专利名称：测试机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测试机构，特别是涉及一种用以检测IC晶片，能防 止测试机构園施压力道过大造成IC晶片破损，且能平稳且正确地与待测IC 产生对位效果，实现单一测试单元能同时测试多组IC晶片作用而可提升测试效率的测试才几构。雄甚娃#为了检知IC晶片制成之后的良窳与否，并对测试后的晶片加以分类处 理，目前业者会利用一 IC测试分类机来进行测试分类，以往的IC测试分类 机主要是先将待测IC移至一待试区内，再利用 一具有真空吸附能力的测试 臂(test hand),将一测试单元(测试头)吸附并压制在该待测IC上，使待 测IC的接脚能与该测试单元的插座产生电性连结，进而侦知IC晶片的相 关功能是否正常无误，而测试完成之后的IC晶片会经由一控制单元的操控 下，依优良品、不良品的分类，利用该测试臂或一输送机构来移动，并储放 在对应的储置区内，以备下一制程的进行。但是，由于该测试单元是以触压IC的方式才能达到检测效果，而该测 试单元的压制力道又完全取决于该测试臂的下移行程，所以，在该测试单 元与待测IC接触位置无緩冲机制的情形下，若该测试臂的位移行程稍有误 差，往往容易使得测试单元的压制力道过大而使晶片破损，所以操作人员在 使用前必须非常小心的调校测试臂的位移行程，且不同类型或批次的IC晶 片便必须重新调校一次，也造成使用上的困扰。此外，以往现有的IC测试分类机构在才喿作的效率上相当緩慢，主要原因 在于该测试单元仅能对单一个IC晶片进行检测，如果欲增加其测试效率，只 能藉由增加测试单元的插座数量来因应，但随着IC晶片微型化的发展趋势 下，该测试单元的插座必须同时精准地与多数个IC对位，否则除了可能无 法达到正确对位来进行检测作业之外，也会因为两者间的位置偏移，而造 成压制后的IC晶片破损。由此可见，上迷现有的测试机构在结构与使用上，显然仍存在有不便 与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫 不费尽心思来谋求解决之道，但是长久以来一直未见适用的设计被发展完 成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急 欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的测试机构，实属当前重要研发
课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。有鉴于上述现有的测试机构存在的缺陷，本设计人基于从事此类产品 设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研 究创新，以期创设一种新型的测试机构，能够改进一般现有的测试机构，使 其更具有实用性。经过不断研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终 于创设出确具实用价值的本实用新型。发稱内客本实用新型的目的在于，克服现有的测试机构存在的缺陷，而提供一种 新型的测试机构，所要解决的技术问题是使其可以解决以往测试单元与待测IC之间无緩冲机制，造成晶片受压制后容易破损，以及两者无法精准对位、位移行程调校不便的缺点，从而更加适于实用。本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现 的。依据本实用新型提出的一种测试机构，可接受一机具的一控制单元的驱动而将待测物移动至一测试区进行测试分类，该测试机构包含 一 固定 单元，连接在该控制单元上，具有一容置空间及一设置在该容置空间内的緩 冲元件； 一活动单元，具有至少一可沿一第一方向活动且一端轴设在该容 置空间内的嵌引件；以及一测试座，位于该活动单元下方且与该嵌引件连 结，具有一顶面、 一相反于该顶面的底面，以及至少一个设置于该底面的嵌 置孔，用以吸附一测试治具。本实用新型的目的及解决其技术问题还可以可采用以下的技术措施来 进一步实现。前述的测试才几构，其中所述的緩冲元件是以弹性材料制成薄片状。 前述的测试才几构，其中所述的固定单元更具有一连通该容置空间的进气孔，可以供外界加压流体泵送入该容置空间，促使该缓冲元件可保持表面张力。前述的测试机构，其中所述的固定单元是由一上壳件及一下壳件对接 而成，该上、下壳件对合后的内壁面是构成该封闭状的容置空间，且使得该 緩冲元件夹设在该上壳体、下壳件之间。前述的测试枳i构，其中所迷的固定单元更具有复数锁设元件，该等锁设 元件是穿置过该下壳件及该緩冲元件后，再锁设入该上壳件。