基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置的制作方法

专利名称：基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对基板进行吸附的基板吸附装置、搬送已吸附的基板的 基板搬送装置以及能够一边搬送基板一边观察基板表面的外观检查装 置。本申请对2007年6月11日提交的日本专利申请第2007—153922号 io主张优先权，并在这里引用其内容。
背景技术：
近年来，对LCD (Liquid Crystal Display:液晶显示器)、PDP (Plasma Display Panel:等离子显示器)等FPD (Flat Panel Display:平板显示器) is进行多倒角的母玻璃基板存在大型化的倾向，制造其的装造装置也在大 型化。在FPD用的母玻璃基板上，经过多次的基于光刻法的制造工序而 在基板表面上形成有很多像素和驱动电路等。在这种制造工序的基板检 査线中，使用下述的基板搬送装置其使用空气来使大型的玻璃基板浮 起，吸附保持该玻璃基板的周边部来对其进行搬送。20 在对定位于基准位置的玻璃基板进行吸附保持时，公知有使用从下侧抵接在基板的背面上的吸盘。但是，在制造前平坦的玻璃基板有时也 会由于经过成膜工序或热处理工序而发生扭转和翘曲。例如，当在玻璃 基板的表面上形成金属膜等时，由于玻璃基板的热膨胀率和金属膜的热 膨胀率不同而产生应力，有时会在玻璃基板上产生扭转和翘曲。这种扭25转和翘曲随着玻璃基板的大型化而易于发生，且其扭转量和翘曲量(翘曲角度)也增大。因此，玻璃基板因扭转和翘曲而变得难以吸附，有时 会发生吸附差错。为了防止这种吸附差错，在现有的基板搬送装置中，在各吸盘的上 方各设置一个按压部件，用按压部件从上侧按压基板，以将基板按在吸4盘上进行吸附(例如，参照专利文献O。专利文献l:日本特开2006—188313号公报当如专利文献1那样沿玻璃基板的一边设置很多吸盘，并用多个按 压部件同时按压存在扭转或翘曲的基板以将其压在吸盘上时，有时会因5玻璃基板的挠曲条件而在玻璃基板上产生大的应力。例如，在最初吸附保持玻璃基板的两侧的情况下，在玻璃基板的中央部分残留挠曲。当在 该状态下用按压部件按压玻璃基板的中央部分时，玻璃基板的挠曲不会 向外侧释放，因此在玻璃基板上产生大的应力。10 发明内容本发明是鉴于这种问题而完成的，其主要目的在于，能够抑制在基 板上施加的应力且能可靠地吸附保持基板。解决上述问题的本发明是一种基板吸附装置，该基板吸附装置具备 载置基板的载置部；对载置在上述载置部上的基板进行吸附保持的多个 15吸附部；以及将上述多个吸附部分别控制为能够在不同时间进行真空吸 附的控制部，上述控制部以下述方式进行控制以上述多个吸附部中可 吸附地接触基板的上述吸附部为基点，在从该基点离开的方向上依次进 行吸附。该基板吸附装置在多个吸附部中存在不能吸附基板的吸附部时，控 20制部进行控制以使不能吸附的吸附部也能吸附基板。此时，以被吸附的 部分为基点，在从成为基点的部分离开的方向上例如从中央朝向端部依 次吸附基板，从而基板的翘曲和扭转的应力向基板端部释放。根据本发明，由于朝向从基板的被吸附的部分离开的方向依次吸附 基板，所以可一边使基板的翘曲和扭转所产生的应力向基板端部释放一 25边吸附保持基板。即使在基板上存在翘曲和扭转的情况下也能可靠地保 持。


图1是表示本发明的实施方式的包括基板吸附装置的基板搬送装置、外观检查装置的构成的俯视图。图2是从图1的A方向观察的图。图3是从图1的B方向观察的图。 图4是表示载置基板后的状态的图。 5 图5是从图4的C方向观察的图。图6是表示吸引路径的方框图。 图7是用按压部将基板按在吸盘上的图。 图8是例示按压部的配置不同的构成的图。 图9是具备使吸附部组旋转的移动机构的图。 io 图10是驱动移动机构而将基板按压在吸盘上的图。图11是表示使用辊来作为按压部的例子的图。 图12是图11的侧视图。图13是表示具备使吸附部升降的移动机构的例子的图。 图14是用移动机构使吸附部上升并将吸盘按压在基板上的图。 15 图15是使用压力传感器来作为吸附确认部的例子的图。图16是表示具备摄像装置来作为吸附确认部的例子的图。 图17是图16的侧视图。
