专利名称：检验系统中台面加速期间的扫描的制作方法
检验系统中台面加速期间的扫描相关申请本专利申请要求递交日期为2010年3月18日、序号为61/316887的美国临时专利的优先权，该临时专利通过引用被并入本文。
背景技术：
在检验电气电路(如印刷电路板、半导体晶片等)期间，采用高分辨率的摄像术来检测缺陷。电气电路通常被置于机械台面(以下称作“台面”)上，台面(根据预定的扫描模式)相对于获得电气电路的图像的摄像机移动。可替代地，摄像机可以相对于台面移动。摄像机被连接到帧捕获器。帧捕获器以固定的速率获得图像。控制器发送命令到帧捕获器以开始图像获取以及结束图像获取。图1说明了现有技术中的扫描模式110，其被认为是一种光栅扫描模式。光栅扫描模式包括多个平行于X轴的移动以及在每对X轴移动之间的Y轴移动。光栅扫描模式通过沿着X轴的移动而开始，覆盖电气电路的水平切片(slice)。移动从(当经过标记为130的加速距离时)加速台面直到达到期望速率而开始。当靠近该切片的末端时，台面在经过减速距离140时减速。而后，台面沿Y轴移动，其中沿Y轴的移动对应于该切片的宽度120。之后台面反转X轴移动方向，并且开始沿X轴加速(经过加速距离130)直到其达到稳定速度为止。图2是说明现有技术的扫描方案的时间图。该时间图说明了台面的速率以及X轴扫描的单个往复期间所产生的各种信号。图1说明了一个加速时段(在T191和T494之间)，其中台面的速率以线性方式增加，一个稳定状态时段(在T494和T595之间)，其中台面的速率被维持(作为期望速率)，以及一个减速时段(在T595和T696之间)，其间台面减速。图2进一步说明了控制器产生的开始(START) /停止(STOP)信号，其指示不应忽略摄像机图像数据——因为加速或减速时段期间产生的摄像机图像数据被认为是无效的。即使在加速和减速时段期间帧捕获器也可以产生触发信号一摄像机能够输出摄像机图像数据一但是该数据被忽略掉。当台面达到期望速率时(在T494)，控制器将START信号21输出到帧捕获器，并且当减速时段开始时(在T595)，将END (结束)信号22输出到帧捕获器。现有技术的系统覆盖的扫描范围对应于台面在恒定速度时覆盖的距离170。该距离(170)小于总的X轴移动距离(180)。台面的加速和减速时段(由距离130和140表示) 减少了摄像机的总运行时间。START信号21不同步于触发信号以及摄像机图像数据——因此在START信号21 和有效的摄像机图像数据的接收之间可能存在时间间隙(有效的摄像机图像数据的第一脉冲由41表示)。因此，加速和减速时段期间的摄像机图像数据被忽略，并且在达到恒定速度后存在一个时间间隙。加速时段引起的空闲时间由图2中的线160指示。
发明内容
一种用于获取电气电路的图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。所述方法可以包括基本地改变所述台面的速率，其中基本地改变所述台面的速率包括将所述台面的速率改变至少百分之五十。所述方法可以包括基本地改变所述台面的速率，其中基本地改变所述台面的速率包括在所述移动开始时加速所述台面直到达到期望速率，以及在所述移动结束时使所述台面减速；其中所述方法包括在加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。所述方法可以包括响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述方法可以包括对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述方法可以包括沿第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间由所述编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时， 响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。一种系统包括台面，用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；编码器，其被安排成在所述台面的所述移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；帧捕获器，其被安排成即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离， 所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中，所述摄像机可以被安排成响应于触发信号而获取所述电气电路的区域的图像。所述台面可以被安排成将所述台面的速率改变至少百分之五十。所述台面可以被安排成在所述移动开始时加速直到达到期望速率，以及在所述移动结束时减速；并且其中，所述帧捕获器可以被安排成当所述台面加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。控制器可以被安排成响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。