前述的测试机构，其中所述的活动单元更具有一轴设在容置空间内且与嵌引件固接的活动座，且该活动座是对应于该緩沖元件。前迷的测试机构，其中所述的固定单元更具有一装设于该容置空间内的导柱，该活动座对应该导柱开设有一导孔。前述的测试才凡构，其中所述的活动单元更具有至少一 自该活动座底部 朝下延伸且凸露出该容置空间外的抵接台。前述的测试机构，其中所述的活动单元的嵌引件包括有反向设置的一 大径段及一小径段。前述的测试机构，其更包含有一设置在该活动羊元该测试座之间的连 结单元，该连结单元具有一顶面、 一与该顶面反向的底面、至少一贯通该 顶、底面的滑槽，使该嵌引件的大径段可伸设在该滑槽内且无脱出之虞。前述的测试4几构，其中所述的连结单元更具有至少一装设在该滑槽内 且套穿该嵌引件的滑套。前述的测试机构，其中所述的滑套开孔的孔径是小于该嵌引件大径段 的外径。前述的测试机构，其中所述的连结单元更具有复数个沿一第二方向开 设的弧形孔，及复数个穿置过该等弧形孔且锁设入该测试座内的螺栓，使该 测试座能沿该弧形孔的长方向且相对该连结单元产生径向旋摆。前述的测试机构，其更包含有复数个装设在该测试座一顶面与该连结 单元底面之间的滑动单元，且使得该测试座与该连结单元之间形成有一间 隙。前述的测试机构，其中所述的滑动单元为滚珠轴承。前述的测试机构，其中所述的测试座更具有复数个分别对应该等嵌置 孔且可相连通的导气孔。前述的测试机构，其更包含有一固接在该控制单元与该固定单元之间 的基座。前述的测试机构，其中所述的基座具有二分别位于短侧边的挂接部，用 以挂设于该控制单元的下方。本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。经由以上可知，为了达到上述目的，本实用新型提出一种能提供测试单元在压制待测ic 时的緩沖位移行程，并且两者可达到精准对位的测试机构。该测试机构可 接受 一 才几具的 一 控制单元的驱动而将待测物移动至 一 测试区进行测试分 类，且该测试机构包含有一固定单元、 一活动单元及一测试座。该固定单元，连接在该控制单元上，具有一容置空间及一设置在该容置 空间内的緩冲元件。该活动单元，具有一对应该緩冲元件的活动座，以及至少一固接该活动座且可沿一第一方向活动的嵌引件。该测试座，位于该活动单元下方且与该嵌引件相连结，具有一顶面、一 相反于该顶面的底面，以及至少一设置于该底面的嵌置孔，用以吸附一测试 治具。此外，该测试:机构更包含有位于一个该活动单元与该测试座之间的连 结单元，该连结单元具有一顶面、 一与该顶面反向的底面、至少一贯通该 顶、底面且供该嵌引件伸设其内的滑槽，使该嵌引件的底端可伸设在该滑 槽内且无脱出之虞，且该连结单元的底面与该嵌引件的底端之间，形成设 有一緩冲室。借由上述技术方案，本实用新型测试机构至少具有下列优点1、 应用本实用新型测试机构利用容置空间内的緩冲元件，加上测试座 顶面与嵌引件之间所形成的緩冲室，提供了测试机构在下移压制待测IC时 的轴向緩冲位移行程，能够防止测试机构因施压力道过大，造成工C晶片的 破损情形。2、 本实用新型除了测试座能产生轴向的緩冲位移外，还能藉由滑动单 元搭配连结单元的弧形孔，使整个测试座能够适时的产生径向偏摆，能平 稳且正确地与待测IC产生对位效果，实现单一测试单元能同时测试多组IC 晶片的作用，而可"l是升测试效率。综上所述，本实用新型是有关一种测试机构，包含有一固定单元、 一位 于该固定单元下方的活动单元及一测试座，该固定单元具有一容置空间及 一设在该容置空间内的緩沖元件，该活动单元具有至少一可沿一第一方向 活动且一端轴设在该容置空间内的嵌引件，该测试座位于该活动单元下方 且与该嵌引件相连结，具有一顶面、 一相反于该顶面的底面，以及至少一设 置于该底面的嵌置孔，用以吸附一测试治具。其可以解决以往测试单元与 待测IC之间无緩冲机制，造成晶片受压制后容易破损，以及两者无法精准 对位、位移行程调校不便的缺点，非常适于实用。本实用新型具有上述诸 多优点及实用价值，其不论在产品结构或功能上皆有较大改进，在技术上 有显著的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的测试机构具有增 进的突出功效，从而更加适于实用，并具有产业广泛利用价值，诚为一新 颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实 用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用 新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施 例，并配合附图，详细说明如下。附屈说明