具体实施方式
20 参照附图来详细说明用于实施本发明的最佳方式。在各实施方式中，对相同的构成要素标以同一标号。此外，省略重复的说明。 (第一实施方式)在图1及图2中，示出了该实施方式的具备基板搬送装置的外观检 查装置的构成。虽然基板能够使用各种基板，但在下面为FPD用的玻璃 25基板W。再有，玻璃基板W的上面(表面)为用于形成电路元件和配线 图案等图案的元件形成面Wl，玻璃基板W的下面(背面)为没有形成 图案的非元件形成面W2。外观检查装置1具有设置在地面上的基座部2，在基座部2上固定 有搬送基板的基板浮起台3来作为载置部。基座部2的一端部侧成为搬入和搬出玻璃基板的基板搬入搬出空间4。在基座部2的长度方向的大致中央设有检查部5，该检查部5具备进行玻璃基板W的外观检査的观察 光学系统。此外，在基座部2的一端部侧，设置有搬入和搬出玻璃基板 W的基板搬送机械手6。下面，将基板浮起台3的长度方向即搬送玻璃 5基板W的方向设为X方向，将与搬送方向X正交的宽度方向设为Y方 向，将相对于基板浮起台3的上面的上下方向(铅直方向)设为Z方向。基板浮起台3在整个面内以预定间隔配设有在其上面开口的多个空 气孔10。该基板浮起台3与未图示的空气压縮机等连接，构成为从空气 孔10向上喷出压縮空气。基板浮起台3的X方向的长度充分长至玻璃基 io板W的X方向的长度的二倍。基板浮起台3的Y方向的宽度比玻璃基 板W的宽度(Y方向的长度)短，以便能够吸附玻璃基板W的两侧。在基板搬入搬出空间4中配设有多个升降销20。升降销20的前端 部成为向上侧突出的球面形状。这种升降销20由未图示的升降机构支撑， 相对于基板浮起台3的上面出没自如。在图1中，升降销20在与玻璃基 15板W的四角的附近对应的位置和与中央对应的位置共设置五个，但升降 销20的数量及配置不限于此。此外，在基座部2的沿X方向的两侧面上，分别以与成为玻璃基板 W的搬送方向的X方向平行的方式铺设有直线导轨11 ，在各直线导轨11 上，各设置一个在X方向上往复移动自如的保持移动部12。这一对保持 20移动部12由控制部41驱动控制为同步移动。如图2及图3所示，保持移动部12具有滑动自如地安装在直线导轨 11上的滑动体13。在滑动体13中内置有直线电动机等机构，用于使作 为基板吸附装置的保持移动部12沿直线导轨11往复移动。支撑部14可 在Z方向上移动地安装在滑动体13的外侧面。在支撑部14的上部，经 25由L字形的金属板15而固定有吸附部组16A、 16B、 16C。如图1所示，各吸附部组16A 16C相对于一个保持移动部12而在 X方向上以预定的配置间隔配置各三个。具体地讲，设置在与玻璃基板 W的X方向的侧缘部的两角附近和中央这三处相当的位置。再有，在各 吸附部组16A 16C中，在X方向上排列有三个吸附部18A、 18B、 18C。吸附部18A 18C的配置间隔在各吸附部组16A 16C中成为相同的间隔。如图4及图5中放大所示，吸附部18A 18C具有固定在金属板15 上的吸附部主体21，在吸附部主体21的上面部形成的圆形的孔21A中， 5可在任一方向上倾斜且可在上下方向上移动地设置有吸盘22。吸盘22使 上面的周边残留而成为凹陷的矩形的吸附面22A。在吸附面22A的中央， 形成有用于吸引玻璃基板W的吸引孔23。吸引孔23贯通吸盘22内，并 经由吸引用的管道25而连接，该管道25设有由橡胶等弹性体形成的折 铍状的管。在吸盘22的下部，形成有插入吸附部主体21的孔21A内的io中空圆柱部。该中空圆柱部的外侧为凸出的曲面部22B，曲面部22B的 外径与在吸附部主体21上形成的圆形的孔21A的内径大致相等。吸盘 22由工程塑料等不损伤玻璃基板W且耐磨损性优异的树脂制造。用具有 折铍的管道25弹性地支撑吸盘22。吸盘22利用吸盘22的曲面部22B、 折皱状的管道25及吸附部主体21的壁部来构成倾斜机构。但是，也可15以是除此以外的移动机构和倾斜机构。当吸盘22紧贴在玻璃基板W的 下面并进行真空吸附时，对于折皱状的管道25，其折皱部分因负压而收 縮，如图7那样，吸盘22的下面下降到抵靠在吸附部主体21上的位置。 