透光薄膜瑕疵的检验方法

文档序号:6101752阅读:397来源:国知局
专利名称:透光薄膜瑕疵的检验方法
技术领域
本发明涉及一种透光薄膜瑕疵的检验方法。
背景技术
经过清洗制程后的透光薄膜,其表面仍然可能存在脏物、刮伤或者水纹等瑕疵,需经过检验才可确定是否合格。
现有技术中透光薄膜瑕疵的检验方法,第一种是使用人工的方式,采用强光照射或是借助放大镜,肉眼观察并根据经验加以确定待检验透光薄膜是否合格。但是,不同的人员采用该种方法进行检验,会产生不同的测量结果,因而产生的差别较大,不容易制定出合理的检验规范。
第二种方法是利用CCD(Charge Coupled Device,电荷耦合器件)影像传感器或者CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor,互补性金属氧化物半导体)影像传感器,搭配放大镜将透光薄膜进行拍照得到影像后进行观察,从而可实现自动化。但是,该影像分析程序不易撰写,且容易发生误判。同时,检验规范不容易制定,如脏物颗粒大小、刮伤的尺寸多少以内为合格以及水纹何种样式为合格等。

发明内容有鉴于此,有必要提供一种容易制定检验规范的透光薄膜瑕疵的检验方法。
一种透光薄膜瑕疵的检验方法,其主要包括下列步骤提供一测试图样;利用影像传感器透过待检验透光薄膜拍摄得到该测试图样的影像;分析该影像的分辨率;比较该影像的分辨率和透过一标准透光薄膜拍摄得到的该测试图样影像的分辨率,若比较结果在规定范围内则该待检验透光薄膜为合格品,反之为非合格品。
与现有技术相比,所述透光薄膜瑕疵的检验方法是用具体数据表示影像的分辨率,采用影像传感器透过待检测透光薄膜拍摄得到测试图样的影像,然后将该影像的分辨率和透过标准透光薄膜拍摄得到的测试图样影像的分辨率进行分析、比较,然后根据比较结果进行判断待检验透光薄膜是否合格,比较结果在检验规范内则合格,反之则不合格。由于影像的分辨率为一具体数据,二者的比较结果也是一具体数据,故容易制定检验规范。

