专利名称：三轴加速度传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种加速度传感器，其具有设置在基底平面上的质量。
背景技术：
就在娱乐电子装置和汽车电子装置中的应用而言，三轴加速度传感器、 尤其是三轴微机械加速度传感器是必需的。在此，希望加速度传感器的结 构形式尽可能紧凑。
微机械加速度传感器的基本原理在于振动质量借助于悬挂相对于固 定电极可动地支承在基底上。振动质量和固定电极构成一个或多个电容器。 由作用于微机械加速度传感器上的加速度引起的振动质量偏移导致电容器 的电容变化，所述电容变化可以被检测到并且是作用的加速度大小的尺度。 优选对电容变化差分地分析计算，以避免零点偏差。
在现有技术中，三轴加速度传感器通过三个相互独立的、具有分开的 振动质量的传感器芯实现，这些传感器芯并排地设置在公共的芯片上。这 导致空间需求大并且导致加速度传感器相对较大。
发明内容
本发明的目的是提供一种三轴微机械加速度传感器，该加速度传感器 具有紧凑的结构形式。这个目的通过具有本发明特征的加速度传感器实现。
按照本发明，加速度传感器包括基底、摆动质量、与摆动质量连接的z 弹簧以及至少一个与基底和摆动质量连接的另外的弹簧装置，所述z弹簧
允许摆动质量围绕一轴线旋转。所述另外的弹簧装置使摆动质量能够在平
行于或垂直于所述轴线定向的x或y方向上偏移。z弹簧或所述另外的弹簧 装置使摆动质量能够在垂直于或平行于所述轴线定向的y或x方向上偏移。 因为该加速度传感器只需要一个质量元件来检测所有三个空间方向上的加 速度，所以该加速度传感器可以构造得非常紧凑。
在一种有利的设计方案中，加速度传感器具有栅电极，牢固地与基底
4连接的基底电极与所述栅电极相对置，其中，所述栅电极和基底电极允许
对摆动质量在x或y方向上的偏移进行检测。
在加速度传感器的一种扩展方案中，至少一个牢固地与基底连接的z 电极与摆动质量相对置，所述z电极允许对摆动质量的旋转进行检测。优 选地，设置有至少两个z电极，其中，这些z电极允许对摆动质量的旋转
差分地分析计算。这能够在检测垂直于基底平面作用的加速度时补偿零点偏差。
适宜地，z弹簧被构造成扭转弹簧。同样适宜的是，所述另外的弹簧装
置包括能够在x和/或y方向上延展的弯曲弹簧。
在加速度传感器的一种实施方式中，摆动质量通过z弹簧与内框架连 接，其中，该内框架通过两个设置在内框架的相互对置的侧上的、能够在y 方向上延展的y弹簧与外框架连接，并且该外框架通过两个设置在外框架 的相互对置的侧上的、能够在x方向上延展的x弹簧与基底连接。在此， 摆动质量具有y栅电极，牢固地与基底连接的y基底电极与y栅电极相对 置。所述y栅电极和y基底电极允许对摆动质量在y方向上的偏移进行检 测。外框架具有x栅电极，牢固地与基底连接的x基底电极与x栅电极相 对置，其中，所述x栅电极和x基底电极允许对外框架在x方向上的偏移 进行检测。该实施方式允许三轴加速度传感器的结构非常紧凑。
在加速度传感器的另一种实施方式中，摆动质量通过z弹簧与一框架 连接，其中，该框架通过多个设置在该框架的外棱边上的、能够在x和y 方向上延展的x-y弹簧与基底连接。摆动质量具有y栅电极，牢固地与基 底连接的y基底电极与所述y栅电极相对置。在此，所述y栅电极和y基 底电极允许对摆动质量在y方向上的偏移进行检测。该框架具有x栅电极， 牢固地与基底连接的x基底电极与所述x栅电极相对置，其中，所述x栅 电极和x基底电极允许对框架在x方向上的偏移进行检测。该实施方式也 允许加速度传感器的结构非常紧凑。
在加速度传感器的另一种实施方式中，摆动质量通过z弹簧与一框架 连接，其中，z弹簧可以在y方向上延展。该框架通过两个设置在该框架的 相互对置的侧上的、能够在x方向上延展的x弹簧与基底连接。摆动质量 具有y栅电极，牢固地与基底连接的y基底电极与y栅电极相对置，其中， 所述y栅电极和y基底电极允许对摆动质量在y方向上的偏移进行检测。该框架具有X栅电极，牢固地与基底连接的X基底电极与X栅电极相对置， 其中，所述X栅电极和X基底电极允许对框架在X方向上的偏移进行检测。 该实施方式也允许加速度传感器的结构非常紧凑。在加速度传感器的最后提到的实施方式的一种优选扩展方案中，框架 不完全包围摆动质量。这允许进一步减小加速度传感器的尺寸。