所述控制器可以被安排成对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。所述台面可以被安排成沿着第二扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；其中所述编码器可以被安排成在所述台面沿所述第二方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；其中所述帧捕获器被安排成即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时，响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中所述摄像机可以被安排成获取所述电气电路的区域的图像。一种用于获取电气电路图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第一期望速率而开始； 在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；基于(a)所述位置信号以及(b)所述第一期望速率的值，由控制器确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，其中当所述加速结束时，所述第一触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的第一图像；由所述触发信号序列触发所述摄像机；以及当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束时，由所述摄像机立即获取所述第一图像，并且只要所述台面沿所述第一扫描方向移动预定的距离，就获得所述电气电路的区域的另外的图像。所述方法可以包括沿着第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第二期望速率而开始；在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间由所述编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；基于 (a)所述位置信号、(b)所述第二期望速率的值以及(c)与所述摄像机获取图像相关的延迟，由所述控制器确定何时产生触发信号组中的初始触发信号，其中当沿着所述第二扫描方向的加速结束时，所述初始触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的初始图像；由所述触发信号组触发所述摄像机；以及当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束时，由所述摄像机立即获取所述初始图像，并且只要所述台面沿所述第二扫描方向移动预定的距离，就获得所述电气电路的区域的另外的图像。一种系统可以包括台面，用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中所述移动从加速所述台面直到达到第一期望速率而开始；编码器，其被安排成在所述台面的所述移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；控制器，其被安排成基于(a)所述位置信号以及(b)所述第一期望速率的值，而确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，以使得当所述加速结束时，所述第一触发信号将立即触发摄像机以便获取所述电气电路的区域的第一图像；帧捕获器，用于通过所述触发信号序列来触发所述摄像机；以及所述摄像机，其中所述摄像机可以被安排成当所述台面的速率被维持时，响应于所述触发信号序列而获取所述电气电路的区域的图像；其中所述摄像机可以被安排成当所述加速结束时立即获取所述第一图像，并且只要所述台面沿所述第一扫描方向移动预定的距离，就获取所述电气电路的区域的另外的图像。
所述台面可以被安排成支撑所述电气电路，并且沿着第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第二期望速率而开始；其中所述编码器可以被安排成在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；其中所述控制器可以被安排成基于(a)所述位置信号以及(b)所述第二期望速率的值，确定何时产生触发信号组中的初始触发信号，其中当沿着所述第二扫描方向的加速结束时，所述初始触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的初始图像；其中所述帧捕获器可以被安排成通过所述触发信号组触发所述摄像机；并且其中所述摄像机可以被安排成当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束时，由所述摄像机立即获取所述初始图像，并且只要所述台面沿所述第二扫描方向移动预定的距离，就获得所述电气电路的区域的另外的图像。
在说明书的结束部分具体指出并明确地主张了本发明的主题。然而，当阅读附图时参考下面的详细描述可以最佳地理解本发明的结构和操作方法及其目的、特征及优点。图1是现有技术的光栅扫描；图2是现有技术的时间图；图3说明了根据本发明的实施例的时间图；图4说明了根据本发明的实施例的时间图；图5说明了根据本发明的实施例的时间图；图6说明了根据本发明的实施例的系统；图7说明了根据本发明的实施例的方法；以及图8说明了根据本发明的实施例的方法。应当理解的是，为了说明的简要和清楚，图中所示的元件不一定按比例绘制。例如，为了清楚，一些元件的尺寸可以相对于其他元件被放大。此外，在合适的地方，图中的参考标记可以重复以指示对应的或类似的元件。
