专利名称：电荷平板监视器的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于测定离子产生器的除电性能和离子平衡性能(正负离子的平衡的维持性能)来评价离子产生器的性能的电荷平板监视器。
背景技术：
图14表示以往的电荷平板监视器的概略性的结构。在同图中，CPM’是电荷平板监视器，100A是测定器主体，IOlA是由液晶显示器等构成的显示部，200A是连接到测定器主体100A的测定平板，300是作为评价对象的杆结构的离子产生器(4才t 4廿)，301是向离子产生器300的长度方向配置了多个的射极(放电电极)。在测定器主体100A中，内置了高电压源、表面电位计、电场计、定时器等。此外，测定平板200A成为例如将一边为150[mm]的导电性平板隔着10 15[mm]的间隔对准了两张的结构，整体具有大约20 [PF]的静电电容。测定器主体100A主要具有测定测定平板200A的表面电位的功能，通过以下叙述的方法，测定离子产生器的除电性能和离子平衡性能。为了通过该电荷平板监视器来测定离子产生器300的除电性能，从测定器主体100A的高压电源对测定平板200A例如施加+1000[V]或_1000[V]的高电压，从而使其带电，并将由离子产生器300的射极301生成的离子击中测定平板200A。在这个状态下，由测定器主体100A测定测定平板200A的电位由负离子中和而从+1000 [V]衰减至+100 [V]所需的时间或者由正离子中和而从-1000[V]衰减至-100[V]所需的时间。这些时间越短，则离子产生器300的离子产生量或者产生率越高，能够评价为除电性能越高。另外，对于测定平板200A的施加电压存在士 1000 士5000[V]的范围内的各种类型。这里，将进行上述测定动作的模式称为衰减测定模式。此外，为了测定离子平衡性能，通过将测定平板200A接地而将其电位设为0[V]，并将由离子产生器300生成的正负的离子击中测定平板200A。此时，若离子产生器300生成的正离子量和负离子量相等，则测定平板200A的电位在0[V]附近稳定，所以通过测定器主体100A来测定该电位的大小和极性，从而能够评价离子产生器的离子平衡性能。这里，将进行上述测定动作的模式称为离子平衡测定模式。此外，近年来，作为离子产生器的除电对象物的液晶显示器用基板或等离子显示器用基板逐渐成为大型化，伴随于此，杆结构的离子产生器的长度也逐渐加长。在通过电荷平板监视器来对这样长尺寸的离子产生器的性能进行试验的情况下，从图14也可知，需要根据沿着离子产生器300的全长而配置的多个射极301，将一台电荷平板监视器CPM’的位置在离子产生器300的长度方向上相对移动而依次测定。因此，存在为了评价一台离子产生器的性能而花费较多工夫和时间的问题。相对于此，为了一次就能完成长尺寸的离子产生器300的测定，排列多台电荷平板监视器CPM’进行测定即可，但由于一般电荷平板监视器CPM’是高价的，所以花费较多成本。另外，在专利文献1中，公开了如下的离子平衡监视器，将测定平板分割为多个段，在对这些各个段的隔一个段分别施加正、负的偏置电压的状态下，测定离子产生器的生成离子的离子平衡和正负的离子产生率。专利文献专利文献1日本特表2008-519260号公报(
段
段、图1 图3
等)在专利文献1记载的以往技术中，通过将测定平板分割为多个段而施加规定的偏置电压，从而能够同时测定离子平衡和离子产生率，但并不能解决如上所述那样伴随着离子产生器的长度化所引起的操作的繁杂和测定时间的长期化。
发明内容
因此，本发明要解决的课题在于，提供一种电荷平板监视器(charge platemonitor)，其即使是在因除电对象物的大型化而离子产生器成为长尺寸，也能够通过一台电荷平板监视器来高效地评价离子产生器的性能。为了解决上述课题，技术方案1的发明是一种电荷平板监视器，是在通过测定平板来检测由离子产生器生成的正负的离子，并评价所述离子产生器的除电性能和正负的离子的离子平衡性能的电荷平板监视器，并且也是将用于测定预先施加了规定电压的所述测定平板的电位通过所述离子而衰减至规定值为止的衰减时间的功能以及基于所述测定平板的电位来测定离子平衡的功能包含在一台测定器主体中而构成的电荷平板监视器，与作为评价对象的所述离子产生器的长度对应而包括多台所述测定平板，将这些测定平板并联或者串联连接到所述测定器主体。技术方案2的发明在技术方案1中记载的电荷平板监视器中，所述测定器主体包括显示部，分别显示多台所述测定平板中的所述衰减时间和离子平衡的测定结果。技术方案3的发明在技术方案1或2中记载的电荷平板监视器中，对多台所述测定平板分别设定地址，所述测定器主体根据所述地址来处理各个测定平板的测定数据。根据本发明，通过对一台测定器主体并联或者串联必要台数的测定平板，从而能够使用一台电荷平板监视器来评价长尺寸的离子产生器的除电性能和离子平衡性能，能够在短时间且低成本地实现离子产生器的性能评价。此外，若与离子产生器的长度对应地变更连接到测定器主体的测定平板的台数，则还能够应用于长度不同的各种离子产生器中。