如图2所示，在保持移动部12的支撑部14的外侧面固定有支撑框 架31。该支撑框架31通过比玻璃基板W的端面更靠外侧的位置而向上20方延伸。在支撑框架31的内侧安装有L字形的金属板32，在这里悬挂有 按压部33。按压部33具有气缸34，可使活塞杆34A铅直向下地进退。 在活塞杆34A的下端安装有作为按压部件的辅助盘35。按压部33相对 于各吸附部组16A 16C各配置一个。对于各按压部33，在图3中左端 的吸附部组16A中，按压部33配置在靠近中央的最右侧的吸附部18C25的上方。在中央的吸附部组16B中，按压部33配置在中央的吸附部18B 的上方。在右端的吸附部组16C中，按压部33配置在靠近中央的最左侧 的吸附部18A的上方。再有，参照图6来对吸附部组16A和按压部33的吸引路径进行说明。 对于其它的吸附部组16B、 16C和按压部33也形成有同样的吸引路径。如图6所示，按压部33的气缸34经由阀36而配管连接到空气压縮 机37上。吸附部组16A的吸附部18A经由压力传感器38A和阀39A而 配管连接到真空泵等吸引源40上。压力传感器38A是检测吸附部18A 的压力的吸附确认部。其输出信号线连接到控制部41。同样，吸附部18B 5和吸附部18C分别经由作为吸附确认部的压力传感器38B、38C和阀39B、 39C而配管连接到吸引源40上。进而，其输出信号线都连接到控制部41 上。从控制部41输出的信号输入到阀36、 39A 39C、空气压縮机37、 吸引源40。在其它的吸附部组16B、 16C中，也连接到与吸附部组16A 共用的控制部41上。io 控制部41管理图6所示的吸引路径的控制、基板浮起台3的控制、保持移动部12的控制、检查部5的控制等外观检查装置1整体的控制。 检查部5具有以跨越保持移动部12的轨道及基板浮起台3的方式 固定在基座部2的侧面的门形框架45;和在Y方向上移动自如地安装在 门形框架45的水平框架部上的显微镜46。该显微镜46安装有CCD (电15荷耦合元件)等摄像元件47，用于取得玻璃基板W的表面的放大图像来 进行外观检查，在未图示的监视器上能够显示玻璃基板W的元件形成面 Wl的放大图像。其次，对该实施方式的作用进行说明。保持移动部12预先在基板搬 入搬出空间4待机，各吸附部18A 18C以其上面位于比基板浮起高度 20更靠下侧的方式使金属板15下降并待机。在进行玻璃基板W的检查时，基板搬送机械手6将从其它工序搬出 的玻璃基板W接收到搬送臂6A上，并使搬送臂6A移动到外观检查装 置1的基板搬入搬出空间4的上方。这里，解除搬送臂6A对玻璃基板W 的吸附，并用从基板搬入搬出空间4上升的升降销20将玻璃基板W从 25搬送臂6A上抬起。当在该状态下使搬送臂6A后退时，玻璃基板W被 交接到升降销20上。这里，由于基板浮起台3从空气孔10喷出空气， 所以在使升降销20下降时，通过空气而使玻璃基板W浮起在比基板浮 起台3的上面稍靠上方的位置。在使玻璃基板W浮起后，通过按压销将玻璃基板W按压在X用基准销和Y用基准销上而定位于浮起台3的基准位置。在将玻璃基板W定 位的状态下使保持移动部12的支撑部14上升，并将各吸附部组16A 16C的各吸附部18推到能够从下侧抵接在玻璃基板W的非元件形成面 W2的侧缘部的位置。控制部41使空气压縮机37运转，以驱动六个按压 5部33。具体地讲，通过将与各气缸34连接的阀36打开并向各气缸34供 给压縮空气，从而各气缸34的活塞杆34A突出。其结果，各按压部33 的辅助盘35下降，从上侧按压玻璃基板W的侧缘部。通过该辅助盘35 的按压，玻璃基板W的侧缘部被按在吸附部18的吸盘22上。例如，图5表示辅助盘35下降前的状态。当搬入端部向上翘曲的玻io璃基板W时，有时在吸附部组16C中相对于左端的吸附部18A，其它两 个吸附部18B、 18C都从玻璃基板W浮起。该情况下，如图7所示，驱 动按压部33，使辅助盘35下降。按压部33将玻璃基板W按压并紧贴在 吸附部18A的吸盘22上。控制部41在使吸引源40运转的状态下打开阀 39A，通过吸附部18A来吸附玻璃基板W。压力传感器38A检测吸附部15 18A的压力，并向控制部41输出。