图1示出用于检测Z方向上的加速度的传感器结构的示意图；图2示出Z加速度传感器的工作原理的示意图；图3示出三轴加速度传感器的第一实施方式的示意图；图4示出三轴加速度传感器的第二实施方式的示意图；图5示出三轴加速度传感器的第三实施方式的示意图。
具体实施方式
图1和2示意性地阐明以剖面示出的、用于检测垂直于基底平面的方 向上的加速度的加速度传感器的工作原理。该方向称为Z方向。如图1所示，加速度传感器100包括振动质量101，该振动质量101 通过扭转弹簧102与基底103连接。振动质量101基本上片状地构造并且 平行于基底103平面设置。振动质量101和基底103之间的连接仅仅通过 扭转弹簧102建立，该扭转弹簧102设置在振动质量101的中部区域中。基底103具有牢固地与基底103连接的第一基底电极106和牢固地与 基底103连接的第二基底电极107。第一基底电极106和第二基底电极107 设置在振动质量101下方并且分别在扭转弹簧102旁边的不同侧。振动质量101在扭转弹簧102的一侧具有相对于扭转弹簧102的另一 侧的附加质量104。如果加速度在z方向上作用于加速度传感器100上，则 振动质量101的相对于其悬挂点的这种质量不对称性会引起振动质量101 绕扭转弹簧102倾斜。如图2所示，振动质量101是摆动电极105，该摆动电极105与第一基 底电极106共同构成第一电容器201并且与第二基底电极107共同构成第 二电容器202。第一电容器201和第二电容器202的电容基本上通过摆动电 极105与第一基底电极106和第二基底电极107的距离来确定。通过在z质量101 的构成第二电容器202的部分靠近基底103。在这种情况下，第一电容器 201的电容减小，而第二电容器202的电容增加。电容和电容变化可以通过 一个与第一电容器201和第二电容器202连接的电子分析计算装置获得和 分析计算。在此，第一电容器201和第二电容器202的反向电容变化允许 差分地分析计算，差分地分析计算提供了作用于加速度传感器100上的加 速度和输出信号之间的线性关系。差分地分析计算能够实现零点误差的补 偿。图3示出三轴加速度传感器300的第一实施方式。以俯视图示出的加 速度传感器300在z方向上设置在位于x-y平面中的基底313上方。加速度传感器300通过两个固定点301与基底313连接。这些固定点 301设置在加速度传感器300的两个在x方向上相互对置的侧上。每个固定 点301与一个x弹簧307连接，这些x弹簧307在x方向上是可延展的并 且在y和z方向上是刚性的。x弹簧307例如可以构造为由四个沿着矩形的 棱边设置的梁组成的梁状弹簧，这些梁在端部区域中相连接。x弹簧307 的纵向在y方向上定向。x弹簧307的两个长边可以弹性地相互靠近和相互 远离地运动。每个x弹簧307的、相对于加速度传感器300位于外部的纵 梁与一个固定点301连接。两个x弹簧307的内部梁分别与外框架302连 接。在另一种设计方案中，x弹簧307例如也可以构造为S形的。外框架302包围一个面积，该面积被分成两个区段。大致矩形的第一 区段316沿着框架302的、在y方向上延伸的右侧棱边设置，该第一区段 316的长边在y方向上定向。框架302在该区段中形成在y方向上定向的、 梁状的x栅电极314。在这些梁状的x栅电极314之间设置有牢固地与基底 313连接的、带状的、在y方向上定向的x基底电极310。所述x基底电极 310与x栅电极314共同构成一个电容器，该电容器的电容与栅电极314 到x基底电极310的距离有关。由外框架302包围的第二面积区段317是基本上矩形的并且设置在矩 形的第一区段316旁边。外框架302的矩形区段317的两个平行于x方向 定向的梁318、 319各与一个y弹簧308连接。这些y弹簧308具有与x弹簧307相同的形状，但是与x弹簧相比旋转了 90° ，从而y弹簧308的纵 向平行于x方向定向。两个y弹簧308各有一个纵梁与外框架302连接。 两个y弹簧308各有另一个纵梁与内框架303连接。在另一种设计方案中， y弹簧308例如可以构造为S形的。内框架303由四个沿着基本正方形的矩形的棱边设置的梁320、 321、 322、 323组成。