专利名称：射频检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及微电子技术领域，特别涉及一种射频检测装置。
背景技术：
输送射频功率至反应腔已经广泛应用于微电子技术领域，特别在半导体处理系 统用以处理制造集成电路的半导体晶片，在蚀刻与氧化，及化学气相淀积(CVD)等中通 常使用以等离子体为基础的半导体处理。以等离子体为基础的半导体处理典型上是由等 离子体处理系统来进行，且通常会包括一个等离子体反应腔以提供一个受控的设定。而 应用于等离子体反应腔上的射频功率源能将等离子体反应腔的等离子体维持在期望的离 子密度水平。如果射频频率缺失，工艺流程将中断，并且会影响晶圆的厚度、折射率、 浓度，射频发射器发射的射频电流在制程过程中显得尤为重要。因此，射频功率源需要 得到控制和检测。但是目前仅仅当射频发生器不能发送足够的射频能源时，报警器提醒工作人员 检查射频发生系统。而在发送到反应腔前发生射频感应线圈短路时，没有相关的报警装 置提醒工作人员检查射频发生状态，反应腔内的晶圆不能进行正常的工艺流程，甚至完 全跳过化学气相淀积(CVD)这一过程进入下一流程而造成产品报废。
实用新型内容本实用新型是为解决射频线圈在工作过程中容易短路的问题，其目的在于提出 一种射频检测装置。该射频检测装置包括射频感应线圈，该射频感应线圈的输入端与射频发生器连 接，该射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，该射频检测装置还包括控制器、 信号读取器以及线路闸门系统，该控制器分别与射频发生器、信号读取器连接，该线路 闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至该信号读取器。优选地，该线路门闸系统包括第一磁铁、第二磁铁、连接杆、活动元件以及固 定元件，该连接杆的一端与第一磁铁连接，该连接杆的另一端与活动元件连接，该固定 元件与第二磁铁连接，并且该活动元件和固定元件分别连接至该信号读取器。优选地，该射频感应线圈的输入端靠近该线路闸门系统，该第一磁铁与第二磁 铁相互靠近的磁极极性相同，并且该磁极极性与输入端所感应的磁极极性相反。优选地，该活动元件是转动轴。优选地，该控制器通过信号线与射频发生器连接，该控制器发送开启信号给射 频发生器，并且该射频发生器发送反馈信号给控制器。优选地，该控制器通过信号线与信号读取器连接，该信号读取器发送信号给控 制器。该射频检测装置，通过控制器接收到来自射频发生器以及信号读取器发出的信 号，判断射频感应线圈是否短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。并且该射频检测装置简单、制造成本低，适合大规模投入使用。
参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式
以后，将会更清楚地了解本实用新 型的各个方面。其中，图1为射频检测装置结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细描述。在整个描 述中，相同的附图标记表示相同的部件。本实用新型提供的射频检测装置，该装置利用磁极极性相互之间作用的原理， 通过控制器接收到来自射频发生器以及信号读取器发出的信号，判断射频感应线圈是否 短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。克服了射频线圈在工作过程中容易短路以致 工艺流程中断的缺陷。图1为射频检测装置结构示意图。参照图1，射频检测装置100包括射频感应线 圈102，该射频感应线圈102的输入端与射频发生器101连接，该射频感应线圈102的输 出端连接至反应腔室103的喷头104，该射频检测装置100还包括控制器105、信号读取 器106以及线路闸门系统107，该控制器105分别与射频发生器101、信号读取器106连 接，该线路闸门系统107位于射频感应线圈102的一侧并连接至该信号读取器106。该控制器105通过信号线与射频发生器101连接，该控制器105发送开启信号给 射频发生器101，并且该射频发生器101发送反馈信号给控制器105。该控制器105通过信号线与信号读取器106连接，该信号读取器106发送信号给 控制器105。该线路门闸系统107包括第一磁铁108、第二磁铁109、连接杆110、活动元件 111以及固定元件112，该连接杆110的一端与第一磁铁108连接，该连接杆110的另一 端与活动元件111连接，该固定元件112与第二磁铁109连接，并且该活动元件111和固 定元件112分别连接至该信号读取器106。该射频检测装置100简单、制造成本低，适合 大规模投入使用。在该射频检测装置100进行工作时，控制器105发送一个开启信号给射频发生器 101，该射频信号发生器101接受开启信号进入工作状态，并且反馈信号“1”给控制器 105，信号“1”表示射频发生器101已经进入工作状态。射频发生器101发送射频电子 流进入射频感应线圈102的输入端并使射频感应线圈102内流过电流，根据电磁感应原 理，在射频感应线圈102的周围产生磁场。在本实施例中，靠近线路门闸系统107的射 频感应线圈102端磁极为N极。因为该第一磁铁108与第二磁铁109相互靠近的磁极极性相同，并且该磁极极性 与靠近线路闸门系统107的射频感应线圈102端所感应的磁极极性相反。所以在本实施 例中，靠近射频感应线圈102N极端的第一磁铁108端为S极，靠近射频感应线圈102N 极端的第二磁铁109端为S极。