专利名称：气油压针座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于半导体设备的针座，特别是指一种能稳定施力的气油压针座。
背景技术：
一般而言，当晶圆上的每颗晶粒制造完成后，会经由点测机来对其进行量测，取得其特性来判断成品的品质。以发光二极管为例，通过点测机的探针接触晶粒电极，可侦测其光强度、中心波长、光功率、顺向电压…等，判断发光二极管是否合乎标准。现有搭配点测机的针座主要有两种，一种是弹簧施压缓冲，另一种是磁力施压缓冲。参阅图1，以往弹簧施压缓冲的针座，包含一个本体11、一条夹设有一根探针12的针臂13，及一个弹性缓冲器14，该弹性缓冲器14 一端固定在该本体11、另一端连接在该针臂13，并包括一条弹簧141。在量测晶粒时，该探针12受晶粒顶抵而连动该针臂13上抬， 此时该弹性缓冲器14便能提供缓冲效果，使该探针12不易刮伤晶粒，并保持探针12紧密接触待测晶粒。然而一旦使用过久，弹簧141容易因弹性疲乏而使得缓冲效果衰减，导致该探针12与待测晶粒的接触紧密度下降，使量测结果产生误差。参阅图2，以往磁力施压缓冲的针座，在构造上与弹簧施压缓冲的针座构造相似， 差别在于以一个磁力缓冲器15取代该弹性缓冲器14。该磁力缓冲器15包括一对互斥的磁极151、152，一个磁极151固定在该本体11’、另一个磁极152固定在该针臂13’，并通过磁极151、152互斥来为该针臂13’提供施压缓冲效果。然而该互斥力会因磁极151、152摆放位置的偏差，而导致极大的差异，难以统一控制。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能稳定施力的气油压针座。本实用新型气油压针座包含一个调整座、一个针座本体、一根探针，及一个压力件。该针座本体连接于该调整座，并包括一个沿一直线方向延伸且能相对该直线摆动的针臂。该探针固定于该针臂上，并包括一个位于前端且朝下延伸的点测尖端部。该压力件包括一个中空的压缸本体、一个延伸出该压缸本体的活塞，该压缸本体固定于该针座本体，该活塞连接于该针座本体的针臂。该针座本体还包含一块底板，该底板沿该直线方向设置并与该针臂上下间隔。该针座本体的针臂具有一个第一连接端，该针座本体的底板具有一个第二连接端，该第一连接端与该第二连接端彼此相向，并能自由地接触与分离。该压力件还包括两个压力调整器、两个形成于该压缸本体上并贯穿至外部空间的连通孔，且所述活塞具有一个位于该压缸本体内的活塞头及一个与该活塞头连接并穿伸出该压缸本体的活塞杆，所述连通孔分别位于该活塞头的相反两侧，所述压力调整器分别通过一条输送管连接于所述连通孔。[0011]该压力件可为气压缸、油压缸，或气油压缸。该压缸本体具有一个第一封闭孔及一个与该第一封闭孔相对应的第二封闭孔，该第一封闭孔与该第二封闭孔的开口面积不同，该活塞具有一个配合穿设在该第一封闭孔的第一端部、一个配合穿设在该第二封闭孔的第二端部，及一个外露在该压缸本体外的接合部，该接合部连接该针座本体的针臂。该压力件还包含两块密封垫，所述密封垫是分别设置在该活塞的第一端部与第二端部。该压力件还包括一个压力调整器，一个形成在该压缸本体上并贯穿至外部空间的连通孔，该压力调整器通过一条输送管连接在该连通孔。本实用新型的有益效果在于借由该压缸本体作用于该活塞的结构，能产生施压与缓冲效果，不会因为位置改变而造成压力变化，也不会因为使用过久而丧失缓冲效果，所以能达成本实用新型的功效。
图1是一剖面图，说明以往一个弹簧施压缓冲的针座；图2是一剖面图，说明以往一个磁力施压缓冲的针座；图3是一剖面图，说明本实用新型的第一较佳实施例；图4是一剖面图，说明本实用新型的第二较佳实施例；图5是一局部剖面图，说明上述第二较佳实施例中，一根活塞与一个压缸本体的构造。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明在本实用新型被详细描述前，要注意的是，以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图3所示，本实用新型气油压针座的第一较佳实施例包含一个调整座2、一个针座本体3、一根探针4，及一个压力件5。