专利名称：确认cos下载内容是否正确的方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体晶圆的测试方法，尤其涉及一种晶圆测试过程中的验证 COS下载内容是否正确的方法。
背景技术：
COS下载在目前智能卡类的晶圆测试中是一种通用的应用手段，但是下载的正确 与否，对智能卡的正常应用十分关键。下载过程中有一个bit(字节)错误，则可能导致整 个智能卡芯片工作不能正常进行。在目前的技术中，一般在COS下载之后，通过抽测的方法，来验证下载内容的正 确性。这就导致了在抽测样品不足时，测试程序中很可能存在某个bug(程序错误)但是 没有查找出的情况，导致一个Die (Die是晶圆或硅片在封装前的单个单元的裸片)尽管是 pass (通过)的信息，但是COS下载内容出错，必须找到一种系统的方法来对整个晶圆进行 验证。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种确认COS下载内容是否正确的方法，该方法 可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，且通过该方法快速进行bug的定位和消除，从 而保证下载的正确性。为解决上述技术问题，本发明提供一种确认COS下载内容是否正确的方法，包括 如下步骤(1)设置COS的源代码文件为FileO，当下载COS时，仅对pass的Die进行下载操 作，fail的Die不进行下载操作；(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容从各个Die中读出；(3)将步骤(2)各个Die的读出值保存到不同的文件Filel/File2/File3···中去；(4)将Filel/File2/File3…和FileO进行异或操作，验证写入的COS值是否正 确，产生一个R数组，分别为R1/R2/R3···，如写入正确，则R的值为0，反之为1 ；(5)将R数组和每个Die的pass/fail Flag数组进行异或操作，得到结果E1/E2/ E3…，pass的Flag为1，fail的Flag为0，如写入正确，结果E为1，反之为0，最后的期待 结果应该为1 ；(6)对期待结果进行判断，如果不等于1，则表示该Die的COS下载失败。步骤(6)中还可以将步骤( 获得的结果E做成一个示意图，从而可以快速判断 下载fail的Die的方位。和现有技术相比，本发明具有以下有益效果使用本发明方法可以系统地确认全 片晶圆中COS的下载情况，特别是当程序中存在未知的bug时，可以通过该统计的方法快速 进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。
图1是一个晶圆中各个不同Die的pass/fail (通过或失败)示意图；图2是本发明方法的流程示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。如图1所示，在晶圆测试过程中，下载COS之前，每个Die都具有pass/fail的特 征。图 1 中，Diel、Die2 和 Die3 为 pass，Die4 为 fail。如图2所示，本发明方法包括如下步骤(图2中，Diel、Die2和Die3为pass，Die4 为 fail)(1)设置COS的source code (源代码)文件为FileO，当下载COS时，仅对pass 的Die进行下载操作，fail的Die不进行下载操作；例如，图2中对pass的Diel、Die2和 Die3进行下载操作，对fail的Die4不进行下载操作；(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容(全部或部分内容)从Die中读出，得到 Diel cos读出值/Die2 cos读出值/Die3 cos读出值/Die4 cos读出值；(3)并保存到不同的文件 Filel/File2/File3/File4···中去；(4)将 File 1/File2/File3/File4…和 source code 文件 File 0 进行异或操作 (X0R运算)，验证写入的COS值是否正确，产生一个R数组，分别为R1/R2/R3/R4…，如写入 正确，则R的值为0，反之为1 ；(5)将R数组和每个Die的pass/fail Flag数组进行异或操作(X0R运算)，pass 的Flag为1，fail的Flag为0，得到结果E1/E2/E3/E4，如写入正确，结果E1/E2/E3/E4为 l(pass)，反之为结果E1/E2/E3/E4为O(fail)，最后的期待结果应该为1 ；(6)对期待结果进行判断，如果E1/E2/E3/E4不等于1，则表示该Die的COS下载 NG (COS下载失败)；(7)同时可以将步骤(5)获得的结果E1/E2/E3/E4做成一个map图，从而可以快速 判断下载fail的Die的方位。通过上述步骤，可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，特别是当程序中存 在未知的bug时，可以通过该方法快速有效地进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。
权利要求
1.一种确认COS下载内容是否正确的方法，其特征在于，包括如下步骤(1)设置COS的源代码文件为FileO，当下载COS时，仅对pass的Die进行下载操作， fail的Die不进行下载操作；(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容从各个Die中读出；(3)将步骤O)各个Die的读出值保存到不同的文件Filel/File2/File3···中去；(4)将File1/File2/File3…和File 0进行异或操作，验证写入的COS值是否正确， 产生一个R数组，分别为R1/R2/R3···，如写入正确，则R的值为0，反之为1 ；(5)将R数组和每个Die的pass/failFlag数组进行异或操作，得到结果E1/E2/E3…， pass的Flag为1，fail的Flag为0，如写入正确，结果E为1，反之为0，最后的期待结果应 该为1;(6)对期待结果进行判断，如果不等于1，则表示该Die的COS下载失败。
2.如权利要求1所述的确认COS下载内容是否正确的方法，其特征在于，步骤(6)中 还可以将步骤( 获得的结果E做成一个示意图，从而可以快速判断下载fail的Die的方
全文摘要
本发明公开了一种确认COS下载内容是否正确的方法，包括如下步骤(1)设置COS的源代码文件为File0，当下载COS时，仅对pass的Die进行下载操作，fail的Die不进行下载操作；(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容从各个Die中读出；(3)并保存到不同的文件File1/File2/File3…中去；(4)将File 1/File2/File3…和File 0进行异或操作，验证写入的COS值是否正确，产生一个R数组，如写入正确，则R的值为0，反之为1；(5)将R数组和每个Die的pass/fail Flag数组进行异或操作，最后的期待结果应该为1；(6)对期待结果进行判断，如果不等于1，则表示该Die的COS下载失败。本发明可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，且快速进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。
文档编号G01R31/00GK102062821SQ200910201830
公开日2011年5月18日 申请日期2009年11月18日 优先权日2009年11月18日
发明者朱渊源, 桑浚之, 辛吉升 申请人:上海华虹Nec电子有限公司