专利名称：离子控制传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及能够检测除电装置产生的正负离子量的离子平衡和被除电 物的带电电位双方的离子控制传感器。
现有技术
以往，例如在(日本国)特开平11-345697号公报(
~
、
阁1等)记载了一种除电装置，该除电装置对应被除电物的静电电容的大 小及表面电位对于施加在放电电极针的电压进行可变控制。
该除电装置的结构如下，具有至少一根放电电极针，其供给电压， 对于被除电物产生电暈放电；表面电位计，其连续地测定被除电物的表面 电位；运算处理单元，其根据所测定的表面电位计算使被除电物的表面电 位收敛至零的施加电压；以及电压输出单元，其向放电电极针输出利用计 算所求得的施加电压，其中，向运算处理单元反馈表面电位计的测定结果， 使对放电电极针的施加电压可变。此外，运算处理单元也具备根据表面电 位测定值的变化计算被除电物的静电电容的功能。
按照上述(日本国)特开平11-345697号公报记载的现有技术，始终测 定被除电物的表面电位及基于该表面电位的静电电容，向运算处理单元反 馈这些测定值，控制对放电电极针的施加电压，大致能够高精度低进行除 电。
此外，在(日本国)特许第3522586号公报(
~
、图1等)
记载有一种液晶面板的制造装置，使离子发生器(除电装置)产生的离子 之中只有除电所需量的离子到达液晶基板(被除电物)，在失去离子平衡的 情况下，使液晶基板反向带电。
该液晶面板制造装置具有除电装置，其利用电暈放电产生离子；及 栅电极板等电极部件，其根据除电对象物的带电量调整往除电对象物的离 子量，其中，除电装置包括屏蔽壳体，其在放电侧开口；放电电极，其 设置于屏蔽壳体内；以及高压电源，其向该;故电电籾—施加电晕放电所需的
高电压。
就其作用而言，着眼于液晶基板和电极部件之间的电场按照液晶基板 的带电量变化，在带电量小的情况所述电场变弱，从而使得从除电装置产 生的离子的大部分自电极部件流向接地侧，使往液晶基板的到达离子量减 少，而在带电量大的情况所述电场变强，使从除电装置产生的离子的大部 分到达液晶基板，提高除电效果。
然而，(日本国)特开平11-345697号公报所记载的现有技术，基本上 根据被除电物的表面电位控制除电装置，而没有考虑从除电装置产生的正 负离子的离子平衡。因而，也有自除电装置产生的正负的离子量没有形成
离子平衡的情况，从而由于离子发生器可能使原本未带电的被除电物带某 一方的极性。在这样被除电物带电的情况下，虽然利用基于其表面电位的 除电装置的控制可进行除电，但是进行了本来不需要的除电动作，从而浪 费时间及电力。
此外，(日本国)特许第3522586号公报记载的现有技术，由于根据基 于液晶基板的带电量的电场强度控制离子往液晶基板的到达量，因此，在 提高除电精度上受到限制，例如难以将液晶基板准确地保持在士0[V]。
进而，由于需要具备大型的栅电极板等，以能够覆盖在除电装置所配 置的多个放电电极针与液晶基板之间的空间，因此，存在构成部件大型化 而导致装置整体大型化及成本上升的问题。
发明内容
本发明的课题在于，提供一种低成本的离子控制传感器，其利用极简 单的结构，能够检测离子平衡及检测被除电物的带电电位，提高除电装置
的性能。
为解决上述的课题，在技术方案1记载的发明是一种离子控制传感器， 其特征在于，在向被除电物供给正负离子而进行除电并具备用于测定被除 电物的表面电位的表面电位测定用探针的除电装置中，包括电位检测部， 其构成表面电位测定用探针；以及导电性的盖，其经由绝缘部件配置成包 围该电位4全测部。
此外，在技术方案2记载的发明是在技术方案1的离子控制传感器中，
子而在所述盖上产生的电位，并作为反馈信号向除电装置内的控制电路送出。
根据本发明的上述结构，可利用单一的离子控制传感器检测除电装置 产生的正负离子的离子平衡和被除电物的表面电位，可实现高精度且高效 率的除电装置。
此外，本发明只是在既有的表面电位测定用探针的电位检测部经由绝 缘部件安装导电性的盖就可实现，构造极简单，能以低成本提供。
图1是表示本发明的优选实施方式的离子控制传感器的立体图。
图2是本发明的优选实施方式的使用状态的说明图。 图3是图2的除电装置的概略结构图。
以下，根据
用于实施本发明的优选实施方式。首先，图1是 本实施方式的离子控制传感器10的立体图。
在图1中，11是方棒形的表面电位测定用探针，是所谓的音叉型或音 片型表面电位测定装置等的探针，其能够以非接触方式测定被除电物的表 面电位。此外，该探针11的表面电位的测定原理没有特别限定。该探针ll 经由电缆21与后述的除电装置20连接。