在吸附部18A紧贴于玻璃基板W上的状态下开始吸附时，管道25 内变为负压，吸附部18A的折皱部分收缩而将吸盘22拉下。该吸盘22 抵靠在吸附部主体21的上面而停止，玻璃基板W被限制在预先设定的 浮起高度。在相同的吸附部组16C的吸附部18B中，通过靠近玻璃基板20 W中央的吸附部18A,将向上方浮起的玻璃基板W的侧缘部向下方拉回。 吸盘22沿着由吸附部18A向下方拉回的玻璃基板W的倾斜而倾斜，由 此吸附部18B紧贴在玻璃基板W上，因此，如果控制部41打开阀39B 而将吸附部18B的路径抽真空，则吸附部18B吸附玻璃基板W。通过使吸附部18B第二个吸附玻璃基板W，从而玻璃基板W的侧25缘部向相邻的吸附部18C下降。同样，在通过吸附部18C的倾斜动作而 紧贴在玻璃基板W上的状态下进行吸引时，能够吸附玻璃基板W。艮P，以利用按压部33最初进行吸附的靠近中央的吸附部18A为基点， 在从该基点逐渐离开的外侧方向上配置的吸附部18B、 18C依次吸附玻璃 基板W。在中央的吸附部组16B中，当同样驱动按压部33时，玻璃基板W 按压并紧贴在三个吸附部18A 18C中的中央的吸附部18,B上。因此， 如果打幵与最初由按压部33按压的吸附部18B连接的阀39B并抽真空， 则吸附部18B吸附玻璃基板W。由此，通过吸附部18B的吸附而将向上 5方浮起的玻璃基板W的侧缘部向下方拉回。各吸盘22沿着由吸附部18B 向下方拉回的玻璃基板W的倾斜而倾斜，由此，位于该吸附部18B两侧 的吸附部18A及吸附部18C紧贴在玻璃基板W上。如果在玻璃基板W 紧贴在两吸附部18A、 18C的状态下打开阀39A、 39C并抽真空，则吸附 部18A、 18C吸附玻璃基板W。也可以在中央的吸附部18B之后用一个io吸附部18A、 18C进行吸附，而后用剩余的吸附部18A、 18C进行吸附。 在左端的吸附部组16A中，当驱动按压部33时，玻璃基板W紧贴 并吸附在靠近中央的右端的吸附部18C上。然后，与上述吸附部组16C 同样，朝向外侧按照吸附部18B、吸附部18A的顺序吸附玻璃基板W。 以吸附部组16A 16C为单位吸附玻璃基板W的顺序可任意地设15定。但是，当第一个用中央的吸附部组16B吸附玻璃基板、第二个用两 端的吸附部组16A、 16C吸附玻璃基板W时，使玻璃基板W的翘曲从玻 璃基板W的中央部朝向外侧矫正。该情况下，对各吸附部18A 18C抽 真空的顺序为，第一个用吸附部组16B的吸附部18B，第二个用吸附部 组16B的两个吸附部18A、 18C，第三个用吸附部组16A的吸附部18C20及吸附部组16C的吸附部18A，第四个用吸附部组16A的吸附部18B及 吸附部组16C的吸附部18B，第五个用吸附部组16A的吸附部18A及吸 附部组16C的吸附部18C，来吸附玻璃基板W。通过这样从玻璃基板W 的中央朝向外侧依次开始吸附，能够一边向外侧方向消除玻璃基板W的 翘曲和挠曲， 一边吸附玻璃基板W。也能够用除此以外的顺序来吸附玻25 璃基板W。这样，在吸附部18上吸附保持玻璃基板W后， 一对保持移动部12 朝向基座部2的另一端部(搬送方向X)同步地开始移动。控制部41获 得玻璃基板W上的成为观察对象的缺陷或图案的座标数据，根据该座标 数据来移动控制保持移动部12、显微镜46，使显微镜46的光轴与观察ii对象位置对准，然后，用显微镜46取得图案的放大图像，向监视器输出。 在取得预定的全部观察位置的放大图像后，使各保持移动部12后退，使
玻璃基板W回到基板搬入搬出空间4。进而，解除吸附部18所进行的吸 附，并用升降销20抬起玻璃基板W，之后，用基板搬送机械手6搬出玻 5 璃基板W。
根据该实施方式，由于从中央的吸附部组16B朝向外侧利用吸附部 组16A、 16C吸附玻璃基板W，所以即使在制造工序中在玻璃基板W上 产生没有预期的扭转和翘曲时，也能可靠地吸附玻璃基板W。特别地， 通过从玻璃基板W的中央朝向端部阶段性地进行吸附，能够使玻璃基板
io W的翘曲和扭转释放到基板端部，能够进一步将玻璃基板W保持为平面 状。此外，能够不向玻璃基板W施加应力。
由于与各吸附部组16A 16C中最初吸附玻璃基板W的吸附部 18A 18C对应地设置按压部33，所以能用最初的吸附部18A 18C可靠 地吸附玻璃基板W，接着，其它吸附部18A 18C易于找到吸附玻璃基