内框架303的内部面积通过两个在内框架303的平行于y 方向定向的梁321、 323之间延伸的z弹簧309分成两个不同大小的区段， 在这两个z弹簧309之间具有短臂305。两个z弹簧309构造为梁状的扭转 弹簧，这两个z弹簧309在x方向上在短臂305两侧延伸。短臂305与摆动质量304连接，该摆动质量304基本充满由内框架303 包围的面积中的两个不同大小的区段。摆动质量304可以绕由两个z弹簧 309构成的、在x方向上定向的轴线旋转。摆动质量304的位于旋转轴线两 侧的部分具有不同的大小。与摆动质量304的较小部分相比，摆动质量304 的较大部分包括附加质量306。在z方向上在摆动质量304的这两个部分下 方各设置有一个牢固地与基底313连接的z电极312。这两个z电极312 占据大约相同的面积。这两个z电极312分别与摆动质量304共同构成一 个电容器，电容器的电容与摆动质量304到相应的z电极312的距离有关。在x方向上定向的、梁状的y栅电极315集成在摆动质量304的包括 附加质量306的较大部分中。在这些梁状的y栅电极315之间设置有牢固 地与基底313连接的、在x方向上定向的、带状的y基底电极311。 y基底 电极311与摆动质量304的y栅电极315共同构成一个电容器，该电容器 的电容与y栅电极315到y基底电极311的距离有关。在x方向上作用于加速度传感器300上的加速度导致在x方向上作用 于摆动质量304上的力，该力使x弹簧307在x方向上弹性地变形并且使 外框架302在x方向上偏移。作用于加速度传感器300上的加速度越大， 偏移就越大。外框架302的偏移导致x基底电极310与外框架302的x栅 电极314之间的距离变化，由此也改变由x基底电极310和x栅电极314 构成的电容器的电容。所述电容变化可以借助与加速度传感器300连接的 电子分析计算装置检测和分析计算。在y方向上作用于加速度传感器300上的加速度引起在y方向上作用 于摆动质量304上的力并且导致这两个y弹簧308在y方向上弹性变形和内框架303在y方向上偏移。作用于加速度传感器300上的加速度越大， 内框架303的偏移就越大。内框架303在y方向上的偏移引起集成在摆动 质量304中的y栅电极315和牢固地与基底313连接的y基底电极311之 间的距离变化。由此使得由y栅电极315和y基底电极311构成的电容器 的电容发生变化，这可以通过一个与加速度传感器300连接的电子分析计 算装置识别和量化。在z方向上作用于加速度传感器300上的加速度导致在z方向上作用 于摆动质量304上的力。因为摆动质量304的设置在z弹簧309两侧的部 分具有不同的质量，所以作用于摆动质量304的配有附加质量306的部分 上的力比作用于摆动质量304的其它部分上的力更大。这种力不平衡性引 起相对于z弹簧309作用于摆动质量304上的扭矩，该扭矩引起摆动质量 304绕由z弹簧309构成的轴线倾斜。作用于加速度传感器300上的加速度 越大，摆动质量304的倾斜就越大。通过摆动质量304的倾斜来改变这两 个由摆动质量304和两个牢固地与基底313连接的z电极312构成的电容 器的电容。其中一个电容器的电容增加，另一个电容器的电容减少。这些 电容变化可以通过与加速度传感器300连接的电子分析计算装置获得和分 析计算。因为存在两个电容器可供使用，这些电容器的电容变化具有相反 的符号，所以对电容变化差分地分析计算是可行的。由此提高了精度。图4示出加速度传感器400的第二实施方式。该加速度传感器400在z 方向上设置在位于x-y平面中的基底413上方。加速度传感器400包括四个x-y弹簧407，这些x-y弹簧407各通过一 个固定点401与基底413连接。每个x-y弹簧407被构造为曲折形的梁结 构。曲折形的x-y弹簧407的一个端部总是与一个固定点401连接。x-y弹 簧407的另一个端部总是与加速度传感器400的框架402连接。两个x-y 弹簧407分别设置在框架402的两个在x方向上相互对置的、在y方向上 延伸的侧棱边上。每个x-y弹簧407不仅在x方向上而且在y方向上可弹 性变形，但是在z方向上是刚性的。在另一种设计方案中，x-y弹簧407例 如可以构造为S形的。