专利名称：气浮轴承的刚度测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及气浮支撑技术，尤其涉及一种气浮轴承的刚度测试装置。
背景技术：
气浮支撑技术广泛应用于微细加工技术领域，气浮轴承能够满足微细加工技术领域提出的高精度、高速度、高分辨率、热稳定好、低振动、爬行小、少污染以及降低成本等方面的苛刻要求，是微细测量与加工系统的关键部件。气浮支撑技术是光刻机制造工程中关键技术之一，是实现高精度扫描光刻的关键支撑技术。气浮轴承可定义为被空气膜隔开的两个精加工表面，这两个精加工表面称为气浮面。气浮轴承常用的性能参数主要有承载力、流量、刚度和稳定性。气浮轴承的相对承载能力小，刚度低，这使得气浮支撑技术在微细加工及检测设备的应用中对各种工况适应能力不强，因此，检测气浮轴承的刚度在工程应用中十分重要。气浮轴承的刚度是指轴承的承载能力与浮起高度(气膜厚度)之比值。目前，供应商虽然能够提供气浮轴承的刚度曲线(单个气浮轴承)作为参考，但在实际应用中，使用工况不同，刚度会产生很大的差异，特别是在多个气浮轴承组合使用时， 组合的刚度曲线未知；另外，在自行设计的气浮轴承中，也需要通过测量得出其气浮刚度曲线，找到其最佳的使用膜厚。—种现有技术的气浮轴承的刚度测量装置是张君安在《高刚度静压轴承研究》(西北工业大学，2006年12月)中所提到的“气体静压推力轴承的性能测试实验台”，该性能测试实验台使用球面副接触，需要找到被测组件的绝对中心，这在实际操作中比较困难；另夕卜，该性能测试实验台柔性不足，只能测试单个的气浮轴承的刚度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种气浮轴承的刚度测试装置，既能测试单个气浮轴承的刚度，又能测试多个气浮轴承组合的刚度，且操作简单。为了达到上述的目的，本发明提供一种气浮轴承的刚度测试装置，包括平台、显示仪表、加载机构和龙门架；被测组件设置在所述平台的上表面上，所述平台的上表面为气浮面，该被测组件与所述平台之间形成气浮轴承；所述龙门架安装在所述平台上；所述加载机构安装在所述龙门架上，对所述被测组件施加加载力；所述显示仪表与所述加载机构连接，该显示仪表实时显示所述加载机构施加的加载力。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，还包括导轨和导轨定位块；所述导轨通过所述导轨定位块固定设置在所述平台上，所述导轨为气浮导轨；所述被侧组件的一侧面紧贴所述导轨的侧面时，该被测组件与所述平台和所述导轨之间均形成气浮轴承。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述龙门架包括两根立柱、一横梁和一侧梁；所述横梁的两端分别设置在所述两根立柱的顶端；所述侧梁的两端分别与所述两根立柱连接；所述两根立柱分别安装在所述平台的两个相对侧表面上。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述横梁上设有偏心槽，所述偏心槽用于安装所述加载机构；所述两根立柱上均设有安装长槽，所述安装长槽用于连接所述侧梁；所述侧梁上设有安装长槽，所述安装长槽用于连接所述加载机构。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述平台的两个相对侧表面上设有多个安装孔，所述安装孔用于连接所述龙门架的立柱。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述两个立柱上均设有安装孔，所述两个立柱上的安装孔与所述平台的两个相对侧表面上的安装孔相匹配，用于连接所述平台。