第一磁铁108的S极与射频感应线圈102的N极极性相反，因此第一磁铁108与射频感应线圈102之间产生相互吸引的力，第一磁极108通过连接杆110与活动元件111 连接，第一磁极108在受到的吸引力下以活动元件111为中心进行转动，第一磁极108 与第二磁极109接触，使信号读取器106获取信号“1”并将信号“1”发送至控制器 105。信号读取器106获取并发送的信号“1”表示射频能量正常进入反应腔室103的喷 头104。此时，第二磁铁109与射频感应线圈102之间也产生相互吸引的力，但是第二 磁铁109被固定元件112所固定，即使受到吸引力仍然保持原有位置不变。在本实施例 中，该活动元件111是转动轴，本领域的普通技术人员应该理解该活动元件111不仅仅局 限于转动轴，还可以是铰链等用于转动的机械装置。如果射频感应线圈102发生短路，则射频电流终止，射频感应线圈102周围不产 生磁场，第一磁铁108与射频感应线圈102之间不产生相互吸引的力，第一磁铁108不与 第二磁铁109接触，使信号读取器106获取信号“0”并发送至控制器105，控制器105 获取的信号“0”表示射频感应线圈102发生短路以提示人员进行检测。综上所述，在射频发生装置正常工作时，控制器105不仅接受到射频发生器101 反馈的信号“1”，而且还接受到第一磁铁108与第二磁铁109接触后信号读取器106发 出的信号“1”。而当射频发生装置中的射频感应线圈102发生短路时，控制器105接受 到信号读取器106发出的信号“0”提示工作人员射频发生装置中的射频感应线圈102发 生短路。通过控制器105接收到来自射频发生器101以及信号读取器106发出的信号， 判断射频感应线圈102是否短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。克服了射频线圈 在工作过程中容易短路以致工艺流程中断的缺陷。在本实施例中，射频感应线圈102是螺旋线圈，本领域的普通技术人员应该理 解该射频感应线圈102不仅仅是螺旋线圈，还可以是矩形线圈等其它形状的能产生感应 磁场的线圈。另外，在射频发生装置不进行工作时，因为第一磁铁108与第二磁铁109相互靠 近的磁极极性相同，第一磁铁108与第二磁铁109之间有相斥的力，确保第一磁铁108与 第二磁铁109处于初始的分开状态。上文中，参照附图描述了本实用新型的具体实施方式
。但是，本领域中的普通 技术人员能够理解，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以对本实用新型 的具体实施方式
作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书所限 定的范围内。
权利要求1.一种射频检测装置，包括射频感应线圈，所述射频感应线圈的输入端与射频发生 器连接，所述射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，其特征在于，所述射频检 测装置还包括控制器、信号读取器以及线路间门系统，所述控制器分别与所述射频发生 器、所述信号读取器连接，所述线路闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至所述信 号读取器。
2.根据权利要求1所述的射频检测装置，其特征在于，所述线路门闸系统包括第一磁 铁、第二磁铁、连接杆、活动元件以及固定元件，所述连接杆的一端与所述第一磁铁连 接，所述连接杆的另一端与所述活动元件连接，所述固定元件与所述第二磁铁连接，并 且所述活动元件和所述固定元件分别连接至所述信号读取器。
3.根据权利要求2所述的射频检测装置，其特征在于，所述射频感应线圈的输入端靠 近所述线路间门系统，所述第一磁铁与所述第二磁铁相互靠近的磁极极性相同，并且所 述磁极极性与所述输入端所感应的磁极极性相反。
4.根据权利要求2所述的射频检测装置，其特征在于，所述活动元件是转动轴。
5.根据权利要求1所述的射频检测装置，其特征在于，所述控制器通过信号线与所述 射频发生器连接，所述控制器发送开启信号给所述射频发生器，并且所述射频发生器发 送反馈信号给所述控制器。
6.根据权利要求1所述的射频检测装置，其特征在于，所述控制器通过信号线与所述 信号读取器连接，所述信号读取器发送信号给所述控制器。
专利摘要本实用新型提供了一种射频检测装置，包括射频感应线圈，该射频感应线圈的输入端与射频发生器连接，该射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，该射频检测装置还包括控制器、信号读取器以及线路闸门系统，该控制器分别与射频发生器、信号读取器连接，该线路闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至该信号读取器。该射频检测装置，利用磁极极性相互之间作用的原理，通过控制器接收到来自射频发生器以及信号读取器发出的信号，判断射频感应线圈是否短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。并且该射频检测装置简单、制造成本低，适合大规模投入使用。
文档编号G01R31/06GK201796106SQ20102050597
公开日2011年4月13日 申请日期2010年8月26日 优先权日2010年8月26日
发明者许亮 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司