图1是本发明实施例透光薄膜瑕疵的检验方法的流程图。
图2是本发明实施例透光薄膜瑕疵的检验方法得到第一影像的示意图。
具体实施方式下面将结合附图对本发明作进一步详细说明。
如图1所示,其为本发明实施例的透光薄膜瑕疵的检验方法的流程图,该方法主要包括下列步骤提供一测试图样;将标准透光薄膜置于测试图样和镜头之间,通过影像传感器拍摄得到该测试图样的第一影像;分析该第一影像的分辨率;将待检验透光薄膜置于测试图样和镜头之间,通过影像传感器拍摄得到该测试图样的第二影像;分析该第二影像的分辨率;比较第一影像和第二影像的分辨率,若比较结果在规定范围内则该待检验透光薄膜为合格品,反之为非合格品。
下面对每一步骤进行详细说明。
步骤一为提供一测试图样。该测试图样可以为正弦波图样或者方波图样。为了便于检验,可将该测试图样放在工作台上。
步骤二是将标准透光薄膜置于测试图样和镜头之间,通过影像传感器拍摄得到该测试图样的第一影像。
该标准透光薄膜无任何瑕疵,其可采用人工方式取得,例如强光照射肉眼观察、显微镜肉眼观察或者利用CCD或者CMOS影像传感器再搭配放大镜将薄膜进行拍照后进行对比分析等方法得到该标准透光薄膜。
具体拍摄过程如图2所示,将标准透光薄膜2放在测试图样1和镜头3之间,然后通过影像传感器4进行拍照,从而得到该测试图样1的第一影像。
该影像传感器4和一分析单元5相连,该第一影像可实时输入分析单元5中,且该分析单元5可控制影像传感器4的拍摄。
该分析单元5为一程序可控制的装置,如计算机、图像分析仪等。该影像传感器4为CCD或CMOS影像传感器,其通过串口、USB(Universal SerialBus,通用串行总线)或者1394等接口和该分析单元5相连。
步骤三为分析该第一影像的分辨率。通过安装在分析单元5内的影像分辨率程序分析该第一影像的分辨率。
根据分析单元5内程序的种类,该第一影像的分辨率可以表示为CTF(Contrast Transfer Function,对比传递函数)值或者MTF(ModulationTransfer Function,调制传递函数),本实施例以MTF值表示第一影像的分辨率,以下都以MTF值进行说明。CTF值的取得过程和MTF值相同。
在分析该第一影像的分辨率MTF1值时,可将该第一影像分为若干小区域,如2n(n为大于等于1的整数),先分析每一小区域的MTFn值,根据每一小区域的MTFn值得出第一影像的MTF1值。
步骤四是将待检验透光薄膜置于测试图样和镜头之间,通过影像传感器拍摄得到该测试图样的第二影像。
该步骤的具体操作过程和步骤二的过程相同,将待检验透光薄膜取代标准透光薄膜2的位置,然后通过影像传感器4进行拍照,从而得到该测试图样1的第二影像。
步骤五是分析该第二影像的分辨率。将该第二影像分成和第一影像相同数量的小区域,计算每一小区域的MTFn值,然后计算整块第二影像的MTF2值。
步骤六是将比较第一影像和第二影像的分辨率,若比较结果在规定范围内则待检验透光薄膜为合格品,反之为非合格品。
将第一影像的MTF1和第二影像的MTF2进行比较,二者的比较结果(MTF1-MTF2)/MTF1在一定范围内,该检验范围可由分析单元5设定,如0-0.2%之间,则该待检验透光薄膜为合格品,反之则为非合格品。
如果待检验透光薄膜无任何瑕疵,此时MTF1=MTF2,二者的比较差值等于零;如果待检验透光薄膜具有脏物、刮伤或者水纹等瑕疵,则MTF2<MTF1,二者的比较差值大于零,瑕疵越少则MTF2越接近MTF1,则比较差值越接近零,瑕疵越多则MTF2和MTF1之间差值越大,二者的比较差值越大。
该透光薄膜瑕疵的检验方法通过程序可控的分析单元5计算分析透过待检验透光薄膜拍摄得到的第二影像分辨率的CTF或者MTF值、透过标准透光薄膜得到的第一影像分辨率的CTF或者MTF值以及第一影像和第二影像分辨率之间的比较,在整个比较分析过程中不需要肉眼观察,都由该分析单元5完成,且该CTF或者MTF值都为一具体数据,比较结果因而也为具体数据,故,检验规范容易制定。另外,由于检验过程中所需要的数值都由分析单元5完成,不同的人员进行检验也不会出现大的差别。
该透光薄膜瑕疵的检验方法可用来检验紫外线滤光片、红外截止滤光片(IR-Cut Filter)等可透光的产品。
另外,本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化,当然,这些依据本发明精神所做的变化,都应包含在本发明所要求保护的范围内。
权利要求
1.一种透光薄膜瑕疵的检验方法,包括下列步骤提供一测试图样;利用影像传感器透过待检验透光薄膜拍摄得到该测试图样的影像;分析该影像的分辨率;比较该影像的分辨率和透过一标准透光薄膜拍摄得到的该测试图样影像的分辨率,若比较结果在规定范围内则该待检验透光薄膜为合格品,反之为非合格品。
2.如权利要求1所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该分辨率以调制传递函数表示。
3.如权利要求1所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该分辨率以对比传递函数表示。
4.如权利要求2或3所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于将拍摄得到的影像分成一定数量的区域,计算每个区域的分辨率,然后得到整个影像的分辨率。
5.如权利要求1所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该影像传感器为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体影像传感器。
6.如权利要求5所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该影像传感器和分析单元相连。
7.如权利要求6所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该拍摄得到的影像实时输入分析单元,通过分析单元内置的程序分析该影像的分辨率。
8.如权利要求6所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该分析单元为一计算机或者图像分析仪。
9.如权利要求1所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于进一步包括一设置于待检验透光薄膜和影像传感器之间的镜头。
10.如权利要求1所述的透光薄膜瑕疵的检验方法,其特征在于该测试图样为正弦波或者方波。
全文摘要
本发明涉及一种透光薄膜瑕疵的检验方法,该方法包括下列步骤提供一测试图样;利用影像传感器透过待检验透光薄膜拍摄得到该测试图样的影像;分析该影像的分辨率;比较该影像的分辨率和透过标准透光薄膜拍摄得到的该测试图样影像的分辨率,若比较结果在规定范围内则该待检验透光薄膜为合格品,反之为非合格品。
文档编号G01N21/88GK1971256SQ200510101779
公开日2007年5月30日 申请日期2005年11月25日 优先权日2005年11月25日
发明者张维中 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司
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