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述加载机构由上安装夹板和下安装夹板夹持安装在所述龙门架上，包括套筒、粗调螺母、粗调弹簧、顶针、直线轴承、力传感器、关节轴承和铰链座；所述套筒固定安装在所述下安装夹板上；所述粗调螺母穿过所述下安装夹板，该粗调螺母与所述下安装夹板螺纹连接；所述粗调弹簧设置在所述粗调螺母的底端，所述粗调弹簧以及所述粗调螺母的下部设置在所述套筒内；所述顶针的上部设置在所述粗调螺母和粗调弹簧内，该顶针的轴肩与所述粗调弹簧的底端连接；所述顶针的底端穿过与所述套筒底端连接的直线轴承，连接所述力传感器；所述关节轴承连接在所述力传感器的底端；所述铰链座通过铰链销与所述关节轴承连接；所述加载机构通过所述铰链座与所述被测组件接触施加加载力。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述加载机构还包括微调螺钉和微调弹簧， 所述微调弹簧设置在所述微调螺钉的底端，所述微调螺钉的下部以及微调弹簧的上部设置在所述粗调螺母内，所述微调螺钉与所述粗调螺母螺纹连接，所述顶针的上部穿过所述微调弹簧，该顶针与所述微调弹簧的底端连接。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述加载机构还包括导向螺钉，所述导向螺钉的一端穿过所述套筒顶在所述顶针的轴肩上。上述气浮轴承的刚度测试装置，其中，所述显示仪表为多通道显示仪表，该显示仪表通过数据线与所述加载机构的力传感器连接。本发明气浮轴承的刚度测试装置的龙门架既可使用横梁夹持加载机构进行竖直方向的气浮轴承的刚度测试，又可使用侧梁夹持加载机构进行水平方向的气浮轴承的刚度测试，因此，本发明气浮轴承的刚度测试装置既能测试单个气浮轴承的刚度，又能测试组合气浮轴承的刚度，且操作简单；本发明气浮轴承的刚度测试装置可使用两个以上的加载机构对被测组件施加加载力，且不同的加载机构可施加不同大小的加载力，因此，本发明气浮轴承的刚度测试装置还能测试单个气浮轴承的抗扭转刚度以及组合气浮轴承的抗扭转刚度；本发明气浮轴承的刚度测试装置的加载机构包括粗调弹簧和微调弹簧，可对加载力可进行粗调和微调，大大提高了本发明气浮轴承的刚度测试装置的测试分辨率；本发明气浮轴承的刚度测试装置中加载机构的关节轴承可在一定范围内实现Rx、 Ry和Rz方向的转动，避免因为加载力的方向与气浮面不垂直而产生附加加载力，使测试结果更可靠、更精准；本发明气浮轴承的刚度测试装置中龙门架的安装位置、龙门架的侧梁的安装位置、加载机构的安装位置均可调，可适用于不同大小、不同位置的气浮轴承；
进行水平方向的气浮轴承的刚度测试时，被测组件的底端面与平台的上表面之间也形成气膜，可避免被测组件与平台之间的摩擦力对测试的影响，使模拟测试更接近实际工况，测试结果更可靠、更精准。
本发明的气浮轴承的刚度测试装置由以下的实施例及附图给出。图1是本发明的气浮轴承的刚度测试装置的结构示意图。图2是使用本发明的气浮轴承的刚度测试装置进行垂向测试的示意图。图3是使用本发明的气浮轴承的刚度测试装置进行水平向测试的示意图。图4是本发明中加载机构的结构示意图。
具体实施例方式以下将结合图1 图4对本发明的气浮轴承的刚度测试装置作进一步的详细描述。参见图1 图3，本发明气浮轴承的刚度测试装置包括一平台1、一导轨定位块2、 一导轨3、一显示仪表4、至少一加载机构5、至少一龙门架6和一电感测微仪(图中未示)；所述导轨3通过所述导轨定位块2设置在所述平台1的上表面上；所述龙门架6安装在所述平台1上；所述加载机构5以垂直于水平面的方向或者以平行于水平面的方向安装在所述龙门架6上；所述显示仪表4与所述加载机构5连接；被测组件8设置在所述平台1的上表面上，所述加载机构5的底端压在所述被测组件8上，该加载机构5用于对所述被测组件8施加加载力；所述被测组件8包括多个并排设置的气浮滑块，该被测组件8可与所述平台1形成多个气浮轴承组合，也可与所述导轨3形成多个气浮轴承组合；所述电感测微仪用于测量气浮轴承的气膜厚度。所述平台1为大理石平台，该平台1的两个相对的侧表面上设有多个安装孔11，所述安装孔11用于安装所述龙门架6