图1是本发明的第1实施方式的概略性的结构图。图2是本发明的第2实施方式的概略性的结构图。图3是本发明的第3实施方式的概略性的结构图。图4是本发明的第4实施方式的概略性的结构图。图5(a) (b)是第1实施方式的详细的结构图。图6(a) (b)是第2实施方式的详细的结构图。
图7(a) (b)是第4实施方式的详细的结构图。图8是本发明的实施方式的使用状态的说明图。图9是本发明的实施方式的使用状态的说明图。图10是表示本发明的实施方式的测定结果的显示例的图。图11是表示本发明的实施方式的测定结果的显示例的图。图12是表示本发明的实施方式的测定结果的显示例的图。图13是表示本发明的实施方式的测定结果的显示例的图。图14是表示以往的电荷平板监视器的概略性的结构的图。标号说明100、150 测定器主体101 显示部102a :CPU102b:平板控制电路102c:A/D 变换电路102d 红外线单元102e 输入部102f:显示电路102g 传感器部102h 无线处理电路102 天线201、202、203 测定平板201A、201C 平板控制部20IB 平板主体201a:控制电路201b:正电压产生电路201c:负电压产生电路201d:传感器驱动电路20 Ie 静电传感器20 If 存储器20 Ig:无线处理电路201h 天线300:离子产生器301 射极G 基板
具体实施例方式以下，沿着
本发明的实施方式。首先，本发明的电荷平板监视器由一台测定器主体和多台测定平板构成。图1 图3是通过有线连接了测定器主体和多台测定平板的实施方式的概略性的结构图。图1的第1实施方式是对一台测定器主体100并联连接了多台(例如3台)测定平板201、202、203的例子，图2的第2实施方式是对一台测定器主体100串联连接了多台测定平板201、202、203的例子，图3的第3实施方式是对一台测定器主体100并联连接了例如3个将多台测定平板201、202、203串联连接的电路的例子。此外，图4的第4实施方式是对一台测定器主体100并联连接例如3个将多台测定平板201、202、203串联连接的电路后接地，并在与测定器主体100之间通过无线连接了各个串联电路的例子。另外，在图1和图2所示的实施方式中，也可以通过无线连接测定器主体100和多台测定平板201、202、203之间或者这些串联电路之间。在上述第1 第4实施方式中，根据作为评价对象的杆结构的离子产生器(未图示)的全长，并联或串联连接了必要台数个测定平板。例如，在图1中的测定平板201的长度(或者宽度)为L的情况下，以适当的间隔排列配置3台测定平板201、202、203，使其能够均勻覆盖全长为3L以上的离子产生器的全长。接着，图5是第1实施方式的详细的结构图。图5(a)表示测定器主体100的详细的结构，图5 (b)表示测定平板201、202、203的详细的结构。另外，由于测定平板201、202、203都是相同的结构，所以在图5(b)中例示了测定平板201。如图5(a)所示，测定器主体100包括CPU102a，统一控制电荷平板监视器整体，且进行伴随测定平板201、202、203的电位测定和定时器动作等的运算处理；平板控制电路102b，用于控制测定平板201、202、203的动作；以及A/D变换电路102c，将测定平板201、202、203的电位(模拟信号)变换为数字信号。这里，在CPU102a中，在内部的存储器中存储了用于分别确定测定平板201、202、203的地址。此外，在测定器主体100中设置了红外线单元102d，该红外线单元102d用于基于作为测定结果的离子产生器的除电性能和离子平衡，通过红外线通信来控制对于离子产生器的施加电压等。另外，该红外线单元102d在本发明中并不是必须要有的元素。虽然未图示，但基于测定结果的离子产生器的控制，也可以由CPUlO^i通过无线通信部件而进行。在CPU102a中，连接了由用于进行电源的接通断开或各种输入操作的开关或触摸面板等构成的输入部10 ，且连接了用于驱动所述显示部101的显示电路102f。此外，在测定器主体100中，设置了温度传感器、湿度传感器、风速传感器等的传感器部102g。该传感器部102g用于测定测定器主体100的周围环境条件，也可以根据需要，分别设置在测定平板201、202、203侧而测定各个平板的周围环境条件。接着，基于图5(b)说明测定平板201的结构。测定平板201由平板控制部20IA和平板主体20IB构成。平板控制部20IA包括连接到测定器主体100的控制电路201a ；用于在衰减测定模式中对平板主体201B施加正或负的高电压的正电压产生电路201b和负电压产生电路201c ；用于检测平板主体20IB的电位的静电传感器201e和驱动该静电传感器201e的传感器驱动电路201d ；以及存储了平板主体201B (测定平板201)的地址的存储器201f。如上所述，平板主体201B成为将离子检测用的规定的大小的导电性平板对准了两张的结构，但便于说明，省略了详细的结构的图示。
