一种新型SF₆气体压力传感器的制作方法

专利名称：一种新型SF₆气体压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种新型SF6气体压力传感器，属于传感与检测技术领域。
背景技术：
SF6气体具有良好的电气绝缘性能和灭弧性能，已广泛应用于各种电气设备，如断路器、GIS组合电器等。SF6电气设备由于频繁操作、制造及安装质量等因素引起SF6气体泄漏时，将直接影响设备的电气绝缘性能，严重时会导致设备及人员事故并危及电网的安全运行。目前一般通过测量SF6气体压力来判断内部气体泄漏故障，常用的测量方法有压力表、继电器、密度表测量等方法。这些测量方法容易受温升影响造成读数误差，通常需要手动读数，而且实时性差，操作不方便。因此，有必要发展新型SF6气体压力测量方法及装置。
实用新型内容本实用新型的目的就是提供一种新型SF6气体压力传感器，可方便精确地测量SF6电器设备内气体压力，及时发现气体泄漏故障。为实现以上目的，本实用新型的技术方案是，该传感器使用了十字梁结构设计，在弹性体的十字梁上对称贴上箔式电阻应变片，应变片全桥输出信号随SF6气体压力改变而变化。根据输出信号检测SF6气体压力。该传感器为全密封结构，不受外界干扰。本实用新型的优点是线性度好、精度高、操作方便，为全密封结构，不受外界干扰。
图I为本实用新型实施例的传感器机械结构图。图2为本实用新型实施例的传感器十字梁应变片分布示意图。图3为本实用新型实施例的箔式应变片组成的全桥电路。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的优点与功效。本实用新型也可通过其他不同的具体实例加以实施或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的精神下进行各种修饰与变更。本实用新型实施例的传感器机械结构图，如图I所示，该传感器由以下部分组成
1、2_固定装置，2-弹性接触装置，3-弹性体梁装置，4-应变片。传感器采用LY12硬铝材料，弹性模量E为70e9N/m2，泊松比μ为O. 3，密度为2. 7e3kg/m3,内外径Φ分别为38和54mm，弹性接触头内外径Φ分别为38和34_。传感器十字梁应变片分布如图2所示，在弹性体的十字梁上对称贴上箔式电阻应变片，横轴与纵轴梁上的应变片电阻为Rn(n= 1,2,…，8)，组成的全桥电路如图3所示，输出信号VI+、VI-、V2+、V2-自动解耦。应变片间使用直径25 μ m的细铜线焊接。传感器受到外力作用时，由于力的大小方向的不同，各个方向的应变电阻受到的应力也不一样，根据应变片的电阻变化，可以得到力与应变的关系。输出电压信号与电阻变化值成正比，电阻变化值正比于传感器的受到的压力信号，因此全桥输出电压信号随外部压力改变而变化，测量输出电压信号就可以得到测量空间内气体压力信号。[0016]该传感器为全密封结构，其内部信号测量线通过密封接头引出，因此测量不受外界干扰。传感器放置在SF6气体空间内，通过测量全桥输出信号检测SF6气体压力，由此分析SF6气体泄漏情况。上述实施例仅为示例性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新 型。任何本领域技术人员均可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与变化。因此，本实用新型的权利保护范围，应以权利要求书的范围为依据。
权利要求1. 一种新型SF6气体压力传感器，其特征在于，该传感器至少包括弹性接触装置、弹性体梁装置、应变片和固定装置四个组成部分，弹性体梁装置采用十字梁结构设计，在弹性体的十字梁上对称贴上箔式电阻应变片，应变片全桥输出信号随SF6气体压力改变而变化，由此测量SF6气体压力。
专利摘要本实用新型提供一种新型SF6气体压力传感器，用于检测SF6电气设备气体泄漏故障。该传感器由弹性接触装置、弹性体梁装置、应变片和固定装置四个组成部分。弹性体梁装置采用十字梁结构设计，根据十字梁上应变片输出信号测量SF6气体压力。本实用新型的优点是线性度好、精度高、操作方便，为全密封结构，测量不受外界干扰。
文档编号G01L9/04GK202735022SQ20122024400
公开日2013年2月13日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者胡德霖, 孟丽, 何秀明, 胡醇, 周祥, 戴沈华, 赵杰 申请人:苏州电器科学研究院股份有限公司