图1是依照本实用新型一较佳实施例的一种测试机构的分解立体图。 图2是依照本实用新型该较佳实施例的一种测试机构的剖面图。 图3是傢照本实用新型该较佳实施例的一种测试机构在沿着图2中3-3 剖面线所剖切后的剖面图。图4是依照本实用新型该较实施例的一种测试机构在一第一定位使用
状态下的剖面图。图5是依照本实用新型该较佳实施例的一种测试机构在一第二定位状 态下的剖面图。100测试冲几构110基座111桂接部120固定单元121上壳件122 :下壳件123容置空间124 .緩冲元件125导柱126进气孔130活动单元131活动座1311抵接台1312组接孔132嵌引件1321小径段1322大径段133导孔134锁接件140连结单元141顶面142底面143滑槽144滑套145弧形孔146緩冲室150测试座151顶面152底面153外环面154嵌置孔155导气孔160滑动单元161轴承座162滚珠170.锁固元件180测试单元200:待测IC300:控制单元具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及 功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的测试机构其具 体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。请参阅图1与图2所示，其绘示依照本实用新型第一较佳实施例的一 种测试机构的分解立体图。该测试机构100可受一机具(图中未示)的一控 制单元300的驱动而将待测IC200移动至一测试区以进行测试分类；且该 测试机构100,包含一基座110、 一固定单元120、一活动单元130、 一连 结单元140、一测试座150、复数个滑动单元160，以及复数个锁固元件170。该基座110，请参阅图2所示，是跨设在该机具的控制单元300下方，具 有二个分别位于短侧边的挂接部ill,用以挂设于该控制单元300下。该固定单元120，是固接于该基座110下方，具有一上壳件121、 一与
该上壳件121对接的下壳件122、 一由该上、下壳件121、 122对合后的内 壁面所构成的容置空间123、 一夹设在该上、下壳件121、 122之间且位于 该容置空间123内的緩冲元件124、 一轴设在该下壳件122中央且凸伸入该 吝置玄间内的寻柱以及一开设在该上壳件121中夬且与该容置空 间U3连通的进气孔U6。在本实施例中，该緩沖元件124是以具有弹性的 材料(如橡胶)制成且呈薄片状，其是利用复数个锁设元件127自该下壳件 122下方锁设入该上壳件121,而获得定位作用，此外，外界的加压流体可 藉由该进气孔126泵送入该容置空间123内，促使该緩冲元件124保持表 面张力。该活动单元130，接设在该固定单元120下方，具有一设置在该容置空 间123且可沿一第一方向X(即垂直于该緩沖元件的方向)活动的活动座 131、复数穿置在该活动座131上的嵌引件132，以及一开设在该活动座131 中央且对应该导柱125的导孔133,以提供该活动座131与该下壳件122之 间的导引对位，使该活动座131可在沿着该第 一方向X移动的同时，防止其 产生偏心位移。此外，该活动座131又包括四个朝下延伸且凸露出该容置 空间123外的抵接台1311,以及一轴向开设于该抵接台1311中央的组接孔 1312。该等嵌引件132在本实施例中共设有四个，且为呈倒T型的滑杆，并 且是以该导孔133为中心而呈90度等间隔排列，并且，每一嵌引件132分 别包括有一反向设置的一小径段1321及一大径段1322,该小径段1322是 穿置入该组接孔1312之后，再由外部以一锁接件134锁置穿过该抵接台 1311，使该等嵌引件132与该活动座131固接为一体，而能与该活动座131 相连动，该大径段1322则伸设入该连结单元140内。该连结单元140，接设于该活动单元130下方，具有一顶面141、 一与 该顶面141反向的底面142、复数个对应该等嵌引件132所开设并且贯穿该 顶、底面141、 142的滑槽143、复数个分别装设在该等滑槽143内且套穿 该等嵌引件132大径段1322的滑套144,以及复数个沿着垂直于该第一方 向X的一第二方向(即径向)所开设的弧形孔145。