本发明一较佳实施例中，所述安装孔11为螺纹孔；所述平台1的上表面可用作气浮面，在竖直方向的气浮轴承测试中，所述平台1的上表面为测量基准面。在水平方向的气浮轴承测试中，所述导轨3的侧表面用作气浮面。所述龙门架6包括两根立柱61、一横梁62和一侧梁7 ；所述横梁62的两端分别设置在所述两根立柱61的顶端，所述两根立柱61均垂直于所述横梁62 ；所述横梁62上设有偏心槽621，所述偏心槽621用于安装所述加载机构5，沿所述偏心槽621的长度方向可调整所述加载机构5的安装位置，在保证所述横梁62强度的同时保证水平向无加载盲区；所述两根立柱61上均设有多个安装孔611，所述安装孔611与所述平台1的安装
6孔11匹配，通过该安装孔611可将所述两根立柱61分别安装在所述平台1的两个设有安装孔的侧表面上，该安装孔611选择与不同的所述平台1的安装孔11配合使用，可调整所述龙门架6的安装位置；所述两根立柱61上还设有安装长槽612，所述安装长槽612用于连接所述侧梁7 ；所述侧梁7的两端分别通过所述安装长槽612与所述两根立柱61连接，沿所述安装长槽612的长度方向可调整所述侧梁7的安装位置；所述侧梁7上设有安装长槽71，所述安装长槽71用于连接所述加载机构5，沿所述安装长槽71的长度方向可调整所述加载机构5的安装位置。参见图4，所述加载机构5包括微调螺钉501、粗调螺母502、上安装夹板503、下安装夹板504、微调弹簧505、套筒506、粗调弹簧507、顶针508、导向螺钉509、直线轴承510、 力传感器511、关节轴承512和铰链座513 ；所述上安装夹板503通过螺钉与所述下安装夹板504连接，所述上安装夹板503 与所述下安装夹板504配合使用可使所述加载机构5夹装在所述龙门架6的横梁62或测梁7上；所述下安装夹板504设在所述套筒506的顶端，所述套筒506通过螺钉组固定安装在所述下安装夹板504上，所述直线轴承510设置在所述套筒506的底端；所述下安装夹板504的内壁上设有内螺纹；所述粗调螺母502穿过所述上安装夹板503和下安装夹板504，该粗调螺母502为内外螺纹形式，在所述粗调螺母502的外壁上设有外螺纹，所述粗调螺母502外壁上的外螺纹与所述下安装夹板504内壁上的内螺纹相匹配，实现所述粗调螺母502与所述下安装夹板504的连接，旋转所述粗调螺母502，可使所述粗调螺母502相对所述下安装夹板504移动；所述粗调螺母502的底端与所述粗调弹簧507的顶端连接，所述粗调螺母502的下部以及所述粗调弹簧507设置在所述套筒506内；所述微调弹簧505设置在所述微调螺钉501的底端，所述微调螺钉501的下部以及所述微调弹簧505的上部设置在所述粗调螺母502内，所述微调弹簧505的下部设置在所述粗调弹簧507内；所述粗调螺母502的内壁上设有内螺纹，所述微调螺钉501的外壁上设有外螺纹， 所述微调螺钉501外壁上的外螺纹与所述粗调螺母502内壁上的内螺纹相匹配，实现所述微调螺钉501与所述粗调螺母502的连接，旋转所述微调螺钉501，可使所述微调螺钉501 相对所述粗调螺母502移动；所述粗调螺母502的内壁对所述微调弹簧505起导向作用，防止所述微调弹簧505 受压时偏载；所述顶针508包括直径不同的上部、中部和下部，所述上部的直径小于所述中部的直径，所述中部的直径小于所述下部的直径，在所述中部与下部之间设有轴肩5081 ；所述顶针508的上部设置在所述微调弹簧505和微调螺钉501内，所述微调弹簧 505的底端与所述顶针508的中部的顶端连接；所述顶针508的中部设置在所述粗调弹簧507内，所述粗调弹簧507的底端与所述顶针508的轴肩5081连接，所述顶针508对所述粗调弹簧507起导向作用，避免所述粗调弹簧507受压时偏载；所述顶针508的下部穿过所述直线轴承510，所述直线轴承510对所述顶针508起导向作用，防止所述顶针508受压时偏载；所述导向螺钉509的一端穿过所述套筒506顶在所述顶针508的轴肩5081上，该导向螺钉509用于防止所述顶针508转动；所述顶针508的底端连接所述力传感器511，所述力传感器511用于实时测量所述加载机构5施加在所述被测组件8上的加载力；所述关节轴承512连接在所述力传感器511的底端，所述关节轴承512可在一定范围内实现Rx、Ry和Rz方向的转动，避免因为加载力的方向与气浮面不垂直而产生附加加载力，使测试结果更可靠、更精准；所述铰链座513通过铰链销514与所述关节轴承512连接，工作时，所述铰链座 