在表面电位测定用探针11的长度方向的大致中央部固接有由合成树脂 等构成的口字形的绝缘部件12，而且用螺钉14安装由有底方筒形的导电材 料构成的盖13,使得包围本绝缘部件12和探针11的前端部。此外，上述 的才笨针11的前端部构成具有4全测孔(未图示)的电位4全测部lla,本电位 检测部lla和盖13的内面由于所述绝缘部件12及空间而保持非接触状态。
其次，图2是本实施方式的使用状态的说明图，图3是除电装置20的 概略结构图。
如图3所示，除电装置20包括多个放电电极22,其通过电暈(corona ) 放电而产生正负离子；高电压电源电^各23，其用于向这些》文电电极22施力口 可变的高电压；以及控制电路24，其根据所述表面电位测定用探针11的输
此外，该除电装置20可以是向》文电电4及22 ;^加交流电压的交流式除 电装置或者施加给放电电极22直流电压的直流式除电装置，也可以根据需200580049885.3
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要而具备向被除电物方向强制送出所产生的离子的风扇。 接着，参照图2说明本实施方式的作用。
在图2中，离子控制传感器10配置成接近应除电的被除电物30的表 面。在此，被除电物30是半导体晶片或液晶基板等的各种除电对象物。
当被运送至离子控制传感器10的正下的被除电物30例如带有正电位 时，由于静电感应而使离子控制传感器10的盖也带有正电位。利用表面电 位测定用探针11的电位检测部1 la检测该正电位，其检测信号作为反馈信 号被输入除电装置20内的控制电路24。
由此，在控制电^各24中，为了除去(中和)^皮除电物30的正电位， 使高电压电源电路23动作，而从放电电极22大量地产生负离子。例如， 进行使施加给放电电极22的交流或直流的负电压的振幅比正电压的振幅更 大等控制动作。
通过上述动作，由于向被除电物30供给自放电电极22产生的大量的 负离子，因此，中和被除电物30的正电位而除电。
此外，在检测自放电电极22产生的正负离子量的平衡即所谓的离子平 衡的情况下，在离子控制传感器10的正下不存在被除电物30的状态或者 即使存在被除电物30也没有正负带电的状态下，使除电装置20动作。
在此情况，离子控制传感器10的盖13与从放电电极22产生的正负离 子量的平衡对应地带有正电位或负电位，此外，若取得离子平衡，就变成O 电位
即，当所产生的正离子比负离子多时，因盖13带有正电位，则表面电 位测定用探针11的电位检测部lla检测到正电位，该检测信号作为反馈信 号被输入除电装置20内的控制电路24。因而，在控制电路24中，进行控 制动作，使高电压电源电路23动作，使得自放电电极22大量产生负离子。
在从放电电极22产生的负离子比正离子多的情况下，进行与上述相反 的动作。
此外，上述的实施方式仅仅是一例，对本发明的离子控制传感器或表 面电位测定用探针的形状、结构没有任何限定，可以进行各种变形。
此外，对除电装置的结构、形状也不特别限定，其可用作天花板等的 安装型、桌上型、空调型等各种形式的除电装置。
权利要求
1.一种离子控制传感器，其特征在于，在向被除电物供给正负离子而进行除电并具备用于测定被除电物的表面电位的表面电位测定用探针的除电装置中，包括电位检测部，其构成表面电位测定用探针；以及导电性的盖，其经由绝缘部件配置成包围该电位检测部。
2. 如权利要求1所述的离子控制传感器，其特征在于， 利用所述电位检测部检测因被除电物的带电电荷或从除电装置所供给的离子而在所述盖上产生的电位，并作为反馈信号向除电装置内的控制电 路送出。
全文摘要
提供一种离子控制传感器，在向被除电物供给正负离子进行除电并具备用于测定被除电物的表面电位的表面电位测定用探针的除电装置中，包括电位检测部(11a)，其构成表面电位测定用探针(11)；及导电性的盖(13)，其配置成以非接触状态包围该电位检测部(11a)，利用电位检测部(11a)检测因被除电物(30)的带电电荷或自除电装置(20)所供给的离子而在盖(13)产生的电位，并作为反馈信号向除电装置(20)内的控制电路(24)送出。按照本发明，能够以极简单的构造检测离子平衡及被除电物的带电电位，可提高离子发生器的除电性能。
文档编号G01R29/24GK101180547SQ20058004988
公开日2008年5月14日 申请日期2005年6月13日 优先权日2005年5月27日
发明者中岛用松 申请人:修谷鲁电子机器股份有限公司