15板W的开端。通过找到这样的开端，从而将以此为基点而可靠地吸附玻 璃基板W。
由于吸附部18A 18C具备倾斜机构及伸缩机构，所以能够与玻璃 基板W的翘曲一致地使吸盘22倾斜。因此，能使吸盘22可靠地紧贴在 玻璃基板W上，难以产生吸附差错。即使在仅设置倾斜机构的情况下也 20可得到同样的效果。
在具备包括吸附部组16A 16C的保持移动部12和基板浮起台3的 基板搬送装置以及在基板搬送装置上设置有检査部5的外观检查装置1 中，能够不发生吸附差错而可靠地搬送玻璃基板W，能够在己定位的玻 璃基板不偏移而可靠地吸附保持的状态下进行检查，因此能够提高作业 25效率和检查精度。
如图8所示，按压部33也可以仅配置在各吸附部组16A 16C的左 端的吸附部18A的上方。此外，虽然未图示，但也可以仅配置在右端的 各吸附部18C的上方。也可以根据各吸附部组16A 16C而在不同的位 置配置按压部33。在任一情况下，都能够通过按压部33而将玻璃基板W吸附在配置于该按压部33的正下方的吸附部上，以此为开端也利用其它吸附部吸附玻璃基板W。控制部41以吸附的顺序为以左端的吸附部组 16A的左端部为基点，朝向基板中央、右端部的方式进行控制。 (第二实施方式)5 图9所示的吸附部组16C在搬送方向上配置三个吸附部18A 18C，且在搬送方向的中央部分设有移动机构71。移动机构71由使吸附部组 16C相对于金属板15转动的转动轴72和未图示的驱动机构构成。其它 吸附部组16A、 16B也具备同样的移动机构71 。在开始玻璃基板W的吸附时，使用吸附确认部来确认玻璃基板W io的吸附。吸附确认部也能够使用上述实施方式的任一个。在存在不能吸 附玻璃基板W的吸附部(在图9的例子中为吸附部18B和吸附部18C) 时，能进行吸附的吸附部18A原样地维持吸附状态，控制部41驱动移动 机构71以使吸附部组16C绕转动轴72转动。如图10所示，不能吸附玻 璃基板W的吸附部18B、 18C和玻璃基板W的距离縮短而能够吸附玻璃 15基板W。由此，以吸附部18A为基点，而在从此处离开的方向上依次开 始吸附。S卩，按照吸附部18B、吸附部18C的顺序来吸附玻璃基板W。在吸附玻璃基板W后，再次驱动移动机构71，使吸附部组16C回 到水平后搬送玻璃基板W。在玻璃基板W向右上翘曲时，吸附部组16C的各吸附部18A、 18B、 20 18C的各吸盘22的吸附面以模仿玻璃基板W的翘曲的方式以转动轴72 为中心而使吸附部组16C绕逆时针转动。在最初由中央的吸附部18B进 行吸附的情况下，使移动机构71绕顺时针及逆时针旋转而依次进行吸附。 对于其它吸附部组16A、 16B，也同样地吸附玻璃基板W。在控制部41中，利用中央的吸附部组16B吸附玻璃基板W，然后， 25利用端部侧的吸附部组16A、 16C吸附玻璃基板W。通过以从玻璃基板 W的中央朝向外侧依次吸附的方式进行控制，能够使玻璃基板W的翘曲 和扭转朝向基板端部释放，能够进一步将玻璃基板W保持为平面状。在该实施方式中，通过在吸附部组16A 16C上设置移动机构71并 使吸附部18A 18C的位置机械地移动，从而依次地吸附保持玻璃基板W，因此，即使在玻璃基板W上存在翘曲或挠曲时也能可靠地吸附。在相同的吸附部组16A 16C内，也可以设置使各个吸附部18A 18C升降自如的移动机构。该情况下，以多个吸附部18A 18C从玻璃基 板W的中央朝向端部依次吸附玻璃基板W的方式进行升降控制及吸引 5控制。此外，也可以将各吸附部组16A 16C的移动机构71作为朝向搬 送方向的移动机构。(第三实施方式)对于图11及图12所示的作为基板吸附装置的保持移动部12，各吸 附部组16A 16C在搬送方向上具备三个吸附部18A 18C。再有，在吸 io附部组16B两侧的上方配置有按压部81。按压部81接近中央的吸附部 18B的上方配置，且具有在搬送方向上排列的一对辊82。辊82的旋转轴 83配置成与搬送方向正交且与水平方向平行。辊82的外周面利用具备虽 然可按压玻璃基板W但不会损伤基板表面的程度的硬度和耐磨损性的树 脂等而制造。15 辊82由未图示的支撑部转动自如地支撑。