专利名称：探针组合体的制作方法
技术领域：
本发明涉及在液晶显示面板那样的平板状被检查体的电气试验中使用的探针组合体。
背景技术：
作为在液晶显示面板那样的平板状被检查体的电气试验中所使用的探针组合体之一，有专利文献1中所记载的探针组合体。专利文献1中所记载的探针组合体包括支承片；多个探针，各探针具有自带状的安装区域的前后方向(Y方向)的各端部进一步向顶端侧或者后端侧延伸的针尖区域，在支承片的下侧，以安装区域的宽度方向(Z方向)成为上下方向的状态，使安装区域相对地并列配置该多个探针；细长的支承杆，其沿这些探针的安装区域的厚度方向(X方向)贯穿这些探针的安装区域地延伸，并在两端部被支承片支承；一对狭缝杆(Slit bar)，其配置在支承片上而沿探针的排列方向(X方向)延伸。各狭缝杆具有在狭缝杆的长度方向(X方向)上隔开间隔地沿前后方向延伸且向下方开放的多个狭缝。支承杆的长度方向的端部容纳于板状的侧盖中，该板状的侧盖被螺纹固定在块的探针排列方向上的各端部上。由此，利用支承杆和侧盖将探针组装在支承片上。各探针在其一表面上具有覆盖该表面的一部分的绝缘膜，另外，将各针尖区域的顶端侧的针尖区域的顶端部向下方弯曲而将该顶端作为按压到被检查体的电极上的针尖。 探针的顶端侧和后端侧的针尖区域的一部分分别容纳于一个和另一个的狭缝杆的狭缝中。 由此，防止各探针的针尖区域在狭缝杆的长度方向上位移，防止在左右方向上相邻的探针接触。但是，从机械强度的关系上来说，缩小狭缝杆的狭缝的间距有限。然而，在上述以往的探针组合体中，将全部的探针的针尖区域容纳在单一的狭缝杆的狭缝中，因此必须在狭缝杆上设置与探针的数量相同数量的狭缝。因此，在上述以往的探针组合体中，无法在狭缝杆上形成窄间距的狭缝，因而无法以窄间距配置探针。专利文献1 日本特开2007-303969号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供一种无需缩小狭缝杆的狭缝的间距就能够以窄间距配置探针的探针组合体。本发明的探针组合体包括支承片；多个探针，该探针具有带状的安装区域和自该安装区域的顶端进一步向前方延伸的前部针尖区域，在上述支承片的下侧，以上述安装区域的宽度方向成为上下方向的状态，使上述安装区域相对并在左右方向上隔开间隔地并列配置该多个探针；第1狭缝杆，其配置在上述支承片的顶端部下侧，并具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝；以及第2狭缝杆，其具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝，该第2狭缝杆以上述第2狭缝相对于上述第1狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在上述第1狭缝杆上。上述多个探针包括多个第1探针和多个第2探针，该第1探针的上述前部针尖区域的至少一部分容纳于上述第1狭缝中，该第2探针配置于在左右方向上相邻的上述第1 探针之间，并该第2探针的上述前部针尖区域的至少一部分容纳于上述第2狭缝中。也可以是，上述第1狭缝和上述第2狭缝分别沿前后方向延伸，并且向前后方向上的一侧和另一侧进一步开放。也可以是，上述第1探针的前部针尖区域包括自上述安装区域的顶端部向前方延伸的、一部分容纳于上述第1狭缝中的顶端区域；以及自该顶端区域的顶端部向下方延伸的顶端针尖，上述第2探针的前部针尖区域包括自上述安装区域的顶端部向前方延伸的顶端区域；自该顶端区域向上方突出而沿前后方向延伸的、一部分容纳于上述第2狭缝中的板状的第1突片部；以及自上述顶端区域的顶端部向下方延伸的顶端针尖。也可以是，本发明的探针组合体还包括第3狭缝杆和第4狭缝杆，该第3狭缝杆配置在上述支承片的后端部下侧，并具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第3狭缝，该第4狭缝杆具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第4狭缝，并该第4狭缝杆以上述第4狭缝相对于上述第3狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在上述第3 狭缝杆上。