框架402在一侧是部分敞开的并且具有基本上矩形的基本形状，该基 本形状通过框架402的沿着矩形侧棱边延伸的梁区段构成。由框架402包 围的面积被分成两个区段416、 417。沿着框架402的在y方向上延伸的侧9棱边设置有一矩形的区段416，该区段的长边在y方向上定向。框架402 在该区段416中形成在y方向上定向的、梁状的x栅电极414。在这些梁状 的x栅电极414之间设置有牢固地与基底413连接的、带状的、在y方向 上定向的x基底电极410。 x基底电极410与x栅电极414共同构成一个电 容器，该电容器的电容与x栅电极414到x基底电极410的距离有关。由框架402包围的面积的第二区段417基本上通过摆动质量404的两 个不同大小的翼充满。摆动质量404的两个翼通过短臂405相互连接。短 臂405在两侧各通过一个在x方向上延伸的z弹簧409与框架402连接。 这两个z弹簧409构造为梁状的扭转弹簧并且允许摆动质量404绕由z弹 簧409构成的旋转轴线倾斜。与摆动质量404的较小翼相比，摆动质量404的两个翼中的较大翼包 括附加质量406。在x方向上定向的、梁状的y栅电极415集成在摆动质量 404的较大翼中。在这些梁状的y栅电极415之间设置有牢固地与基底413 连接的、带状的、在x方向上延伸的y基底电极411。 y基底电极411与y 栅电极415共同构成一个电容器，该电容器的电容与y栅电极415到y基 底电极411的距离有关。在摆动质量404的两个翼的每个翼下方分别设置一个牢固地与基底 413连接的z电极412。这两个z电极412占据大约相同的面积。每个z电 极412与摆动质量404共同形成一个电容器，该电容器的电容与摆动质量 404到相应的z电极412的距离有关。框架402的包围摆动质量404的梁区段可以选择性地省去，以便减少 加速度传感器400的空间需求。在图4的视图中，例如省去了框架402的、 包围摆动质量404较大翼的一个梁区段。在x方向上作用于加速度传感器400上的加速度产生在x方向上作用 于摆动质量404上的力。由此使x-y弹簧407在x方向上弹性变形并且使 框架402在x方向上偏移。作用于加速度传感器400上的加速度越大，框 架402的偏移就越大。框架402的偏移引起x栅电极414和与基底413连 接的x基底电极410之间的距离变化。由此使得由x基底电极410和x栅 电极414构成的电容器的电容发生变化，这可以借助与加速度传感器400 连接的电子分析计算装置获得和分析计算。在y方向上作用于加速度传感器400上的加速度引起在y方向上施加10在摆动质量404上的力，该力导致x-y弹簧407在y方向上弹性变形并且 导致框架402在y方向上偏移。作用于加速度传感器400上的加速度越大， 框架402在y方向上的偏移就越大。框架402的偏移引起由y栅电极415 和与基底413连接的y基底电极411构成的电容器的电容变化。该电容变 化可以通过与加速度传感器400连接的电子分析计算装置获得和分析计算。 在z方向上作用于加速度传感器400上的加速度导致在z方向上作用 于摆动质量404上的力。由于摆动质量404的两个翼的质量不同，使得作 用于摆动质量的两个翼上的力不同并且导致有扭矩作用于摆动质量404上， 该扭矩引起摆动质量404绕由z弹簧409构成的轴线倾斜。由此使摆动质 量404和两个与基底413连接的z电极412之间的距离发生变化。结果是 由z电极412中的一个和摆动质量404构成的电容器的电容增加，而由另 一个z电极412和摆动质量404构成的电容器的电容减小。这些电容变化 可以通过与加速度传感器400连接的电子分析计算装置检测和差分地分析 计算。
图5示出加速度传感器500的另一种实施方式。基本上片状的加速度 传感器500在z方向上设置在位于x-y平面中的基底513上方。
加速度传感器500包括两个x弹簧507，这些x弹簧507设置在加速度 传感器500的两个在x方向上相互对置的侧上。x弹簧507分别由四个沿着 矩形的棱边延伸的梁区段组成，这些梁区段在端部区域中相互连接。x弹簧 507的纵向平行于y轴定向。每个x弹簧507在x方向上是可弹性变形的， 但是在y方向和z方向上是刚性的。在两个在y方向上延伸的梁区段外部， x弹簧507各通过一个固定点501与基底513连接。两个x弹簧507的内部 梁区段分别与框架502连接。在另一种设计方案中，x弹簧507例如可以构 造为S形的。