具体实施例方式在下面的详细描述中，给出了许多具体细节以提供对于本发明的充分的理解。然而，本领域技术人员应当理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本发明。在其它的例子中，没有对熟知的方法、过程和组件进行详细描述，以免模糊本发明。在加速和/或减速时段期间的图像获取根据本发明的第一实施例，即使在加速和减速时段期间，或者至少在加速和减速时段的一个期间，摄像机也可以获取图像。这提高了系统的效率和吞吐量。当在一个或多个这些时段期间获取图像时——它们的持续时间可以增加，并且附加地或者可替代地，期望速率可以降低，因为不必仅在稳定状态时段期间来获取所有期望图像。这可以允许采用较低精确度以及较低价格的台面引擎，并且还可以减少系统的覆盖区——因为较少的距离被“浪费”。例如，光栅扫描的范围可以被减小——因为不必为其中不获取图像的加速和减速距离分配空间。
注意，根据本发明的一些实施例，只有在达到一个预定的最小速率之后，才能够获得图像。最小速率非常小，甚至比期望速率小的多。它可以是期望速率的一小部分。非限制性的例子包括期望速率的5%、10%、15%、20%或者25%。可以定义最小速率，诸如与最小摄像机输出速率相一致——如果这样的最小摄像机输出速率存在的话。进一步注意到，可以基于摄像机的最大输出速率来设置期望速率或者期望加速度。图3和4是根据本发明的不同实施例的时间图。图4不同于图3，其具有比图3更长的加速和减速时段。通过使用较便宜的台面引擎，附加地或可替代地，通过使用较低精确度的控制方案，可以获得较长的加速和减速时段——这是由于加速度减小。在加速时段期间——即使当加速时段开始时——控制器将START信号121输出到帧捕获器，如图3和4中所示。尽管可以在加速时段期间的任意时间产生START信号121，但是更接近加速时段的开始产生START信号会提高图像获取的有效性——因为可以获取更多的图像，并且更少的距离被浪费。在减速时段期间——即使当减速时段结束时——控制器将END信号122输出到帧捕获器，如图3和4中所示。尽管可以在减速时段期间的任意时间产生END信号122，但是更接近减速时段的结束产生END信号122会提高图像获取的有效性——因为可以获取更多的图像，并且更少的距离被浪费。通过该方案覆盖的扫描范围对应于距离180，但是有可能略微小一些。预期该扫描范围要大于当台面速率被维持(被固定)时覆盖的距离170。在帧捕获器接收到来自控制器的START信号121之后，其开始发送触发信号(周期性线路请求)130到摄像机，直到其接收到来自于控制器的STOP信号122为止。摄像机响应于每个线路(line)请求(每个触发信号)，依次发送摄像机线路数据40。触发信号使得摄像机在所有时段——包括加速时段、减速时段以及稳定状态时段内获取图像。响应于编码器信号111，产生帧捕获器的触发信号。只要(沿着扫描方向)经过预定的距离，编码器就输出位置信号。例如，只要台面经过一微米的一小部分(例如0.2微米的距离)，编码器就能够产生这样的位置信号。控制器或者帧捕获器能够对位置信号计数， 并且基于放大倍率(或者其他的光学特性)能够确定何时产生触发信号。这种确定可以是响应于图像间的期望距离以及最大摄像机输出速率。图7说明了根据本发明实施例的方法700。方法700从710、720、730和740阶段开始。可以彼此并行地或者以部分重叠的方式执行这些阶段。710阶段包括沿着第一扫描方向移动用于支撑电气电路的台面，其中该移动包括基本地(substantially)改变台面的速率。这种基本地改变超出了速率的波动以及与期望速率的小偏差。它们可以包括加速和减速以及超出速率的一小部分的速率变化。
710阶段可以包括将台面速率基本地改变百分之10、20、30、40、50、60、70、80、90
或者更多。710阶段可以包括在移动开始时加速台面直到达到期望速率，以及在移动结束时使台面减速。710阶段可以包括在加速和减速时触发摄像机以便获得图像。720阶段包括在台面移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第一扫描方向的第一距离的移动。预期连续的位置信号之间的时间差在加速和减速时段期间会改变，而在稳定状态时段期间维持为相同。图3和4不是按比例绘制的，不能够精确地反映这种差异。730阶段包括即使当基本地改变台面的速率时，响应于位置信号而触发摄像机以获取电气电路的区域的图像，以便只要台面沿着第一扫描方向移动预定的距离，摄像机就获取电气电路的区域的图像，而与台面的速率无关。730阶段可以包括对位置信号进行计数，并且每当计数了预定数目的位置信号时 (该数目可以超过5，超过10等等)时产生触发信号，其中该触发信号触发摄像机以获得图像。740阶段包括由摄像机获取电气电路的区域的图像。该区域可以是线，或者具有二维形状。不同的图像可以彼此分隔开、部分重叠，或者彼此精确相邻等等。如果扫描模式包括当台面沿第二扫描方向移动时获取图象，则710-740阶段可以以同样的方式被应用。为了便于解释，图7说明了包括760-790阶段的方法700。760阶段包括沿第二扫描方向移动台面，其中该移动包括基本地改变台面的速率； 其中第二扫描方向不同于第一扫描方向。770阶段包括在台面沿第二扫描方向移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第二扫描方向的第二距离的移动。780阶段包括即使当基本地改变台面沿第二扫描方向的速率时，响应于位置信号而触发摄像机以获取电气电路的区域的图像，以便只要台面沿着第二扫描方向移动预定的距离，摄像机就获取电气电路的区域的图像，而与台面的速率无关。