另外，正电压产生电路201b和负电压产生电路201c也可以内置在测定器主体100中。此外，在测定器主体100和平板控制部201A中，分别内置了电源电路(未图示)。接着，说明该第1实施方式的动作。首先，将作为性能评价的对象的离子产生器配置在测定平板201、202、203的上方，将从离子产生器产生的离子通过送风部件等而提供给测定平板201、202、203。在测定器主体100中，由输入部10 选择规定的测定模式(衰减测定模式、离子平衡测定模式)，并从CPUio^i经由平板控制电路102b对测定平板201、202、203送出控制信号(测定指令)。当前，在衰减测定模式中，经由测定平板201的平板控制部201A内的控制电路201a来驱动正电压产生电路201b或负电压产生电路201c，对平板主体201B施加例如+1000 [V]或-1000 [V]。此时，平板主体201B的电位经由静电传感器201e、传感器驱动电路201d以及控制电路201a，从测定器主体100的A/D变换电路102c输入到CPU102a，所以在CPUlO^i中，通过内置的定时器来测定平板主体201B的电位从+1000 [V]衰减至+100 [V]或者从-1000 [V]衰减至-100 [V]为止的时间。另外，在该衰减测定模式中，分别测定从离子产生器仅产生负离子而平板主体201B的电位从+1000[V]衰减至+100[V]为止的时间，或者仅产生正离子而从-1000[V]衰减至-100 [V]为止的时间。此外，各个测定平板201(平板主体201B)的测定数据被附加存储器201f内的地址而传送到CPU102a。在CPU102a中，将测定的衰减时间经由显示电路102f和显示部101而进行数字显示。作为显示方式，例如将正电压施加时的衰减时间显示为“+1.2[s]”、将负电压施加时的衰减时间显示为“-2. 0[s] ”即可。上述动作对于地址不同的其他测定平板202、203也是相同的，在CPUlO^i中，能够判别所测定的各个测定平板201、202、203的衰减时间而同时显示。由于能够根据在该衰减测定模式中测定的衰减时间，测定来自离子产生器的离子产生量、换言之除电性能，所以能够根据该结果而进行对于离子产生器的施加电压的控制或催促射极的清扫的警报等，在这些控制信号或警报信号的传送中能够使用红外线单元102d。此外，在从测定器主体100对测定平板201侧传送离子平衡测定模式的测定指令的情况下，在平板控制部201A中，不使正电压产生电路201b、负电压产生电路201c动作而测定平板主体201B的电位，并附加地址而传送到测定器主体100的CPU102a。此时，预先使离子产生器产生正负的离子。在CPU102a中，由于能够通过检测传送而来的电位的极性和大小而检测正负离子量的平衡状态，所以能够通过显示部101进行如下显示在正负离子量平衡时显示“士 0 [V] ”，在不平衡时显示“ +3 [V] ”、“ -7 [V] ”等。接着，图6是第2实施方式的详细的结构图，图6(a)表示测定器主体100的结构，图6(b)表示测定平板201的结构。除了测定平板201、202、203串联连接到测定器主体100的点之外，该第2实施方式在结构上与第1实施方式相同。
该第2实施方式的动作基本上与第1实施方式相同，但需要对串联连接的测定平板201、202、203的各个测定数据(平板主体的电位)分别附加地址，并在串联连接到测定器主体100的测定平板201的控制电路201a中将各个测定数据集中送出到CPUlOh等的步骤。另外，在图3所示的第3实施方式中，基本上也能够应用图5或图6的结构，由CPU102a和控制电路201a管理串并联连接的多台测定平板的各个地址即可。此外，图7是第4实施方式的详细的结构图，图7 (a)表示测定器主体150的结构，图7(b)表示测定平板201的结构。在图7(a)所示的测定器主体150中，在CPU102a中连接了无线处理电路102h，在该无线处理电路10 !