在该情况下，上述探针还具有自上述安装区域的后端进一步向后方延伸的后部针尖区域，上述第1探针和上述第2探针中的任意一者的上述后部针尖区域的至少一部分容纳于上述第3狭缝中，上述第1探针和上述第2探针中的另一者的上述后部针尖区域的至少一部分容纳于上述第4狭缝中。也可以是，上述第3狭缝和上述第4狭缝分别沿前后方向延伸，并且向前后方向上的一侧和另一侧进一步开放。也可以是，上述第1探针和上述第2探针的各后部针尖区域包括自上述安装区域的后端部向后方延伸的后端区域；以及自该后端区域的顶端部向上方延伸的后端针尖。也可以是，上述第1探针和上述第2探针的各后部区域还包括板状的第2突片部， 该第2突片部自上述后端区域向上方突出并且沿前后方向延伸，并该第2突片部的一部分容纳于上述第3狭缝或上述第4狭缝中。也可以是，本发明的探针组合体还包括一对杆构件，其以沿上述第1探针和上述第2探针的上述安装区域的在长度方向上隔开有间隔的部位的厚度方向贯穿该部位的方式延伸；以及板状的侧盖，其用于容纳该杆构件的长度方向的端部，并能够拆卸地安装在上述支承片的侧部上。在本发明的探针组合体中，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1 狭缝的第1狭缝杆配置在支承片的顶端部下侧，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝的第2狭缝杆以该第2狭缝相对于第1狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在第1狭缝杆上，使第1和第2狭缝杆的前部针尖区域的至少一部分分别位于第 1和第2狭缝中。因此，由于只要在第1和第2狭缝杆上分别设置具有与第1和第2探针的数量相同数量的第1和第2狭缝即可，所以无需缩小各狭缝杆的狭缝的间距。结果，能够不导致相邻的第1和第2探针彼此产生电气干扰地以窄间距配置探针。
图1是表示采用了本发明的探针组合体的探针单元的一例的俯视图；图2是将图1所示的探针组合体分解而表示的分解立体图；图3是自下方观察到的图1所示的探针组合体的立体图；图4是自前方观察到的图1所示的探针组合体的图；图5是自后方观察到的图1所示的探针组合体的图；图6是沿图4的6-6线截取得到的放大剖视图；图7是图6的A部分的放大图；图8是图6的B部分的放大图；图9的㈧是表示在图1所示的探针组合体中所采用的第1探针的一实施例的图， (B)是表示在图1所示的探针组合体中所采用的第2探针的一实施例的图。
具体实施例方式关于术语在本发明中，在图1中，将上下方向称为上下方向或者Z方向，将左右方向称为以探针的顶端针尖一侧作为前方的前后方向或者Y方向，将纸背方向称为左右方向或者X方向。但是，上述方向根据被工件台那样的面板接收部所接收的被检查体的姿势而不同。因此，探针单元以本发明中所说的上下方向(Z方向)实际上成为上下方向的状态、成为上下颠倒的状态、成为倾斜的方向的状态等成为任一方向的状态安装在试验装置上而使用。探针单元的实施例参照图1，探针单元10用于对在图1、6及7中表示一部分的被检查体12进行被检查体12的点灯检查。被检查体12具有长方形的形状，另外，至少在与长方形的相邻的两个边相对应的边缘部上以预定的间距形成有多个电极14。各电极14具有沿与配置有该电极的边缘部正交的方向(X方向或者Y方向)延伸的带状的形状。探针单元10包括安装在主体架(未图示)上的板状的探针座16、以沿左右方向延伸的状态配置在探针座16的前端部上侧的支承台18、在左右方向上隔开间隔地载置于支承台18上的多个探针装置20 (在图1中示出1个)、配置在探针座16之上的板状的中继座22以及载置在中继座22上的中继基板M。以使探针座16沿配置有被检查体12的电极14的1个边缘部的长度方向(在图示的例中为左右方向)延伸的状态和厚度方向成为上下方向的状态，将探针座16直接或者借助板状座那样的适宜的构件安装到试验装置的上述主体架上。