该等滑槽143是呈上宽 下窄的阶级孔，顶段可供滑套144嵌置于其内，而底段则供嵌引件132的 大径段1322伸设其中，且该大径段1322的外径是为小于该滑套144的孔 径，使该嵌引件132的大径段1322无自该滑槽143内脱出之虞，并且，在常 态下，该嵌引件132的大径段1322与该连结单元140的底面142之间形成 有一緩冲室146。附带说明的是，为利于辨识该弧形孔145的长方向，图示中特将其弧长加大而绘制成扇形，惟其实际夹角并不大于r 。该测试座150,请参阅图2及图3所示，是以锁固元件170穿置过该连 结单元140的弧形孔145后，而固接在该连结单元1"的底部，其具有一顶 面151、 一与该顶面151反向的底面152， 一环绕在该顶、底面151、 152 外缘之间的外环面153、复数个自该底面152朝内开设的嵌置孔154，以及 复数个由该外环面153上开设且分别与该等嵌置孔154相连通的导气孔 155。在本实施例中，该等嵌置孔154共设有四个，使一真空吸附装置(图 中未示)可自该导气孔155、嵌置孔1S4将气体抽送至外界，促使一测试单 元180(测试头)能稳固地吸附在该测试座150的底面152,由于该测试单 元180并非本案改良重点，故此不在说明书中多加赘述。该等滑动单元160,是夹设在该连结单元140与该测试座150之间，在 本实施例中该等滑动单元160为滚珠轴承，其具有一埋置在该测试座150 上的轴承座161,及一顶端抵持在该连结单元140底面142的一滚珠162，促 使该测试座150可轻易地沿着该弧形孔145的长方向活动，而相对于该连 结单元140产生小角度(此角度约不大于1° )的径向偏摆。请参阅图4所示，是依照本实用新型较实施例的一种测试机构在一第 一定位使用状态下的剖面图。本实用新型在操作上，随着该测试机构100 的下移，使吸附在其底部的该测试单元180接触该待测IC20Q时，此时，与 该测试单元180相固接的测试座150会在待测IC20()的反向推抵下，而以 该等嵌引件132为轴心并逐渐地朝上升动，使该嵌引件132大径段1322完 全滑移入该緩沖室146，同时，该测试座150利用可径向旋动的特性，加上 该滑动单元160的滚珠162的辅助下，即可轻易且适时的相对于该连结单 元140产生小角度的偏摆，让测试单元180上的插座能同时且分别地对准 多数个待测IC200,如此，即可获得第一段的緩冲对位效果；接着，随着整 个测试机构100的再下移，请再参阅图5所示，是依照本实用新型较佳实 施例的一种测试机构在一第二定位状态下的剖面图，该连结单元140的顶 面141会推顶该活动座131的抵接台1311，使整个活动座131朝上升动，进 而抵压该緩冲元件124,借着该緩冲元件124的弹性緩冲作用，提供测试单 元180与待测IC之间的第二次緩冲作用，使测试单元WO能顺利且以适当 的力道施压待测IC200而无破损之虞，进而达到正确对位的测试作用。由以上所述本实用新型上述较佳实施例可知，应用本实用新型具有下 列优点1、 防止IC晶片石皮损本实用新型是利用容置空间123内的緩冲元件 124,加上测试座150与嵌引件132之间所形成的緩冲室146,而提供了测试 机构IOO在下移压制待测IC200时的两道轴向緩沖位移行程，能够防止测 试机构100因施压力道过大，造成IC晶片的破损情形。2、 测试效率佳除了测试座150能产生轴向的緩冲位移外，还能藉由 滑动单元160搭配连结单元140的弧形孔145,使整个测试座150能够适时 的产生径向偏摆，让测试才几构在施压时能平稳且正确地与待测IC产生对位 效果，实现单一测试单元能同时测试多组IC晶片的作用，而可以提升测试
效率，并让机台的高速检测化得以实现。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作 任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技 术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同 变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实 用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均 仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1、一种测试机构，可接受一机具的一控制单元的驱动而将待测物移动至一测试区进行测试分类，其特征在于该测试机构包含一固定单元，连接在该控制单元上，具有一容置空间及一设置在该容置空间内的缓冲元件；一活动单元，具有至少一可沿一第一方向活动且一端轴设在该容置空间内的嵌引件；以及一测试座，位于该活动单元下方且与该嵌引件连结，具有一顶面、一相反于该顶面的底面，以及至少一个设置于该底面的嵌置孔，用以吸附一测试治具。