中连接了天线102i，该测定器主体150在与测定平板201、202、203之间，能够将控制信号或测定数据以数字信号进行无线通信。作为该无线通信方式，能够利用小功率无线通信、蓝牙(注册商标)、频谱扩散通信等众所周知的通信方式。在图7(b)所示的测定平板201中，在平板控制部201C中设置了无线处理电路201g和天线201h，用于与上述的测定器主体150之间的无线通信。除了测定器主体150侧和测定平板201、202、203之间的通信部件为无线通信部件的点之外，该第4实施方式的动作与第1实施方式相同，但根据第4实施方式，具有不需要测定器主体150侧和测定平板201、202、203之间的布线的麻烦，且这些设置地点没有限制等的优点。接着，图8、图9是表示本发明的实施方式(例如，第3或第4实施方式)的使用状态的图，图8相当于平面图，图9相当于侧面图。在图8中，G表示作为离子产生器300的除电对象物的液晶显示器等的基板，设想使用上述的各个实施方式的电荷平板监视器来实施以如图所示的位置关系配置在该基板G的3台离子产生器300的性能评价的情况。在图8中，通过对测定器主体并联连接了 3个3台测定平板201、202、203的串联连接电路，从而将整体9台测定平板分配给通道1 9，并将该通道号附在各个测定平板的框内。如图8、图9所示，从对应于基板G而配置的离子产生器300的长度方向的位置起设定多个通道，并对这些通道分别对应测定平板而测定除电时间或离子平衡，从而能够有效地进行多台离子产生器300的性能评价。图10 图13是表示本发明的实施方式的测定结果的显示例的图。图10是对图9所示的各个通道CHl CH9，概略显示了衰减测定模式的正电压的衰减时间(+t)、负电压的衰减时间(_t)以及离子平衡的例子，也一并显示了由所述传感器部102g检测出的周围环境条件。作为显示方法，考虑如下等方法在衰减时间(+t)、(-t)以及离子平衡的数值超过了相当于要注意的第1设定值的情况下用橙色显示数值，在超过了大于该第1设定值的第2设定值的情况下用红色显示数值以警告。另外，这些测定结果存储在测定器主体中，且还能够根据需要而传送到上位的监视系统，或者通过有线或无线通信从外部的个人计算机读出。图11是将与图10相同的测定数据对应于各个通道CHl CH9的位置以二维方式显示的例子。此外，图12、图13是用曲线显示了各个通道中的离子平衡的状态的例子，图12是概括显示了多个通道的情况下的例子，图13是分别显示了各个通道的例子。另外，横轴是每个测定平板(平板主体)上的位置，纵轴是正负的电位。考虑各个曲线的特性线按每个通道改变显示色或线种类。如上所说明，根据各个实施方式，通过对1台测定器主体连接必要台数的测定平板，从而能够使用1台电荷平板监视器来评价长尺寸的离子产生器的除电性能、离子平衡性能。
权利要求
1.一种电荷平板监视器，是在通过测定平板来检测由离子产生器生成的正负的离子，并评价所述离子产生器的除电性能和正负的离子的离子平衡性能的电荷平板监视器，并且也是将用于测定预先施加了规定电压的所述测定平板的电位通过所述离子而衰减至规定值为止的衰减时间的功能以及基于所述测定平板的电位来测定离子平衡的功能包含在一台测定器主体中而构成的电荷平板监视器，其特征在于，与作为评价对象的所述离子产生器的长度对应而包括多台所述测定平板，将这些测定平板并联或者串联连接到所述测定器主体。
2.如权利要求1所述的电荷平板监视器，其特征在于，所述测定器主体包括显示部，分别显示多台所述测定平板中的所述衰减时间和离子平衡的测定结果。
3.如权利要求1或2所述的电荷平板监视器，其特征在于，对多台所述测定平板分别设定地址，所述测定器主体根据所述地址来处理各个测定平板的测定数据。
全文摘要
一种电荷平板监视器，即使是在因液晶显示器基板等的除电对象物的大型化而离子产生器成为长尺寸的情况下，也能够通过一台电荷平板监视器来评价离子产生器的性能。在通过测定平板来检测由离子产生器生成的正负的离子，并评价离子产生器的除电性能和正负的离子的离子平衡性能的电荷平板监视器中，并且也是将用于测定预先施加了规定电压的测定平板的电位通过所述离子而衰减至规定值为止的衰减时间的功能以及基于测定平板的电位来测定离子平衡的功能包含在一台测定器主体(100)中而构成的电荷平板监视器中，包括与作为评价对象的离子产生器(300)的长度对应的台数的测定平板(201、202、203)，将这些测定平板并联或者串联连接到测定器主体。
文档编号G01R31/00GK102565568SQ20111035397
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月9日 优先权日2010年11月9日
发明者德永哲也 申请人:修谷鲁电子机器股份有限公司