该调整座2包括数个调整器21，所述调整器21可带动该针座本体3，使该针座本体3在一定范围内适当地移动，以使本发明适用于量测不同类型晶圆中的晶粒W。该针座本体3连接在该调整座2并包括一根针臂31及一个弹性体32，该弹性体32 一端连接在该调整座2，另一端连接在该针臂31，该针臂31是沿着一条直线L方向延伸设置且能相对该直线L摆动。该针座本体3还包括一块底板33，该底板33也是沿着该直线L 的方向延伸。该针臂31具有一个第一连接端311，该底板33具有一个第二连接端331，该第一连接端311与该第二连接端331彼此为相向设置并能自由地接触与分离，该第一连接端311与该第二连接端331触碰在一起时，该针臂31与该底板33彼此相间隔。该探针4固定在该针臂31上，并包括一个位于前端且朝下延伸的点测尖端部41。该压力件5包括一个中空的压缸本体51、一根延伸出该压缸本体51的活塞52、两个形成于该压缸51本体上并贯穿至外部空间的连通孔53，及两个压力调整器55，所述活塞 52具有一个位于该压缸本体51内的活塞头52’及一个与该活塞头52’连接并穿伸出该压缸本体51的活塞杆52”。该压缸本体51是固定在该针座本体3，且内部用于充满油或气体。所述连通孔53分别位于该活塞头52’的相反两侧，所述压力调整器55分别通过一条输送管56连接于所述连通孔53。因为所述压力调整器55可保持该压缸本体51内维持一定的压力，又由于作用于该活塞头52’的作用力是由该活塞头52’两侧的压力分别乘上该活塞头52’两侧的有效面积的差值而来，在该压力固定与该活塞头52’的有效面积不会改变的情况下，该作用力为一定值，因此该压力件5对该针臂31所造成的缓冲施压效果是一致的。由于产生缓冲施压效果的作用力只与该活塞头52’的面积及该压缸本体51内压力有关，不受摆放位置所限，且长时间使用下也不会有作用力减小的问题，因此能为该针臂 31有效提供固定的缓冲施压效果，使该探针4能紧密接触待测晶粒W，降低量测误差，又不至于刮伤晶粒W，造成晶粒W的损坏，此外，借由所述压力调整器55控制该压缸本体51内压力，可以精确调整该活塞52的施压力道，以控制该探针4接触晶粒W电极的压力大小，也就是说，即使更换不同的探针4，也只需调整控制所述压力调整器55即可维持与原来相同的施压。值得注意的是，该压力件5是一个气压缸，也可以是一个油压缸或气油压缸，此为结构上的差异，在使用上仍然能达到相同的效果，并不以此为限。参阅图4、5所示，以下将更进一步说明本实用新型气油压针座的第二较佳实施例，该第二较佳实施例与上述第一较佳实施例大致相同，其不同处在于该压力件5只有一个形成在该压缸本体51上并贯穿至外部空间的连通孔53，以及只有一个压力调整器55，该压力件5还包括两块设置在该活塞52上的密封垫M。该压缸本体51具有彼此相向的一个第一封闭孔511与一个第二封闭孔512，该第一封闭孔511、第二封闭孔512的开口面积不同，在本实施例中，该第一封闭孔511的开口面积大于该第二封闭孔512的开口面积，且该活塞52具有一个第一端部521、一个第二端部 522，及一个位于该第一端部521与该第二端部522之间的接合部523，该第一端部521配合穿设在该第一封闭孔511，该第二端部522则配合穿设在该第二封闭孔512，且该接合部 523外露在该压缸本体51外，并连接该针座本体3的针臂31。该压缸本体51内部用于充满气体，该压力调整器阳能对气体进行压缩以调节该压缸本体51内部的压力。所述密封垫M分别套置在该活塞52的第一端部521与该第二端部522，并分别与该第一封闭孔511、第二封闭孔512相抵接，以形成气密效果。该压力调整器55 —端连接在一台帮浦(图未示)，另一端是通过一条输送管56连接在该连通孔53。通过上述结构，将本实用新型的操作方式叙述如下在量测晶粒W时，由于晶圆座A向上抬升，让该晶粒W碰触至该探针4的点测尖端部41，并连动该探针4使该针臂31以一个与该针座本体3滑动接合的滑轨34为移动点而逐渐上升，直到该第一连接端311与该第二连接端331互相分离后，侦测器(图未示)便接收到讯息，接着停止晶圆座A的抬升，并开始对晶粒W进行量测。