513的底端面压在所述被测组件8上，所述铰链座513的底端面与所述被测组件8表面之间的摩擦力可限制气浮面的移动自由度；所述显示仪表4为多通道显示仪表，该显示仪表4通过数据线与所述力传感器511 连接，所述显示仪表4用于显示所述力传感器511的输出信号(即加载力的数值)；所述加载机构5施加的加载力可进行粗调和微调，大大提高了本发明气浮轴承的刚度测试装置的测试分辨率。所述电感测微仪采用现有技术中的电感测微仪，电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，它由主体和测头两部分组成，配上相应的测量装置(例如测量台架等)，能够完成各种精密测量。结合图2和图3说明本发明气浮轴承的刚度测试装置的工作原理以所述平台1的上表面所在的平面为XY平面建立三维坐标系，所述平台1设有安装孔11的侧表面的长度方向与该三维坐标系的Y轴平行，将右手拇指指向Z轴正方向，其余四指握拳，其余四指握拳的方向定义为Rz方向，将右手拇指指向Y轴正方向，其余四指握拳，其余四指握拳的方向定义为Ry方向，将右手拇指指向X轴正方向，其余四指握拳，其余四指握拳的方向定义为Rx方向；先介绍竖直方向的气浮轴承的刚度测试(竖直方向的气浮轴承是指气浮面的法线与Z轴平行的气浮轴承)，参见图2，所述被测组件8设置在所述平台1的上表面上，所述平台的上表面及所述被测组件8的底端面为气浮面，使用所述加载机构5在所述被测组件 8的顶端面上施加加载力(施加竖直方向的加载力)，在不同大小加载力的作用下，所述被测组件8的底端面与所述平台1的上表面之间的气膜厚度不同，测量出加载力的大小及其对应的气膜厚度就可得到竖直方向的气浮轴承的刚度曲线；在竖直方向的气浮轴承的刚度测试中不需要安装所述导轨3及导轨定位块2，也不需要安装所述龙门架6的侧梁7，所述加载机构5夹持在所述龙门架6的横梁62上；根据所述被测组件8的大小决定所述龙门架6及加载机构5的数量(要保证所述被测组件8受力均衡)，以选用两个龙门架及两个加载机构为例，所述龙门架6通过其立柱 61上的安装孔611安装在所述平台1的侧表面上，由于所述平台1的侧表面设有多个安装孔11，可根据需要调节所述龙门架6在Z向及Y向的安装位置；一个所述龙门架6用于夹持一个所述加载机构5，所述加载机构5可在所述龙门架6的横梁62的偏心槽621内沿所述偏心槽621的长度方向移动，以调整所述加载机构5在X向的安装位置，确定好所述加载机构5在X向的安装位置后，夹紧所述加载机构5的上安装夹板503和下安装夹板504固定所述加载机构5在X向的安装位置；所述加载机构5的铰链座513的底端压在所述被测组件8的顶端面上，利用所述加载机构5对所述被测组件8施加Z轴方向的加载力(保证所述被测组件8受到均衡力的作用)；所述显示仪表4通过数据线分别与所述两个加载机构5的力传感器511连接，实时显示所述两个力传感器511的输出信号；首先，在所述被测组件8不工作的情况下(即所述被测组件8还未通气，所述被测组件8的底端面与所述平台1的上表面之间还未形成气膜)，旋转所述加载机构5的粗调螺母502对所述被测组件8施加预加载力，预加载力的值可通过所述显示仪表4读出；接着给所述被测组件8通气，在所述被测组件8的底端面与所述平台1的上表面之间形成气膜，通过旋转所述加载机构5的微调螺钉501调整加载力的大小，加载力的大小由所述显示仪表 