790阶段包括由摄像机获取电气电路的区域的图像。图6说明了根据本发明的实施例的系统300。系统300包括台面；350、编码器320、控制器310、帧捕获器330以及摄像机；340。台面350(示出为具有上盘(upper plate)以及引擎)用以支撑电气电路444并且沿着第一扫描方向(例如，沿着X轴)以及第二扫描方向(其可以与第一扫描方向相反， 或者相对于第一扫描方向而定向——诸如沿着Y轴)移动。该移动包括基本地改变台面的速率。编码器320被示出为具有两个编码器头部321及322。编码器头部321可以安排成在台面移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第一扫描方向(X轴)的第一距离的移动。编码器头部322可以安排成在台面移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第二扫描方向(Y轴)的第二距离的移动。注意到，图1的光栅扫描模式要求监视台面350沿着两个扫描方向的移动，即 “正” X轴方向和“负” X轴方向。这种光栅扫描不采用编码器头部322来触发摄像机340，但是其他模式(包括定向光栅扫描模式)可能需要这样的位置信号。帧捕获器330可以安排成即使当基本地改变台面350的速率时，响应于位置信号而触发摄像机340以获取电气电路444区域(诸如线或其它形状的区域，诸如410)的图像， 以便只要台面350沿着第一扫描方向移动预定的距离，摄像机340就获取电气电路444区域(诸如410)的图像，而与台面350的速率无关。帧捕获器330可以是专用的帧捕获器，或者安排成作为帧捕获器运行的元件(软件和硬件)的任意其他组合一一控制摄像机并从摄像机340获取图像数据。摄像机340可以安排成响应于触发信号而获取电气电路444区域的图像。系统300可以执行图7中的方法700以及图8中的方法800的任意阶段。控制器310可以安排成响应于位置信号并且响应于光学放大信息而产生触发信号，该触发信号触发摄像机340以获得图像。控制器310可以安排成对位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，其中该触发信号触发摄像机以获得图像。台面350可以安排成沿着第二扫描方向移动，其中该移动包括基本地改变台面的速率；其中第二扫描方向不同于第一扫描方向。编码器头部322可以安排成在台面350沿第二方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第二扫描方向的第二距离的移动。帧捕获器330可以安排成即使当基本地改变台面350沿第二扫描方向的速率时， 响应于位置信号而触发摄像机340以获取电气电路444区域的图像，以便只要台面350沿着第二扫描方向移动预定的距离，摄像机340就获取电气电路444区域的图像，而与台面 350的速率无关。摄像机340可以安排成获取电气电路444区域的图像。恰好在加速时段结束时的图像获取根据本发明的第二实施例，触发信号和摄像机数据图像信号与START信号21同步——从而提高了图像获取处理的效率。控制器能够在发出START信号21之前，发出一个预启动信号23。该预启动信号 23指示触发脉冲应当与START信号21同步。预启动信号23能够在START信号21之前的预定时段(例如在START信号21之前的多个整数周期)产生，并允许帧捕获器改变其脉冲的定时——从而与START信号21同步。附加地或可替换地，预启动信号23可以包括指示 START信号21的定时的定时信息。从而帧捕获器能够改变其触发信号。图8说明了根据本发明的实施例的方法800。方法800用于获取电气电路的图像。方法800包括810-850阶段。它们能够以部分重叠的方式执行。810阶段包括沿着第一扫描方向移动用于支撑电气电路的台面，其中该移动从加速该台面直到达到第一期望速率而开始。820阶段包括在台面移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第一扫描方向的第一距离的移动。830阶段包括基于(a)位置信号、(b)第一期望速率的值，由控制器确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，其中当加速结束时，第一触发信号将立即触发摄像机以便获取电气电路的区域的第一图像。830阶段可以包括将预启动信号发送到帧捕获器(或者到摄像机触发信号的任意其他来源)，该预启动信号指示开始(start)信号的定时。该开始信号指示何时达到第一期望速率。840阶段包括由触发信号序列触发摄像机。850阶段包括当台面的速率被维持时，由摄像机获取电气电路的区域的图像。当加速结束时，由摄像机立即获取第一图像，并且只要台面沿第一扫描方向移动预定的距离，就获得电气电路的区域的另外的图像。只要台面沿其他扫描方向移动，上面提到的阶段就可以被执行。这由860-890阶段说明。860阶段包括沿着第二扫描方向移动该台面，其中该移动从加速该台面直到达到第二期望速率而开始。865阶段包括在台面沿第二扫描方向移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第二扫描方向的第二距离的移动。870阶段包括基于(a)位置信号、(b)第二期望速率的值，由控制器确定何时产生触发信号组中的初始触发信号，其中当沿着第二扫描方向的加速结束时，初始触发信号将立即触发摄像机以便获取电气电路的区域的初始图像。