框架502部分地包围矩形的基本形状，该基本形状被分成两个区段 516、 517。
第一区段516由梁状的x栅电极514构成，这些x栅电极514沿着框 架502的在y方向上定向的、较短的侧棱边设置。在这些在y方向上定向 的x栅电极514之间设置有牢固地与基底513连接的、带状的、在y方向 上延伸的x基底电极510。在第一区段516的面向第二区段517的一侧，该 第一区段516通过框架502的在y方向上定向的梁519限定。由框架502包围的面积的第二区段517在框架502的梁519和一个另 外的在y方向上定向的梁518之间延伸并且基本上通过摆动质量504的两 个大小不同的翼充满。摆动质量504的这两个翼通过短臂505连接。短臂 505在两侧通过两个在x方向上延伸的y-z弹簧508与框架502的梁518和 519连接。y-z弹簧构造成梁状的扭转弹簧。y-z弹簧508允许摆动质量504 绕由y-z弹簧508构成的、在x方向上延伸的轴线倾斜。此外，y-z弹簧508 允许摆动质量504在y方向上偏移。y-z弹簧508在x方向上是刚性的。
因为摆动质量504的两个翼具有不同的大小，所以摆动质量504的两 个翼中的较大翼与摆动质量504的两个翼中的较小翼相比具有附加质量 506。在摆动质量504的两个翼中的较大翼中集成有在x方向上定向的、梁 状的y栅电极515。在这些梁状的y栅电极515之间设置有牢固地与基底 513连接的、带状的、在x方向上延伸的y基底电极511。
在z方向上在摆动质量504的两个翼下方各设置有一个牢固地与基底 513连接的z电极512。这两个z电极512占据大约相同的面积。每个z电 极512与摆动质量504的一个翼构成一个电容器，该电容器的电容与摆动 质量504的翼到相应电极512的距离有关。
框架502的包围摆动质量504的梁区段可以省去，以便减少加速度传 感器500的空间需求。在图5的视图中，例如省去了框架502的两个包围 摆动质量504的、平行于x轴线的梁区域。在另一种实施方式中，框架502 的梁518、 519的端部区域相互连接。
如果加速度在x方向上作用于加速度传感器500上，则摆动质量504 受到x方向上的力，该力导致两个x弹簧507在x方向上弹性变形并且导 致框架502在x方向上偏移。由此使得由x栅电极514和x基底电极510 构成的电容器的电容发生变化。这些电容变化可以借助与加速度传感器500 连接的电子分析计算装置检测和分析计算。
如果加速度在y方向上作用于加速度传感器500上，则摆动质量504 受到y方向上的力，该力引起y-z弹簧508在y方向上弹性变形和摆动质 量504在y方向上偏移。通过摆动质量504的偏移使得由y栅电极515和y 基底电极511构成的电容器的电容发生变化。这些电容变化可以借助与加 速度传感器500连接的电子分析计算装置获得和量化。
在z方向上作用于加速度传感器500上的加速度导致在z方向上作用于摆动质量504上的力。由于摆动质量504的两个翼的质量不同，使得作 用于摆动质量504的两个翼上的力不同并且产生作用于摆动质量504上的 扭矩，该扭矩引起摆动质量504绕由y-z弹簧508构成的轴线倾斜。作用 于加速度传感器500上的加速度越大，所述倾斜就越大。通过摆动质量504 的倾斜使两个由摆动质量504的翼和在z方向上设置在翼下方的z电极512 构成的电容器的电容发生变化。其中一个电容器的电容增加，而另一个电 容器的电容减小。这些电容变化可以借助与加速度传感器500连接的电子 分析计算装置获得和差分地分析计算。
与在图3中所示的加速度传感器300相比，在图4和5中所示的加速 度传感器400和500的特征在于空间需求减少。与现有技术相比，所有的 加速度传感器300、 400、 500都减少了空间需求，这一点通过将摆动质量
共同用于检测所有三个空间方向上的加速度来实现。
在所有的加速度传感器300、 400、 500中，x基底电极310、 410、 510 和y基底电极311、 411、 511也可以设计用于对x或y方向上的偏移差分 地分析计算。对于普通技术人员来说，可能的实现方式由现有技术公开。
权利要求