支承台18利用沿左右方向延伸的板状的主体部18a和自主体部18a的左右方向上的端部向下方延伸的一对腿部18b、18b而形成为门形的正面形状。由此，支承台18具有向前方、后方和下方开放的空间26(参照图1)。支承台18被从下方朝上方贯穿探针座16 的左右方向上分开的部位而与腿部18b螺纹接合的一对螺纹构件(未图示)安装在探针座 16之上。在图示的例子中，支承台18被多个探针装置20共用。因而，探针装置20在左右方向上分开地安装在主体部18a之上。但是，也可以每1个、每两个或者每3个探针装置20 设置1个支承台18。各探针装置20包括探针组合体30、用于支承探针组合体30的支承块32、用于支承支承块32的连结块34、支承在支承块32的下侧的结合块36、配置在支承块32与结合块 36之间而安装在支承块32的下侧的连接块38。如图2至图8所示，探针组合体30将利用导电性材料制成的多个第1探针40和多个第2探针42以在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的状态交替配置在一对狭缝杆组合体46、48上。狭缝杆组合体46、48在前后方向上隔开间隔地组装在块状的支承片44 的下侧。一对杆构件50、50和另一杆构件52以贯通状态贯穿第1探针40和第2探针42。 利用杆构件50、50、52、容纳有这些杆构件的各端部的板状的侧盖M和位于侧盖M的外侧的板状的另一侧盖56将第1探针40和第2探针42组装在支承片44上。如图9的(A)和⑶所示，第1探针40和第2探针42设为刀片型的针，该刀片型的针包括呈矩形的板状的针主体部、即安装区域58a ；自安装区域58a的前端向前方以悬臂梁状一体地延伸的顶端区域58b ；自安装区域58a的后端向后方以悬臂梁状一体地延伸的后端区域58c ；自顶端区域58b的顶端向下方一体地延伸的顶端针尖58d ；以及自后端区域58c的后端向上方一体地延伸的后端针尖58e。第2探针42还具有自顶端区域58b向上方突出并且沿前后方向延伸的板状的突片部58h。第1探针40和第2探针42还具有自后端区域58c向上方突出并且沿前后方向延伸的板状的突出片部58i。顶端区域58b和后端区域58c具有比安装区域58a的宽度尺寸小的宽度尺寸，并且自安装区域58a的对应的顶端下部或后端下部以悬臂梁状延伸。顶端针尖58d和后端针尖58e形成为三角形而顶部尖锐。第1探针40和第2探针42分别在安装区域58a的中间部具有供杆构件50、50贯穿的圆形的两个通孔58f、58f，并且在安装区域58a的前部具有供杆构件52贯穿且比通孔 58f小的圆形的通孔58g。支承片44由具有电绝缘性的陶瓷、合成树脂等制成，另外，具有向下方、左侧和右侧开放的凹部60 (参照图2)。位于前方的狭缝杆组合体46包括配置在支承片44的顶端部下侧的第1狭缝杆62 和配置在第1狭缝杆62的下侧的第2狭缝杆64。关于第1狭缝杆62和第2狭缝杆64，分别利用具有电绝缘性的陶瓷、合成树脂等而制成为具有T字形和倒L字形的截面形状的形状。如图4、图6、图7所示，第1狭缝杆62具有在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的多个第1狭缝66，第2狭缝杆64具有在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的多个第2狭缝68。第1狭缝66和第2狭缝68分别向前后方向两侧和下方开放。利用螺纹固定、粘接等适宜的方法将第1狭缝杆62安装在支承片44的顶端部下侧。利用螺纹固定、粘接等适宜的方法，第2狭缝杆64以第2狭缝68相对于第1狭缝66 沿左右方向偏移1/2间距并且位于后方的方式安装在第1狭缝杆62的下侧。位于后方的狭缝杆组合体48包括配置在支承片44的后端部下侧的第3狭缝杆72 ；配置在第3狭缝杆72的下侧的第4狭缝杆74。利用具有电绝缘性的陶瓷、合成树脂等将第3狭缝杆72和第4狭缝杆74制作成具有倒L字形的截面形状的形状。如图5至图8所示，第3狭缝杆72和第4狭缝杆74分别具有在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的多个第3狭缝76和多个第4狭缝78。