熟练技术人员将是清楚的，附加的权利要求的目的在于覆盖该改变和修改。
所阐述的描述不是用于穷尽或限制本发明的范围。考虑到上述教导，不脱离下面权利要求的范围，许多变化和修变是可能的，预期的是，本发明的使用可以包含具有不同性能的部件。其目的是，本发明的范围由附加至那里的权利要求书所限定，在所有方面对等价物给出充分的认定。
权利要求
1.一种传感器方法，包括步骤提供用于测量流体的热导率的传感器，其中所述传感器包括与传感器基片相关联的至少一个流体检测部件；将加热器与所述传感器相关联，其中所述加热器将热量提供给所述流体；以及提供膜元件，该膜元件将所述流体与所述加热器以及所述传感器隔离，以使所述膜元件在从所述加热器至所述传感器的方向中传导热量，从而在所述传感器、所述加热器和所述流体之间形成热耦合，该热耦合允许所述传感器通过在其他方向中没有不期望的热量损耗情况下测量其中热导率来确定所述流体的成分。
2.如权利要求1所述的方法，进一步包括步骤配置所述膜元件以包括由至少一个壁组成的管道，该管道具有其壁厚，其中多个导热颗粒被分散在所述管道中的所述至少一个壁内。
3.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤配置所述多个导热颗粒中的各个颗粒以包括近似等于所述壁厚的颗粒直径。
4.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤由塑料制成所述管道，以使所述多个导热颗粒具有高热导率以及所述塑料具有低电导率。
5.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤由金刚石形成所述多个导热颗粒。
6.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤所述多个导热颗粒包括多个颗粒，该多个颗粒由晶体陶瓷材料制成。
5.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤由阳极化铝形成所述多个导热颗粒。
6.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤由低热导率聚合物配置所述膜元件；将金属与所述低热导率聚合物相关联；蚀刻位于所述低热导率聚合物下面的所述金属，以在所述低热导率聚合物上面形成多个金属点，从而使所述膜元件具有被镀在其聚合物背景中的所述多个金属点，以使所述多个金属点包括所述多个导热颗粒。
7.如权利要求2所述的方法，进一步包括步骤由低热导率聚合物配置所述膜元件；将金属与所述低热导率聚合物相关联；激光钻孔所述低热导率聚合物以在其中形成孔洞；以及之后使用金属填充所述孔洞至所述聚合物的表面，以使所述聚合物的电镀侧平面化，该所述多个金属点包括所述多个导热颗粒。
8.如权利要求1所述的方法，进一步包括步骤配置所述传感器以包括传感器模片，该传感器模片被安装且引线结合至所述传感器基片，其中所述传感器基片提供低热导率基底安装结构，其中对于流体流动检测的能量被最大化。
9.如权利要求1所述的方法，进一步包括步骤配置所述膜元件以包括在具有卵形横截面区域的流动通道，该卵形横截面区域覆盖所述传感器的所述至少一个检测元件的主要表面区域。
10.如权利要求1所述的方法，进一步包括步骤配置所述膜元件以包括在具有“D”形横截面区域的流动通道，该“D”形横截面区域覆盖所述传感器的所述至少一个检测元件的主要表面区域。
11.一种传感器方法，包括步骤提供用于测量流体的热导率的传感器，其中所述传感器包括至少一个流体检测部件；由传感器模片配置所述传感器，该传感器模片被安装和结合至纤维玻璃基片，从而提供纤维基底安装结构，其中对于流体流动检测的能量被最大化；将加热器与所述传感器相关联，其中所述加热器将热量提供给所述流体；提供膜元件，该膜元件将所述流体与所述加热器以及所述传感器隔离，以使所述膜元件在从所述加热器至所述传感器的方向中传导热量，从而在所述传感器、所述加热器和所述流体之间形成热耦合，该热耦合允许所述传感器通过在其他方向中没有不期望的热量损耗情况下测量其中热导率来确定所述流体的成分；配置所述膜元件以包括由至少一个壁组成的管道，该管道具有壁厚，其中多个导热颗粒被分散在所述管道的所述至少一个壁内；配置所述多个导热颗粒中的各个颗粒以包括近似等于所述壁厚的颗粒直径；以及由塑料制成所述管道，以使所述多个导热颗粒具有高热导率和低电导率。
12.一种传感器系统，包括用于测量流体的热导率的传感器，其中所述传感器包括与传感器基片相关联的至少一个流体检测部件；用于将热量提供至所述流体的加热器；以及将所述流体与所述加热器和所述传感器隔离的膜元件，所述膜元件在从所述加热器至所述传感器的方向中传导热量，从而提供在所述传感器、所述加热器和所述流体之间热耦合，该热耦合允许所述传感器通过在其他方向中没有不期望的热量损耗情况下测量其中热导率来确定所述流体的成分。
13.如权利要求12所述的系统，其中所述膜元件包括由具有其壁厚的至少一个壁组成的膜，其中多个导热颗粒被分散在所述膜的所述至少一个壁内。
14.如权利要求13所述的系统，其中所述多个导热颗粒中的各个颗粒包括近似等于所述壁厚的颗粒直径。
15.如权利要求13所述的系统，其中所述膜包括塑料，以使所述多个导热颗粒具有高热导率及低电导率。
16.如权利要求13所述的系统，其中所述多个导热颗粒包括颗粒，该颗粒由下面材料中的至少一个所制造金刚石、晶体陶瓷和阳极化铝。
17.如权利要求13所述的系统，其中所述膜元件包括镀有多个金属点的低热导率聚合物，其中通过图形化所述低热导率聚合物形成所述多个金属点，并且之后在与所述低热导率聚合物相关联的金属上提供蚀刻，从而使所述膜元件在其聚合物背景中具有所述多个金属点，该所述多个金属点包括所述多个导热颗粒。
18.如权利要求13所述的系统，其中所述膜元件包括镀有多个金属点的低热导率聚合物，其中通过激光钻孔所述低热导率聚合物以在其中形成孔洞来形成所述多个金属点，并且之后使用金属填充所述孔洞直至所述聚合物的表面，以提供所述聚合物的镀层侧的平坦化，该所述多个金属点包括所述多个导热颗粒。
19.如权利要求12所述的系统，其中所述传感器包括安装且结合至所述传感器基片的传感器模片，其中所述传感器基片包括低热导率基座安装结构，其中对于流体流动检测的其能量传递被最大化。
20.如权利要求12所述的系统，其中所述膜元件包括具有卵形横截面区域的流动通道，该卵形横截面区域覆盖所述传感器的所述至少一个检测部件的主要表面区域，以及其中利用导热流体将所述流动通道应用至所述至少一个检测部件，以最大化热导率。
全文摘要
公开一种传感器方法和系统。可以提供流体流动传感器，其测量流体的热导率。该传感器自身可被配置成包括与传感器基片相关联的一个或多个检测部件。可以将加热器与所述传感器相关联，其中所述加热器将热量提供给所述流体。还可以提供膜元件，以将所述流体与所述加热器和所述传感器隔离，以使所述膜元件在从所述加热器至所述传感器的方向中传导热量，从而在所述传感器、所述加热器和所述流体之间形成热耦合，该热耦合允许所述传感器通过在其他方向中没有不期望的热量损耗情况下测量其中热导率来确定所述流体的成分。该膜元件可以被配置在成形的管道或流动通道之上或之内。
文档编号G01N25/18GK1902466SQ200480040335
公开日2007年1月24日 申请日期2004年11月12日 优先权日2003年11月15日
发明者R·W·格曼, B·D·斯佩尔德里奇, R·A·阿尔德曼 申请人:霍尼韦尔国际公司