870阶段可以包括将预启动信号发送到帧捕获器(或者到摄像机触发信号的任意其他来源)，该预启动信号指示开始信号的定时。该开始信号指示何时达到第二期望速率。880阶段包括由触发信号组触发摄像机。890阶段包括当台面的速率被维持时，由摄像机获取电气电路的区域的图像；其中当加速结束时，由摄像机立即获取初始图像，并且只要台面沿第二扫描方向移动预定的距离，就获得电气电路的区域的另外的图像。该方法可以由图6中的系统300执行。台面350用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中该移动从加速该台面直到达到第一期望速率而开始。编码器320可以安排成在台面移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第一扫描方向的第一距离的移动。控制器310被安排成基于(a)位置信号、(b)第一期望速率的值，确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，以使得当加速结束时，第一触发信号将立即触发摄像机以便获取电气电路的区域的第一图像。控制器310能够产生预启动信号到帧捕获器(或者到摄像机触发信号的任意其他来源)，该预启动信号指示开始信号的定时。该开始信号指示何时达到第一期望速率。帧捕获器330用于通过触发信号序列来触发摄像机。摄像机340可以安排成当台面的速率被维持时，响应于触发信号序列而获取电气电路的区域的图像；其中该摄像机可以安排成当加速结束时立即获取第一图像，并且只要台面沿第一扫描方向移动预定的距离，就获取电气电路的区域的另外的图像。当扫描第二扫描方向时，系统300能够应用所述的任意阶段。台面350可以安排成支撑电气电路，并且沿着第二扫描方向移动该台面，其中该移动从加速该台面直到达到第二期望速率而开始。编码器322可以安排成在台面沿第二扫描方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着第二扫描方向的第二距离的移动。在任意一个实施例中，第二期望速率可以不同于第一期望速率，或者等于第一期望速率，第二距离可以不同于第一距离或者等于第一距离。 虽然这里已经描述和说明了本发明的某些特征，但是对于本领域技术人员来说， 可以进行多种修改、置换、改变或等同替换。因此，应当理解，所附的权利要求意图覆盖落入本发明的实质精神内的所有此类修改和改变。
权利要求
1.一种用于获取电气电路的图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。
2.根据权利要求1所述的方法，其中基本地改变所述台面的速率包括将所述台面的速率改变至少百分之五十。
3.根据权利要求1所述的方法，其中基本地改变所述台面的速率包括在所述移动开始时加速所述台面直到达到期望速率，以及在所述移动结束时使所述台面减速；其中所述方法包括在加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。
4.根据权利要求1所述的方法，包括响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。
5.根据权利要求1所述的方法，包括对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。
6.根据权利要求1所述的方法，包括沿第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间由所述编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时，响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。
7.一种系统，包括台面，用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；编码器，其被安排成在所述台面的所述移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；帧捕获器，其被安排成即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中，所述摄像机被安排成响应于触发信号而获取所述电气电路的区域的图像。
8.根据权利要求7所述的系统，其中所述台面被安排成将所述台面的速率改变至少百分之五十。
9.根据权利要求7所述的系统，其中所述台面被安排成在所述移动开始时加速直到达到期望速率，以及在所述移动结束时减速；并且其中，所述帧捕获器被安排成当所述台面加速和减速时触发所述摄像机以便获得图像。
10.根据权利要求7所述的系统，包括控制器，所述控制器被安排成响应于所述位置信号以及响应于光学放大信息而产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。
11.根据权利要求10所述的系统，其中所述控制器被安排成对所述位置信号进行计数，并且每当计数了至少十个位置信号时产生触发信号，所述触发信号触发所述摄像机以获得图像。