4读出，使用所述电感测微仪测量气膜厚度，利用获得的一一对应的加载力值和气膜厚度就可得到气浮轴承的刚度曲线；使用两个加载机构时，可根据需要对两个加载机构施加不同大小的力，测试被测组件的扭转刚度；接着介绍水平方向的气浮轴承的刚度测试(水平方向的气浮轴承是指气浮面的法线与X轴或者Y轴平行的气浮轴承)，参见图3，所述导轨3通过所述导轨定位块2安装在所述平台1的上表面上，所述被测组件8设置在所述平台1的上表面上，使用所述加载机构5在所述被测组件8的一侧表面上施加加载力(施加水平方向的加载力)，使所述被测组件8夹在所述加载机构5与所述导轨3的一侧表面之间，所述被测组件8与所述导轨3相对的一侧表面及所述导轨3与所述被测组件8相对的一侧表面为气浮面，在不同大下加载力的作用下，所述被测组件8的一侧表面与所述导轨3的一侧表面之间的气膜厚度不同，测量出加载力的大小及其对应的气膜厚度就可得到水平方向的气浮轴承的刚度曲线；根据所述被测组件8的大小决定所述龙门架6及加载机构5的数量(要保证所述被测组件8受力均衡)，以选用一个龙门架及两个加载机构为例，所述龙门架6通过其立柱 61上的安装孔611安装在所述平台1的侧表面上，由于所述平台1的侧表面设有多个安装孔11，可根据需要调节所述龙门架6在Z向及Y向的安装位置；所述龙门架6的侧梁7通过所述立柱61上的安装长槽612安装在所述立柱61上，可根据需要调节所述龙门侧梁7在Z 向的安装位置；所述两个加载机构5均夹持在所述侧梁7上，所述两个加载机构5均可在所述侧梁7的安装长槽71内沿所述安装长槽71的长度方向移动，以调整所述加载机构5在 X向的安装位置，确定好所述加载机构5在X向的安装位置后，夹紧所述加载机构5的上安装夹板503和下安装夹板504固定所述加载机构5在X向的安装位置；所述加载机构5的铰链座513的底端压在所述被测组件8的一侧表面上，利用所述加载机构5对所述被测组件8施加水平方向的加载力(施加Y轴方向的加载力，并保证所述被测组件8受到均衡的力的作用)；所述显示仪表4通过数据线分别与所述两个加载机构5的力传感器511连接， 实时显示两个力传感器511的输出信号；首先，在所述被测组件8不工作的情况下(即所述被测组件8还未通气，所述被测组件8的一侧表面与所述导轨3的一侧表面之间还未形成气膜)，旋转所述加载机构5的粗调螺母502对所述被测组件8施加预加载力，预加载力的值可通过所述显示仪表4读出；接着给所述被测组件8通气，在所述被测组件8的一侧表面与所述导轨3的一侧表面之间形成气膜(此时，所述被测组件8的底端面与所述平台1的上表面之间也形成气膜，所述被测组件8的底端面与所述平台1的上表面之间的气膜可避免所述被测组件8与所述平台1 之间的摩擦力对测试的影响，因此，所述被测组件8与所述平台1可视为无摩擦连接)，通过旋转所述加载机构5的微调螺钉501调整加载力的大小，加载力的大小由所述显示仪表 4读出，使用所述电感测微仪测量不同位置、不同加载力下的气膜厚度(所述被测组件8的一侧表面与所述导轨3的一侧表面之间的气膜)，利用获得的一一对应的加载力值和气膜厚度就可得到气浮轴承的刚度曲线；使用两个加载机构时，可根据需要对两个加载机构施加不同大小的力，测试被测组件的扭转刚度；所述加载机构中的粗调弹簧和微调弹簧根据所述被测组件的受力估算值及要求达到的测试分辨率选用合适的弹簧组合。从上述描述可知，本发明气浮轴承的刚度测试装置不仅能检测单个气浮轴承的刚度、组合气浮轴承的刚度，还能检测单个气浮轴承的抗扭转刚度、组合气浮轴承的抗扭转刚度，且操作简单。
权利要求
1.一种气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，包括平台、显示仪表、加载机构和龙门架；被测组件设置在所述平台的上表面上，所述平台的上表面为气浮面，该被测组件与所述平台之间形成气浮轴承；所述龙门架安装在所述平台上；所述加载机构安装在所述龙门架上，对所述被测组件施加加载力；所述显示仪表与所述加载机构连接，该显示仪表实时显示所述加载机构施加的加载力。