第3狭缝76和第4狭缝 78分别向前后方向两侧和下方开放。利用螺纹固定、粘接等适宜的方法将第3狭缝杆72安装在支承片44的后端部下侧。利用螺纹固定、粘接等适宜的方法，以使第4狭缝78相对于第3狭缝76沿左右方向偏移1/2间距并且位于前方的方式将第4狭缝杆74安装在第3狭缝杆72的下侧。杆构件50、50、52在图示的例子中具有圆形的截面形状，另外由陶瓷那样的硬质的电绝缘性材料形成。但是，这些杆构件50、50、52也可以是用电绝缘性的材料包覆导电性的材料而成的，另外也可以具有矩形、六边形等多边形那样的其他横截面形状。各杆构件50贯穿探针40、42的通孔58f，并且各杆构件50的端部容纳于设在内侧的侧盖M上的孔Ma(参照图2)中而被该侧盖M支承。杆构件52也贯穿探针40、42的通孔58g，并且杆构件M的各端部容纳于设在内侧的侧盖M上的通孔54b (参照图2)中而被该侧盖讨支承。以安装区域58a的厚度方向成为左右方向且顶端针尖58d和后端针尖58e分别自支承片44向前方和后方突出的状态，第1探针40和第2探针42并列配置在狭缝杆组合体 46,48上。第1探针40和第2探针42在左右方向上交替。使第1探针40的顶端区域58b、突片部58i与第1狭缝杆62的狭缝66、第3狭缝杆72的狭缝76相配合，使第2探针42的突片部58h、58i与第2狭缝杆64的狭缝68、第4 狭缝杆74的狭缝78相配合。但是，关于第1探针40和第2探针42，既可以均使顶端区域58b、后端区域58c与对应的狭缝相配合，也可以在第1探针40上也设置突片部5 而使该突片部5 与对应的狭缝相配合。因此，探针的包含与狭缝相配合的部位的区域作为前部针尖区域或后部针尖区域而起作用。如上所述，探针如下对齐以安装区域58a的宽度方向成为上下方向且安装区域 58a相对的状态，在探针的厚度方向上隔开间隔地并列。因此，相邻的探针的安装区域58a 的通孔58f彼此直线对准。用电绝缘材料或者导电性材料将侧盖M、56制作成板状。如图2所示，位于内侧的各侧盖讨在通孔Ma、Ma、Mb中容纳贯穿于探针的通孔58f、58f、58g的杆构件50、50、 52的端部，以使探针可位移的方式支承探针。利用螺栓那样的销状的多个螺纹构件75和与该螺纹构件75螺纹接合的螺母(未图示)将侧盖54、56可拆卸地安装在支承片44的左右方向上的侧面上，多个螺纹构件75 贯穿这些侧盖M、56和支承片44的在前后方向上隔开间隔的部位而到达另一侧的侧盖M、 56 (参照图1和3)。结果，利用杆构件50、50、52、侧盖M、56、螺纹构件75将第1探针40、第2探针42 可分离地组装到支承片44上，对左右方向和前后方向的位置进行定位。如图7所示，第1狭缝杆62的一部分作为向后方突出的凸部80而起作用，另外， 各探针为了容纳凸部80而在前端部具有向前方开放的凹部82。凹部82具有！字形的截面形状，并且与凸部80相配合。凸部80具有位于下方侧的朝下边缘部80a和位于上方侧的朝上边缘部80b，凹部 82具有位于下方侧的朝上边缘部8 和位于上方侧的朝下边缘部82b。凹部82的朝上边缘部82a的高度位置高于凹部82的里部的高度位置。由此，在凹部82的里底部下侧形成有附加性的凹部82c。凸部80和凹部82彼此配合，并且杆构件50、50、52贯穿通孔58f、58f、58g，而且顶端区域58b、后端区域58c或突片部5 (58 )与狭缝66、68、76、78相配合，各探针以该状态被配置到狭缝杆组合体46或狭缝杆组合体48上。另外，这种狭缝杆组合体46、48以上述方式组装到支承片44上，并且侧盖M、56 以上述方式组装到支承片44上，由此各探针组装到支承片44上而被保持。在附图中，以在左右方向上隔开较大间隔的方式示出相邻的探针，但实际上探针的排列间距较小。探针的数量、厚度尺寸和排列间距、以及狭缝杆的狭缝的数量、配置间距和宽度尺寸根据被检查体的种类尤其是电极的配置间距和宽度尺寸而不同。