12.根据权利要求7所述的系统，其中所述台面被安排成沿着第二扫描方向移动，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；其中所述第二扫描方向不同于所述第一扫描方向；其中所述编码器被安排成在所述台面沿所述第二方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；其中所述帧捕获器被安排成即使当基本地改变所述台面沿所述第二扫描方向的速率时，响应于所述位置信号而触发所述摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第二扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；并且其中所述摄像机被安排成获取所述电气电路的区域的图像。
13.一种用于获取电气电路图像的方法，所述方法包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第一期望速率而开始；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；基于(a)所述位置信号以及(b)所述第一期望速率的值，由控制器确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，其中当所述加速结束时，所述第一触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的第一图像；由所述触发信号序列触发所述摄像机；以及当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束时，由所述摄像机立即获取所述第一图像，并且只要所述台面沿所述第一扫描方向移动预定的距离，就获得所述电气电路的区域的另外的图像。
14.根据权利要求13所述的方法，包括沿着第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第二期望速率而开始；在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间由所述编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；基于(a)所述位置信号、(b)所述第二期望速率的值以及(c)与所述摄像机获取图像相关的延迟，由所述控制器确定何时产生触发信号组中的初始触发信号，其中当沿着所述第二扫描方向的加速结束时，所述初始触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的初始图像；由所述触发信号组触发所述摄像机；以及当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束时，由所述摄像机立即获取所述初始图像，并且只要所述台面沿所述第二扫描方向移动预定的距离，就获得所述电气电路的区域的另外的图像。
15.一种系统，包括台面，用于支撑电气电路并且沿着第一扫描方向移动，其中所述移动从加速所述台面直到达到第一期望速率而开始；编码器，其被安排成在所述台面的所述移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；控制器，其被安排成基于(a)所述位置信号以及(b)所述第一期望速率的值，而确定何时产生触发信号序列中的第一触发信号，以使得当所述加速结束时，所述第一触发信号将立即触发摄像机以便获取所述电气电路的区域的第一图像；帧捕获器，用于通过所述触发信号序列来触发所述摄像机；以及所述摄像机，其中所述摄像机被安排成当所述台面的速率被维持时，响应于所述触发信号序列而获取所述电气电路的区域的图像；其中所述摄像机被安排成当所述加速结束时立即获取所述第一图像，并且只要所述台面沿所述第一扫描方向移动预定的距离，就获取所述电气电路的区域的另外的图像。
16.根据权利要求15所述的系统，其中所述台面被安排成支撑所述电气电路，并且沿着第二扫描方向移动所述台面，其中所述移动从加速所述台面直到达到第二期望速率而开始；其中所述编码器被安排成在所述台面沿所述第二扫描方向移动期间产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第二扫描方向的第二距离的移动；其中所述控制器被安排成基于(a)所述位置信号以及(b)所述第二期望速率的值，确定何时产生触发信号组中的初始触发信号，其中当沿着所述第二扫描方向的加速结束时， 所述初始触发信号将立即触发所述摄像机以便获取所述电气电路的区域的初始图像； 其中所述帧捕获器被安排成通过所述触发信号组触发所述摄像机；并且其中所述摄像机被安排成当所述台面的速率被维持时，由所述摄像机获取所述电气电路的区域的图像；其中当所述加速结束时，由所述摄像机立即获取所述初始图像，并且只要所述台面沿所述第二扫描方向移动预定的距离，就获得所述电气电路的区域的另外的图像。
全文摘要
一种系统和方法。该方法用于获得电气电路的图像，并且包括沿着第一扫描方向移动用于支撑所述电气电路的台面，其中所述移动包括基本地改变所述台面的速率；在所述台面的所述移动期间由编码器产生位置信号，其中每个位置信号指示沿着所述第一扫描方向的第一距离的移动；即使当基本地改变所述台面的速率时，响应于所述位置信号而触发摄像机以获取所述电气电路的区域的图像，以便只要所述台面沿着所述第一扫描方向移动预定的距离，所述摄像机就获取所述电气电路的区域的图像，而与所述台面的速率无关；以及由摄像机获取所述电气电路的区域的图像。
文档编号G01N21/88GK102262094SQ20111009617
公开日2011年11月30日 申请日期2011年3月18日 优先权日2010年3月24日
发明者D·泽维, E·特里古卜, Y·库利克 申请人:康代有限公司