在支撑部上设有未图示的移动机构， 一对辊82能够如箭头所示那样在从玻璃基板的中央相互离开 的外侧方向移动，即一对辊82能够相互向相反的方向移动。该一对辊82 设置成能够从在中央配置的吸附部组16B向两侧的吸附部组16A、 16C 的全部吸附部移动。再有，也可以具备使一对辊82从玻璃基板W的搬20送路径退避到外侧的移动机构。或者，也可以具备能使一对辊82在全部 的吸附部组16A 16C的上方移动的支撑部件及移动机构。在吸附玻璃基板W时，在位于吸附部组16B中央的吸附部18B的 两侧，由一对辊82从上方按压玻璃基板W并开始吸引。与此同时，使 一对辊82在玻璃基板W上一边滚动一边移动到玻璃基板W的两端，将25玻璃基板W按压在吸盘22上。控制部41在使一对辊82下降并使玻璃基板W按压在中央的吸附部 组16B上的状态下打开阀39A并吸附。通过按压部81，最初，玻璃基板 W的大致中央位置的吸附部18B吸附玻璃基板W，位于以此为基点而离 开的外侧方向上的两个吸附部18A、 18C接着吸附玻璃基板W。控制部41使一对辊82移动到端部侧的吸附部组16A、 16C，在各吸附部组16A、 16C中以靠近中央的吸附部为基点，将玻璃基板W在外侧方向依次按压 在吸附部上，来吸附玻璃基板W。在该实施方式中，玻璃基板W从中央阶段性地完全紧贴在吸附部 5 18A 18C上，可靠地被吸附。由于辊82从玻璃基板W的中央朝向端部移动，所以各吸附部18A 18C从中央依次吸附玻璃基板W。由此，能够使玻璃基板W的翘曲和扭 转向基板端部释放，能够进一步将玻璃基板W保持为平面状。 (第四实施方式)io 如图13所示，作为基板吸附装置的保持移动部12经由支撑部91而在滑动体13上安装有金属板15。支撑部91构成为能够使各吸附部组 16A 16C在Z方向上升降。虽然优选构成为各吸附部组16A 16C的每 个都能够独立地升降，但也可以是使各吸附部组16A 16C —体地升降 的结构。15 在吸附玻璃基板W时，对各吸附部18A 18C的吸引路径进行吸引，并用吸附确认部确认玻璃基板W的吸附。在存在不能吸附的吸附部 18A 18C时，吸附完的吸附部18A 18C在维持吸附的状态下驱动支撑 部91，使吸附部组16A 16C上升。如图14所示，由于吸盘22被按压 并紧贴在向上翘曲的玻璃基板W上，所以如果在该状态下开始吸引则能20够吸附玻璃基板W。控制部41最初使位于中央的吸附部组16B上升，使 各吸附部18A、 18B、 18C的吸盘按压并吸附在玻璃基板W的背面。同 样地，以使吸附部组16A、 16C朝向玻璃基板W的搬送方向的端部上升 来吸附的方式进行控制。在确认全部的吸附部组16A 16C中的各吸附 部18A 18C的吸附后，使支撑部91回到玻璃基板W为规定的浮起高度25的位置。通过使支撑部91比玻璃基板W的浮起高度位置上升，将吸盘 22按压在玻璃基板W的背面，从而利用在玻璃基板W上作用的反作用 力使吸盘22紧贴在玻璃基板W上。S卩，通过使各吸附部组16A 16C移 动到比规定的浮起高度更靠上方的位置，抬起玻璃基板W，从而能够使 各吸附部的吸盘可靠地紧贴在玻璃基板W上。通过从位于玻璃基板W中15外侧的吸附部组16A、 16C的顺序使支撑部91上 升，从而能够使玻璃基板W的翘曲和扭转向基板端部释放，能够进一步 使玻璃基板W保持为平面状。在吸附玻璃基板W后，使支撑部91下降 到玻璃基板的浮起高度位置，然后搬送玻璃基板W。 5 在该实施方式中，通过用支撑部91使吸附部组16A 16C升降，从而以最初能够吸附之处为基点而在从此处离开的方向上阶段性地吸附玻 璃基板W，因此，能可靠地进行吸附保持。即使在初期位置处任一吸附 部18A 18C都不能吸附玻璃基板W时也能够吸附保持玻璃基板W。 (第五实施方式)io 图15所示的作为基板吸附装置的保持移动部12沿与搬送方向平行的玻璃基板W的一边在搬送方向排列很多吸附部18A 18N。例如，从 玻璃基板W的搬送方向前侧的端部至搬送方向后侧的端部依次以等间隔 配置有吸附部18A、吸附部18B、吸附部18C、吸附部18D、 、吸附部18N。在各吸附部18A 18N的吸引路径中，对应于各吸附部18A 15 18N而设置有压力传感器38A 38N作为吸附确认部。