可将两狭缝杆组合体46、48以上述状态安装到支承片44上，将各探针的顶端区域 58b和后端区域58c插入到狭缝杆的对应的狭缝中，并且使凸部80与凹部82相配合，使杆构件50、50、52分别贯穿探针和侧盖的通孔，之后用螺纹构件75将侧盖M、56安装到支承片44上，由此装配探针组合体30。再次参照图1，利用板状的两个支承部32a、32b而将支承块32制作成L字形的截面形状。利用安装在支承台18上的主体部3 和自主体部34a的上部向前方延伸的延长部34b使连结块34具有倒L字形的形状。利用自上方向下方贯穿支承块32的支承部32b而与支承片44螺纹接合的螺纹构件那样的适宜的结合件84将支承片44组装到支承块32的下侧，由此探针组合体30被保持在支承块32的下侧。利用在左右方向上隔开间隔地沿上下方向延伸的一对导轨86和在两导轨86之间沿上下方向延伸的引导件88将支承块32沿上下方向可移动地连结在连结块34的主体部 34a的前表面上，并且利用螺栓90，可调整上下方向的位置地将支承块32连结在连结块34 的延长部34b上。两导轨86和引导件88分别是直线轨(linear rail)和直线引导件(linear guide)。两导轨86安装在支承块32的支承部32a的后端表面上。相对于此，以使两导轨 86能够相对于引导件88沿上下方向移动的方式将引导件88配置在左右方向上的两导轨 86之间，而且将引导件88安装在连结块34的主体部3 的前端表面上。螺栓90自上方向下方贯穿连结块34的延长部34b，而且与形成于支承块32上的螺纹孔(未图示)螺纹接合。利用在左右方向上隔开间隔地配置的一对压缩螺旋弹簧 92 (在图中示出其中1个)向下方偏置支承块32。以沿上下方向贯穿连结块34的延长部34b的状态，将压缩螺旋弹簧92配置在利用多个螺纹构件(未图示)安装在连结块34的延长部34b之上的板状的弹簧压件94和支承块32的支承部3 之间。由此，通过调整螺栓90旋入连结块34的延长部34b的旋入量， 能够调整支承块32甚至探针组合体30的高度位置。弹簧压件94具有通孔94a，将螺丝刀那样的工具的顶端部自上方插入到该通孔9 来调整螺栓90的旋转量。由此，无需将弹簧压件94自连结块34拆卸就能够调整支承块32甚至探针组合体30的高度位置，所以这种高度位置的调整作业变得容易。利用自上方向下方贯穿连结块34的主体部3 而与支承台18的主体部18a螺纹接合的多个螺栓(未图示)，将连结块34可拆卸地安装在支承台18上。以厚度方向成为上下方向的状态，利用未图示的多个螺纹构件将中继座22安装在探针座16之上。中继基板M是具有分别与探针装置20的探针相对应的多个配线(未图示)的布线基板。利用按照每个探针装置20设置的电连接器96对中继基板M的配线与对应的探针进行电连接。连接块38在支承块32的下侧沿左右方向延伸，而且位于结合块36的后端部和支承块32之间。利用在左右方向上隔开间隔的多个螺纹构件(未图示)将连接块38可分离地安装在支承块32的下侧。电连接器96包括沿前后方向延伸的多个配线，而且具有自探针装置20向后方延伸的薄片状的第1布线区域96a、自第1布线区域96a向后方延伸的薄片状的第2布线区域 96b。第1布线区域96a和第2布线区域96b分别具有在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的多个第1配线98a(参照图3、6、8)和多个第2配线(未图示)。第1布线区域96a设为挠性印刷电路(FPC)、板片(TAB)、或者组合它们而成的复合电路薄片，另外，第2布线区域设为挠性印刷电路(FPC)。第1布线区域96a位于结合块 36的下侧，另外，将用于对被检查体12进行驱动的集成电路100(参照图1)配置在中间区域，而且使该集成电路100在结合块36的下侧向后方延伸。如图6、8所示，第1布线区域96a的前端部以第1配线98a的顶端部向下方暴露的状态保持在结合块36的下表面上。由此，在装配有探针装置20的状态下，各探针的后端针尖58e按压到第1配线98a的顶端部上而进行电连接。如图1所示，第1布线区域96a在结合块36的后端部向上方和前方折回成横U字形，由此以第1配线96a的后端部向上方暴露的状态，第1布线区域96a的后端部保持在结合块36的上表面上。