而在该针臂31上升的过程中，在该压缸本体51内的压力固定下，由于该第一封闭孔511的开口面积大于该第二封闭孔512的开口面积，故相对应作用在该活塞52第一端部 521的力道大于该第二端部522，使得该活塞52产生一方向向下的作用力，而对该针臂31的抬升产生施压缓冲效果。此外，因为该压力调整器55能调整该压缸本体51内的压力，又由于作用在该活塞 52的作用力，是由该活塞52两侧的压力值，乘上该活塞52两侧处的第一封闭孔511与第二封闭孔512的开口面积差值，所以，在该压缸本体51内部压力固定与该第一封闭孔511与该第二封闭孔512的开口面积差不会改变的情况下，该作用力为一定值，因此该压力件5对该针臂31所造成的施压缓冲效果是一致的，且该第一封闭孔511、第二封闭孔512的开口面积差距越小，其产生的作用力会越小。将本实用新型的优点叙述如下由于产生施压缓冲效果的作用力只与该活塞52两侧处压力及该第一封闭孔511、 第二封闭孔512的开口面积差有关，因此，在该压缸本体51内部压力与该第一封闭孔511、 第二封闭孔512的开口面积差不变的前提下，可不受摆放位置所限，且长时间使用下也不会有作用力减小的问题，故能为该针臂31有效提供固定的施压缓冲效果，使该探针31能紧密接触待测晶粒W，降低量测误差，又不至于刮伤晶粒W，造成晶粒W的损坏。此外，通过改变该第一封闭孔511、第二封闭孔512的开口面积差，可控制该活塞52施压力道的大小，以避免经该压力调整器55后提供的气体压力过大而不易精准控制探针4的施压力道。
权利要求1.一种气油压针座，其特征在于该气油压针座包含一个调整座、一个针座本体、一根探针，及一个压力件；该针座本体连接于该调整座，并包括一个沿一直线方向延伸且能相对该直线摆动的针臂；该探针固定于该针臂上，并包括一个位于前端且朝下延伸的点测尖端部；及该压力件包括一个中空的压缸本体、一个延伸出该压缸本体的活塞，该压缸本体固定于该针座本体，该活塞连接于该针座本体的针臂。
2.根据权利要求1所述的气油压针座，其特征在于该针座本体还包含一块底板，该底板沿该直线方向设置并与该针臂上下间隔。
3.根据权利要求2所述的气油压针座，其特征在于该针座本体的针臂具有一个第一连接端，该针座本体的底板具有一个第二连接端，该第一连接端与该第二连接端彼此相向， 并能自由地接触与分离。
4.根据权利要求1所述的气油压针座，其特征在于该压力件还包括两个压力调整器、 两个形成于该压缸本体上并贯穿至外部空间的连通孔，且所述活塞具有一个位于该压缸本体内的活塞头及一个与该活塞头连接并穿伸出该压缸本体的活塞杆，所述连通孔分别位于该活塞头的相反两侧，所述压力调整器分别通过一条输送管连接于所述连通孔。
5.根据权利要求1所述的气油压针座，其特征在于该压力件可为气压缸、油压缸，或气油压缸。
6.根据权利要求1所述的气油压针座，其特征在于该压缸本体具有一个第一封闭孔及一个与该第一封闭孔相对应的第二封闭孔，该第一封闭孔与该第二封闭孔的开口面积不同，该活塞具有一个配合穿设在该第一封闭孔的第一端部、一个配合穿设在该第二封闭孔的第二端部，及一个外露在该压缸本体外的接合部，该接合部连接该针座本体的针臂。
7.根据权利要求6所述的气油压针座，其特征在于该压力件还包含两块密封垫，所述密封垫是分别设置在该活塞的第一端部与第二端部。
8.根据权利要求6所述的气油压针座，其特征在于该压力件还包括一个压力调整器， 一个形成在该压缸本体上并贯穿至外部空间的连通孔，该压力调整器通过一条输送管连接在该连通孑L。
专利摘要一种气油压针座，包含一个调整座、一个针座本体、一根探针，及一个压力件。该针座本体连接于该调整座，并包括一个沿一直线方向延伸且能相对该直线摆动的针臂。该探针固定于该针臂上，并包括一个位于前端且朝下延伸的点测尖端部。该压力件包括一个中空的压缸本体、一个延伸出该压缸本体的活塞，该压缸本体固定于该针座本体，该活塞连接于该针座本体的针臂。本实用新型通过该压缸本体作用于该活塞的结构，能产生稳定的施压与缓冲效果。
文档编号G01R1/067GK202102020SQ20112019413
公开日2012年1月4日 申请日期2011年6月10日 优先权日2011年6月10日
发明者陈冠男 申请人:陈冠男