在图15中，虽然 图示四个吸附部，但四个以后的吸附部及吸引路径、吸附确认部成为与 吸附部18A 18D同样的结构。在吸附玻璃基板W时，打开各吸附部18A、 18B、 18C、 18D、 的吸引路径的阀39A、 39B、 39C、 39D、 ， 一起开始吸引。控制部20 41检验各压力传感器38A、 38B、 38C、 38D、 的值，选择真空度最高或最初到达预定真空度的多个压力传感器中的一个，在图15的例子中 选择压力传感器38B。接着，仅打开已选择的压力传感器38B的吸引路 径的阀39B，并关闭其它吸引路径的阀39A、 39C、 39D、 。其结果，仅阀打开的吸引路径的吸附部18B吸引玻璃基板W，该部分的玻璃基板25 W被吸附。通过吸附部18B的吸附，向上方翘曲的玻璃基板W通过吸附 部18B的吸附而被向下方拉回。接着，第二个打开吸引中的吸附部18B 旁边的吸附部18A、 18C的吸引路径的阀39A、 39C来吸附玻璃基板W。 而后，第三个打开吸附部18D的阀39D来吸附玻璃基板W。吸引中的吸 附部18B旁边的吸附部18A、 18C的吸附也可以不同时进行。在该实施方式中，预先沿玻璃基板W排列很多吸附部，不预先确定 吸附玻璃基板W的顺序，以实际进行吸附时最靠近能够吸附玻璃基板W 的中央的一处为基点， 一边在从此处离开的方向上阶段性地增加吸附的点一边吸附玻璃基板w，因此，即使在玻璃基板w的任一位置上存在翘5曲和挠曲的情况下也能可靠地吸附。成为吸附开始的基点的吸附部不限 于一个，也可以连续地选定己确认吸附的多个吸附部，以其两侧的吸附 部为吸附的开始基点。在本实施方式中，虽然以任一吸附部18A、 18B、 18C、 18D、…… 可吸附玻璃基板W为前提，但也可以与其它实施方式的对吸附进行辅助 io的吸附辅助构件(例如辅助盘35和辊82等)并用。该情况下，控制部 41使在玻璃基板W的中央的吸附部配置的吸附辅助构件动作来吸附玻璃 基板W。控制部41以下述方式进行控制将该吸附部作为开始基点并依 次打开吸附部的阀，且以最初吸附的部位作为基点而在从此处离开的方 向上阶段性地进行吸附。能够减小玻璃基板W的翘曲和扭转所产生的应 15力，并能够进一步将玻璃基板W保持为平面状。 (第六实施方式)如图16及图17所示，作为基板吸附装置的保持移动部12设有摄像 装置61作为吸附确认部。摄像装置61以通过未图示的移动机构而可与 搬送方向平行地移动的方式安装在外观检査装置1上。摄像装置61的移20动范围是能够拍摄各吸附部18A 18N和玻璃基板W的范围。作为未图 示的移动机构，可举出具备与搬送方向平行地铺设的轨道和在轨道上可 移动且载置摄像装置61的滑动体的结构。在该实施方式中，从玻璃基板 W的搬送方向前侧的端部至搬送方向后侧的端部依次以等间隔配置有吸 附部18A、吸附部18B、吸附部18C、……、吸附部18N。摄像装置6125以能够确认全部的吸附部的吸附的方式设置一个或多个。控制部41在吸附玻璃基板W时开始各吸附部18A、18B、18C、……、 18N的吸引，并沿搬送方向使摄像装置61移动。根据摄像装置61的图 像来判断各吸附部18A、 18B、 18C、……、18N中的玻璃基板W的吸附 情况。例如，通过图像处理来测量各吸附部18A、 18B、 18C、 、 18N和玻璃基板W的距离等进行判断。控制部41确定吸附情况最好的吸附部(在图17的情况下为吸附部 18A)，仅用该吸附部18A来吸引玻璃基板W。在用摄像装置61确认该 地点的玻璃基板W的吸附后，与上述实施方式同样地用相邻的吸附部 5 18B开始玻璃基板W的吸附，然后逐渐地移动吸附玻璃基板W的点。在该实施方式中，设置摄像装置61来作为吸附确认部，调查实际进 行吸附时最能吸附玻璃基板W的部位，以此为基点， 一边在从基点离开 的方向上阶段性地移动吸附的点， 一边吸附玻璃基板W，因此，即使在 玻璃基板W上存在翘曲和挠曲的情况下也能可靠地进行吸附。成为吸附 io开始的基点的吸附部不限于一个，也可以连续地选定已确认吸附的多个 吸附部，以构成该组的两侧的吸附部为吸附的开始基点。在本实施方式中，虽然以任一吸附部18A、 18B、 18C、……能够吸 附玻璃基板W为前提，但也可以与其它实施方式的对吸附进行辅助的吸 附辅助构件(例如辅助盘35和辊82等)并用。