如图1所示，以第2布线区域96b的顶端部位于第1布线区域96a的折回部的上方的状态、以及以第2布线的顶端部成为下方的状态，第2布线区域96b的顶端部保持在连接块38的下表面上。由此，在装配有探针装置20的状态下，第1配线98a的后端部和第2 配线的前端部彼此按压而进行电连接。第2布线区域96b自连接块38的后端和探针座16的前端之间向探针座16的上侧导出，而且穿过支承台18的空间26，并在探针座16的之上向后方延伸。第2布线区域96b利用设在其后端的连接器102(参照图1)与中继基板M相结合。连接器102具有经由电连接器96的配线与对应的探针装置20的探针相连接的多个端子。这些端子连接于中继基板M的上述配线。中继基板对的配线连接于产生试验信号的电路(未图示)。试验信号自这种电路经由电连接器96供给到探针，使被检查体12驱动(点亮)。对探针组合体30和电连接器96的更换可以在将结合块36自支承块32分离开的状态下进行。对探针40、42的更换可以在将探针组合体30自结合块36分离开的状态下进行。对电连接器96的更换可以在将结合块36自支承块32分离开并将连接块38自支承块32分离开的状态下进行。在探针单元10上，探针装置20借助具有向前方、后方和下方开放的空间的支承台 18支承在探针座16上。因此，无需在探针座16上设置配线通孔就能够将电连接器96的后部侧的区域向探针座16的上侧导出，并且以经由支承台18的空间沈的方式延伸。结果， 第1布线区域96a和第2布线区域96b的配线的电气有效长度尺寸缩短，与其相应地降低信号的衰减量，能够将有效的试验信号供给到被检查体12。在探针组合体30中，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝66 的第1狭缝杆62配置在支承片44的顶端部下侧，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝68的第2狭缝杆64以使该第2狭缝68相对于第1狭缝66位于左右方向和前后方向上的方式配置在第1狭缝杆62上，使第1探针40和第2探针42的前部针尖区域的至少一部分分别位于第1狭缝66和第2狭缝68中。因此，由于只要在第1狭缝杆62和第2狭缝杆64上分别设置与第1探针40和第 2探针42的数量相同数量的第1狭缝66和第2狭缝68即可，所以不必缩小各狭缝杆的狭缝的间距。结果，能够不导致相邻的第1探针40和第2探针42彼此产生电气干扰，能够以窄间距配置探针。关于各探针的后端侧，也只要如上述那样设置两个狭缝杆72、74，使各探针40、42 的后部针尖区域的至少一部分分别位于对应的狭缝76、78中，就能够获得与各探针的顶端侧相同的上述效果。但是，也可以在第1布线区域96a中设置用于容纳各探针的后端针尖58e的导向膜(guide film)104(参照图8)。另外，也可以通过使用这种导向膜104，而省略狭缝杆72、 74。产业上的可利用性本发明不仅适用于液晶显示面板，还可以适用于在采用了多个发光元件或光接收元件的显示面板那样的其他平板状被检查体的电气试验中使用的探针组合体。本发明不限于上述实施例，只要不脱离权利要求书中记载的主旨，就可以进行各种变更。
权利要求
1.一种探针组合体，包括支承片；多个探针，该探针具有带状的安装区域和自该安装区域的顶端进一步向前方延伸的前部针尖区域，在上述支承片的下侧，以上述安装区域的宽度方向成为上下方向的状态，使上述安装区域相对并在左右方向上隔开间隔地并列配置该多个探针；第1狭缝杆，其配置在上述支承片的顶端部下侧，并具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝；以及第2狭缝杆，其具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝，该第2狭缝杆以上述第2狭缝相对于上述第1狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在上述第1 狭缝杆上；上述多个探针包括多个第1探针和多个第2探针，该第1探针的上述前部针尖区域的至少一部分容纳于上述第1狭缝中，该第2探针配置于在左右方向上相邻的上述第1探针之间，并该第2探针的上述前部针尖区域的至少一部分容纳于上述第2狭缝中。