1.一种加速度传感器，其具有基底(313，413，513)、摆动质量(304，404，504)、与摆动质量连接的z弹簧(309，409，508)以及至少一个与基底和摆动质量连接的另外的弹簧装置(307，308，407，507，508)，所述z弹簧允许摆动质量绕一轴线旋转，其中，所述另外的弹簧装置使摆动质量能够在平行于或垂直于所述轴线定向的x或y方向上偏移，并且，所述z弹簧或所述另外的弹簧装置使摆动质量能够在垂直于或平行于所述轴线定向的y或x方向上偏移。
2. 如权利要求l所述的加速度传感器，其中，该加速度传感器具有栅 电极(314， 315， 414， 415， 514， 515)，牢固地与基底连接的基底电极(310， 311， 410， 411， 510， 511)与所述栅电极相对置，所述栅电极和基底电极 允许对摆动质量在x或y方向上的偏移进行检测。
3. 如上述权利要求中任一项所述的加速度传感器，其中，至少一个牢 固地与基底连接的z电极(312， 412， 512)与摆动质量相对置，所述z电 极允许对摆动质量的旋转进行检测。
4. 如权利要求3所述的加速度传感器，其中，设置有至少两个z电极， 所述z电极允许对摆动质量的旋转差分地分析计算。
5. 如上述权利要求中任一项所述的加速度传感器，其中，z弹簧被构 造成扭转弹簧。
6. 如上述权利要求中任一项所述的加速度传感器，其中，所述另外的 弹簧装置包括能够在x和/或y方向上延展的弯曲弹簧。
7. 如上述权利要求中任一项所述的加速度传感器，其中，摆动质量通 过z弹簧与内框架(303)连接，该内框架(303)通过两个设置在内框架 的相互对置的侧上的、能够在y方向上延展的y弹簧(308)与外框架(302)连接，该外框架(302)通过两个设置在外框架的相互对置的侧上的、能够 在x方向上延展的x弹簧(307)与基底连接，摆动质量具有y栅电极(315)， 牢固地与基底连接的y基底电极(311)与y栅电极(315)相对置，所述 y栅电极和y基底电极允许对摆动质量在y方向上的偏移进行检测，外框架 具有x栅电极(314)，牢固地与基底连接的x基底电极(310)与x栅电极 相对置，所述x栅电极和x基底电极允许对外框架在x方向上的偏移进行 检测。
8. 如权利要求1至6中任一项所述的加速度传感器，其中，摆动质量 通过z弹簧与一框架(402)连接，该框架(402)通过多个设置在该框架 的外棱边上的、能够在x和y方向上延展的x-y弹簧(407)与基底连接， 摆动质量具有y栅电极(415)，牢固地与基底连接的y基底电极(411)与 y栅电极相对置，所述y栅电极和y基底电极允许对摆动质量在y方向上的 偏移进行检测，该框架具有x栅电极(414)，牢固地与基底连接的x基底 电极(410)与x栅电极(414)相对置，所述x栅电极和x基底电极允许 对该框架在x方向上的偏移进行检测。
9. 如权利要求1至6中任一项所述的加速度传感器，其中， 摆动质量通过z弹簧与一框架(502)连接，z弹簧能够在y方向上延展，该框架通过两个设置在该框架的相互对置的侧上的、能够在x方向上 延展的x弹簧(507)与基底连接，摆动质量具有y栅电极(515)，牢固地 与基底连接的y基底电极(511)与y栅电极(515)相对置，所述y栅电 极和y基底电极允许对摆动质量在y方向上的偏移进行检测，该框架具有x 栅电极(514)，牢固地与基底连接的x基底电极(510)与x栅电极(514) 相对置，所述x栅电极和x基底电极允许对该框架在x方向上的偏移进行 检测。
10. 如权利要求8或9所述的加速度传感器，其中，所述框架不完全 地包围摆动质量。
全文摘要
本发明涉及一种加速度传感器，其包括基底、摆动质量、与摆动质量连接的z弹簧以及至少一个与基底和摆动质量连接的另外的弹簧装置，所述z弹簧允许对摆动质量绕一轴线旋转。所述另外的弹簧装置使摆动质量能够在平行于或垂直于所述轴线定向的x或y方向上偏移。所述z弹簧或所述另外的弹簧装置使摆动质量能够在垂直于或平行于轴线定向的y或x方向上偏移。
文档编号G01P15/18GK101655508SQ20091016805
公开日2010年2月24日 申请日期2009年8月19日 优先权日2008年8月19日
发明者A·克尔布尔, J·克拉森, L·特夫耶 申请人:罗伯特·博世有限公司