2.如权利要求1所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，还包括导轨和导轨定位块；所述导轨通过所述导轨定位块固定设置在所述平台上，所述导轨为气浮导轨； 所述被侧组件的一侧面紧贴所述导轨的侧面时，该被测组件与所述平台和所述导轨之间均形成气浮轴承。
3.如权利要求1或2所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述龙门架包括两根立柱、一横梁和一侧梁；所述横梁的两端分别设置在所述两根立柱的顶端； 所述侧梁的两端分别与所述两根立柱连接； 所述两根立柱分别安装在所述平台的两个相对侧表面上。
4.如权利要求3所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述横梁上设有偏心槽，所述偏心槽用于安装所述加载机构；所述两根立柱上均设有安装长槽，所述安装长槽用于连接所述侧梁；所述侧梁上设有安装长槽，所述安装长槽用于连接所述加载机构。
5.如权利要求3所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述平台的两个相对侧表面上设有多个安装孔，所述安装孔用于连接所述龙门架的立柱。
6.如权利要求5所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述两个立柱上均设有安装孔，所述两个立柱上的安装孔与所述平台的两个相对侧表面上的安装孔相匹配，用于连接所述平台。
7.如权利要求1或2所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述加载机构由上安装夹板和下安装夹板夹持安装在所述龙门架上，包括套筒、粗调螺母、粗调弹簧、顶针、直线轴承、力传感器、关节轴承和铰链座；所述套筒固定安装在所述下安装夹板上；所述粗调螺母穿过所述下安装夹板，该粗调螺母与所述下安装夹板螺纹连接； 所述粗调弹簧设置在所述粗调螺母的底端，所述粗调弹簧以及所述粗调螺母的下部设置在所述套筒内；所述顶针的上部设置在所述粗调螺母和粗调弹簧内，该顶针的轴肩与所述粗调弹簧的底端连接；所述顶针的底端穿过与所述套筒底端连接的直线轴承，连接所述力传感器； 所述关节轴承连接在所述力传感器的底端； 所述铰链座通过铰链销与所述关节轴承连接； 所述加载机构通过所述铰链座与所述被测组件接触施加加载力。
8.如权利要求7所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述加载机构还包括微调螺钉和微调弹簧，所述微调弹簧设置在所述微调螺钉的底端，所述微调螺钉的下部以及微调弹簧的上部设置在所述粗调螺母内，所述微调螺钉与所述粗调螺母螺纹连接，所述顶针的上部穿过所述微调弹簧，该顶针与所述微调弹簧的底端连接。
9.如权利要求8所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述加载机构还包括导向螺钉，所述导向螺钉的一端穿过所述套筒顶在所述顶针的轴肩上。
10.如权利要求1所述的气浮轴承的刚度测试装置，其特征在于，所述显示仪表为多通道显示仪表，该显示仪表通过数据线与所述加载机构的力传感器连接。
全文摘要
本发明的气浮轴承的刚度测试装置包括平台、显示仪表、加载机构和龙门架；被测组件设置在所述平台的上表面上，所述平台的上表面为气浮面，该被测组件与所述平台之间形成气浮轴承；所述龙门架安装在所述平台上；所述加载机构安装在所述龙门架上，对所述被测组件施加加载力；所述显示仪表与所述加载机构连接，该显示仪表实时显示所述加载机构施加的加载力。本发明的气浮轴承的刚度测试装置能测试单个气浮轴承的刚度和组合气浮轴承的刚度，且操作简单。
文档编号G01M13/04GK102455249SQ201010530570
公开日2012年5月16日 申请日期2010年11月3日 优先权日2010年11月3日
发明者朱岳彬, 王茜, 贾海立, 韩良华 申请人:上海微电子装备有限公司