2.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，上述第1狭缝和上述第2狭缝分别沿前后方向延伸，并且向前后方向上的一侧和另一侧进一步开放。
3.根据权利要求1或2所述的探针组合体，其中，上述第1探针的前部针尖区域包括自上述安装区域的顶端部向前方延伸的、一部分容纳于上述第1狭缝中的顶端区域；以及自该顶端区域的顶端部向下方延伸的顶端针尖，上述第2探针的前部针尖区域包括自上述安装区域的顶端部向前方延伸的顶端区域；自该顶端区域向上方突出并沿前后方向延伸的、一部分容纳于上述第2狭缝中的板状的第1突片部；以及自上述顶端区域的顶端部向下方延伸的顶端针尖。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针组合体，其中，上述探针组合体还包括第3狭缝杆和第4狭缝杆，该第3狭缝杆配置在上述支承片的后端部下侧，并具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第3狭缝，该第4狭缝杆具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第4狭缝，并该第4狭缝杆以上述第4狭缝相对于上述第3狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在上述第3狭缝杆上，上述探针还具有自上述安装区域的后端进一步向后方延伸的后部针尖区域，上述第1探针和上述第2探针中的任意一者的上述后部针尖区域的至少一部分容纳于上述第3狭缝中，上述第1探针和上述第2探针中的另一者的上述后部针尖区域的至少一部分容纳于上述第4狭缝中。
5.根据权利要求4所述的探针组合体，其中，上述第3狭缝和上述第4狭缝分别沿前后方向延伸，并且向前后方向上的一侧和另一侧进一步开放。
6.根据权利要求4或5所述的探针组合体，其中，上述第1探针和上述第2探针的各后部针尖区域包括自上述安装区域的后端部向后方延伸的后端区域；以及自该后端区域的顶端部向上方延伸的后端针尖。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的探针组合体，其中，上述第1探针和上述第2探针的各后部区域还包括板状的第2突片部，该第2突片部自上述后端区域向上方突出并且沿前后方向延伸，并该第2突片部的一部分容纳于上述第 3狭缝或上述第4狭缝中。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的探针组合体，其中，上述探针组合体还包括杆构件，其以沿上述第1探针和上述第2探针的上述安装区域的在长度方向上隔开有间隔的部位的厚度方向贯穿该部位的方式延伸；以及板状的侧盖， 其用于容纳该杆构件的长度方向的各端部，并能够拆卸地安装在上述支承片的侧部上。
全文摘要
本发明提供一种无需缩小狭缝杆的狭缝的间距就能够以窄间距配置探针的探针组合体。在探针组合体中，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第1狭缝的第1狭缝杆配置在支承片的顶端部下侧，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第2狭缝的第2狭缝杆以该第2狭缝相对于第1狭缝位于左右方向和前后方向上的方式配置在第1狭缝杆上，使第1和第2狭缝杆的前部针尖区域的至少一部分分别位于第1和第2狭缝中。
文档编号G01R1/073GK102368079SQ20111016848
公开日2012年3月7日 申请日期2011年6月17日 优先权日2010年6月24日
发明者中屋敷勇太, 清野洋二, 福士俊雄, 赤平惠 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司