该情况下，控制部41使 15在玻璃基板W的中央的吸附部配置的吸附辅助构件动作来吸附玻璃基板 W。控制部41以下述方式进行控制以该吸附部作为开始基点依次打开 阀，以最初吸附的部位作为基点而在从此处离开的方向上阶段性地进行 吸附。能够减小玻璃基板W的翘曲和扭转所产生的应力，能够进一步将 玻璃基板W保持为平面状。 20 本发明并不限于上述各实施方式，能够广泛地应用。例如，也可以形成为将各实施方式的按压部件和吸附确认部、移动 机构的任一个组合而成的结构。可以是仅进行玻璃基板W的吸附的装置，也可以是进行吸附和搬送 的装置。可以是进行吸附和检査的装置。 25 移动保持部12也可以在沿基座部的X方向的一侧面上铺设直线导轨 11并在X方向上往复移动自如地设置。
权利要求
1.一种基板吸附装置，其特征在于，该基板吸附装置具备载置基板的载置部；对载置在上述载置部上的基板进行吸附保持的多个吸附部；以及将上述多个吸附部分别控制为能够在不同时间进行真空吸附的控制部，上述控制部以下述方式进行控制以上述多个吸附部中可吸附地接触基板的上述吸附部为基点，在从该基点离开的方向上依次进行吸附。
2.根据权利要求l所述的基板吸附装置，其特征在于，该基板吸附装置具备按压部，所述按压部以可吸附地接触基板的方 式从上方按压基板。
3. 根据权利要求2所述的基板吸附装置，其特征在于，由上述多个吸附部形成吸附部组，上述按压部分别配置在多个上述15吸附部组中，且配置在上述吸附部组中接近基板中心配置的上述吸附部的上方。
4. 根据权利要求2或3所述的基板吸附装置，其特征在于， 上述按压部具有辊，所述辊具有与基板面平行的旋转轴。
5. 根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，20 上述多个吸附部的至少一个构成为能够朝向基板上升。
6. 根据权利要求1 3中的任一项所述的基板吸附装置，其特征在于，基板吸附装置具备吸附确认部，所述吸附确认部对上述吸附部可吸 附地接触基板的情况进行检测。 25
7.根据权利要求6所述的基板吸附装置，其特征在于，上述吸附确认部包括压力传感器，所述压力传感器针对每个上述吸 附部而设置在上述吸附部和吸引源之间，对吸引路径的压力进行检测。
8.根据权利要求6所述的基板吸附装置，其特征在于，上述吸附确认部包括针对每个上述吸附部组设置的摄像装置。
9. 根据权利要求6所述的基板吸附装置，其特征在于，所述基板吸附装置具备移动机构，所述移动机构在由上述吸附确认 部没有确认到吸附时，使上述吸附部的至少一个上升。
10. 根据权利要求6所述的基板吸附装置，其特征在于， 所述基板吸附装置具备移动机构，在存在由上述吸附确认部没有确认到吸附的上述吸附部时，所述移动机构使形成包括该上述吸附部的上 述吸附部组的上述吸附部的整体倾斜或在上述吸附部的排列方向上移 动。
11. 根据权利要求l所述的基板吸附装置，其特征在于， 上述吸附部具备倾斜机构或上下方向的伸缩机构。
12. —种基板搬送装置，其特征在于，该基板搬送装置具有利用空气压力使基板浮起的机构来作为上述载 置部，且可移动地构成对浮起的基板进行吸附的权利要求1所述的上述 基板吸附装置。
13. —种外观检査装置，其特征在于，该外观检查装置设置有观察光学系统，所述观察光学系统在利用权利要求12所述的基板搬送装置搬送基板的路径中观察基板的表面。
全文摘要
本发明提供基板吸附装置和基板搬送装置以及外观检查装置，该外观检查装置具备在金属板上固定的三个吸附部组来作为基板吸附装置。这些吸附部组在玻璃基板的搬送方向上排列配置，每个都具备三个吸附部。这些吸附部可吸附在玻璃基板的背面上，且各设置有一个可进行倾斜动作的吸盘。位于最中央的吸附部组的吸附部在上方配置有按压部。按压部使辅助盘下降而将玻璃基板按压在吸附部上。这样，可抑制在基板上施加的应力并能可靠地吸附保持基板。
文档编号G01B11/16GK101323396SQ200810108919
公开日2008年12月17日 申请日期2008年6月6日 优先权日2007年6月11日
发明者木内智一 申请人:奥林巴斯株式会社