2、 根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于其中所述的緩冲元件 是以弹性材料制成薄片状。
3、 根据权利要求2所述的测试机构，其特征在于其中所述的固定单元 更具有一连通该容置空间的进气孔，可以供外界加压流体泵送入该容置空 间，促使该緩沖元件可保持表面张力。
4、 才艮据权利要求2所述的测试机构，其特征在于其中所述的固定单元 是由一上壳件及一下壳件对接而成，该上、下壳件对合后的内壁面是构成 该封闭状的容置空间，且使得该緩冲元件夹设在该上壳体、下壳件之间。
5、 根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于其中所述的固定单元 更具有复数锁设元件，该等锁设元件是穿置过该下壳件及该緩冲元件后，再 锁设入该上壳件。
6、 根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于其中所述的活动单元 更具有 一轴设在容置空间内且与嵌引件固接的活动座，且该活动座是对应 于该緩沖元件。
7、 根据权利要求6所述的测试机构，其特征在于其中所述的固定单元 更具有一装设于该容置空间内的导柱，该活动座对应该导柱开设有一导孔。
8、 根据权利要求6所述的测试机构，其特征在于其中所述的活动单元 更具有至少 一 自该活动座底部朝下延伸且凸露出该容置空间外的抵接台。
9、 根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于其中所述的活动单元 的嵌引件包括有反向设置的 一 大径段及一 、径段。
10、 根据权利要求9所述的测试机构，其特征在于其更包含有一设置在 该活动单元该测试座之间的连结单元，该连结单元具有一顶面、 一与该顶 面反向的底面、至少一贯通该顶、底面的滑槽，使该嵌引件的大径段可伸 设在该滑槽内且无脱出之虞。
11、 根据4又利要求10所述的测试机构，其特征在于其中所述的连结单 元更具有至少 一装设在该滑槽内且套穿该嵌引件的滑套。
12、 根据权利要求11所述的测试机构，其特征在于其中所述的滑套开 孔的孔径是小于该嵌引件大径段的外径。
13、 根据权利要求10所述的测试机构，其特征在于其中所述的连结单 元更具有复数个沿一第二方向开设的弧形孔，及复数个穿置过该等孤形孔 且锁设入该测试座内的螺栓，使该测试座能沿该弧形孔的长方向且相对该 连结单元产生径向旋摆。
14、 根据权利要求10所述的测试机构，其特征在于其更包含有复数个 装设在该测试座一顶面与该连结单元底面之间的滑动单元，且使得该测试 座与该连结单元之间形成有一 间隙。
15、 根据权利要求14所述的测试机构，其特征在于其中所述的滑动单 元为滚珠轴承。
16、 根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于其中所述的测试座更 具有复数个分别对应该等嵌置孔且可相连通的导气孔。
17、 根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于其更包含有一固接在 该控制单元与该固定单元之间的基座。
18、 根据权利要求17所述的测试机构，其特征在于其中所述的基座具 有二个分别位于短侧边的挂接部，用以挂设于该控制单元的下方。
专利摘要本实用新型是有关一种测试机构，包含有固定单元、位于固定单元下方的活动单元及测试座，固定单元具有一容置空间及设在容置空间内的缓冲元件，该活动单元具有至少一沿一第一方向活动且一端轴设在容置空间内的嵌引件，该测试座位于活动单元下方且与嵌引件相连结，具有一顶面、一相反于顶面的底面，及至少一设于底面的嵌置孔，用以吸附一测试治具。本实用新型利用容置空间内缓冲元件，加上测试座顶面与嵌引件间形成缓冲室，提供了测试机构下移压制待测IC时轴向缓冲位移行程，能防止因施压力道过大造成IC晶片破损；另还藉由滑动单元搭配连结单元弧形孔，使测试座适时产生径向偏摆，能平稳正确与待测IC产生对位效果，实现单一测试单元同时测试多组IC晶片，而可提升测试效率。
文档编号G01R31/01GK201017021SQ20072000072
公开日2008年2月6日 申请日期2007年2月12日 优先权日2007年2月12日
发明者刘素妤, 林建铭, 麦敬林 申请人:寰邦科技股份有限公司