专利名称：一种泡泡高度测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测试仪，具体涉及一种泡泡高度测试仪。
背景技术：
干膜光阻是电子工业中大规模集成电路微细加工过程中不可缺少的基础性关键材料，主要应用于印刷电路板(PCB)工业、导线架等精密蚀刻工业及平面显示器工业之影像转移制程上，干膜的应用制程主要如下压膜一曝光一显影一蚀刻一剥膜。随着自动化程度的提高，干膜的显影制程主要采用滚轮传动与高压喷嘴喷淋结合的方式，在干膜的显影过程中，由于光阻在显影液中逐渐的溶解和显影液的不断循环，以及滚轮传动与喷压的影响，显影液容易产生大量泡泡，泡泡的存在不但影响观测与记录，同时对显影的质量及后续制程会造成很大影响，为评估某一干膜的显影特性，判断显影时是否 需在显影液中添加消泡剂或者涂布前需对干膜光阻配方进行调整，对显影过程中产生的泡泡高度评估与测定至关重要。目前，市场上暂无此类相关测试仪器及测试方法。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于提供一种泡泡高度测试仪，用于实验室测试干膜显影时产生的泡泡的高度。为实现该目的，本实用新型采用了如下的技术方案一种泡泡高度测试仪，包括化学泵、电路控制箱、液位槽、连接管、制冷设备、基座和主架柜，所述化学泵、电路控制箱和主架柜固定于所述基座，所述电路控制箱与所述化学泵通过控制线连接，所述连接管与所述液位槽连接，所述液位槽设于所述主架柜上部，所述制冷设备设于所述液位槽；所述制冷设备包括冷水输入管、冷水输出管和冷凝管，所述冷凝管设于所述液位槽内，所述冷凝管两端分别连接冷水输入管和冷水输出管；所述连接管包括输液管、回流管、排液管、废液管和三通管，所述输液管下端与所述化学泵连接，输液管上端设于所述液位槽侧面，且延伸至液位槽内，所述回流管与所述化学泵连接，所述排液管设于所述液位槽底部排液口，所述回流管和废液管通过三通管连接至排液管。优选地进一步技术改进，本实施例中，所述基座下方设有四个脚轮，方便将整个设备在车间移动，以及清洗和维修。优选地进一步技术改进，本实施例中，所述液位槽上方设有透明有机玻璃盖，避免在操作过程中液体溅出槽外，污染环境，同时可进行操作监控。 优选地进一步技术改进，本实施例中，所述液位槽侧面设有玻璃观测口，且所述玻璃观测口上设有刻度尺，便于操作人员读取数据。优选地进一步技术改进，本实施例中，所述连接管为PVC管，PVC材料能避免管道氧化，抗腐蚀性好。[0013]优选地进一步技术改进，本实施例中，所述输液管上端设有压力表和压力阀，便于操作人员实时监控和记录。优选地进一步技术改进，本实施例中，所述排液管上设有第一单向阀。优选地进一步技术改进，本实施例中，所述废液管上设有第二单向阀。优选地进一步技术改进，本实施例中，所述冷水输入管和冷水输出管上分别设有开关。本实用新型对比现有技术有如下优点I.结构简单，操作方便，自制得到实验室用干膜显影泡泡高度测试仪，可模拟工业生产的实际过程，有效评估各种干膜的显影特性。2.投资低，维护和保养成本低，对生产具有重要的指导作用，有助于企业降低生产成本。3.便于生产干膜的特性了解，及时调整生产比配，减少品质问题，提高生产效率。4.及时测试泡泡的高度，以便及时调整生产工艺或配方，避免在干膜的应用过程中因显影时产生过多的泡泡而影响后续的制程及产品质量。
附图I为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
现参照附图，进一步详细说明本实用新型。如图I所示，一种泡泡高度测试仪，包括化学泵I、电路控制箱2、液位槽3、连接管4、制冷设备5、基座6和主架柜7，化学泵I、电路控制箱2和主架柜7固定于基座6，电路控制箱2与化学泵I通过控制线21连接，连接管4与液位槽3连接，液位槽3设于主架柜7上部，制冷设备5设于液位槽3。制冷设备5包括冷水输入管51、冷水输出管52和冷凝管53，冷凝管53设于液位槽3内，冷凝管53两端分别连接冷水输入管51和冷水输出管52。连接管4包括输液管41、回流管42、排液管43、废液管44和三通管45，输液管41下端与化学泵I连接，输液管41上端设于液位槽3侧面，且延伸至液位槽3内，回流管42与化学泵I连接，排液管43设于液位槽3底部排液口，回流管42和废液管44通过三通管45连接至排液管43。为了生产便利，本实施例中，基座6下方设有四个脚轮61，方便将整个设备在车间移动，以及清洗和维修。为了确保卫生环境和人员安全，本实施例中，液位槽3上方设有透明有机玻璃盖31，避免在操作过程中液体溅出槽外，污染环境，药水具有腐蚀性，溅到操作员身上会对皮肤造成腐蚀，操作员可通过透明有机玻璃盖31进行观察。液位槽3侧面设有玻璃观测口 32，且玻璃观测口 32上设有刻度尺321，便于操作人员对泡泡高度以及反应液的高度进行读取数据。连接管4为PVC管，PVC材料能避免管道氧化，抗腐蚀性好。输液管41上端设有压力表411和压力阀412，便于操作人员实时监控和记录。[0032]排液管43上设有第一单向阀431，废液管44上设有第二单向阀441。冷水输入管51和冷水输出管52上分别设有开关54。本实用新型在工作时，先将一定体积的光阻溶解于一定容积的显影液中，然后倒入液位槽3中，盖上透明有机玻璃盖31，打开液位槽3底部排液管43上的第一单向阀431，启动电源控制箱2中电源开关，化学泵I开始工作，液位槽3中的显影液经由液位槽3下方的排液管43、单向阀431、三通管45及回流管42流入化学泵1，在化学泵I的驱动下经由输液管41、压力阀412和压力表411流回液位槽3中，完成一个循环。此循环过程中，由于受到水压的影响以及液位槽3槽壁的反射，液位槽3中显影液会不断产生泡泡，且泡泡可能会持续涨高，可通过液位槽3上玻璃观测口 32上的刻度尺321记录液位高度及产生的泡泡的高度。循环过程中，显影液的压力可通过压力阀412控制在一定范围内，为防止显影液因长时间循环而温度升高，影响测试结果，需启动制冷设备5，即开启冷水输入管51和冷水输出管52上方的开关54，使冷水不断流经液位槽3中冷凝管53，给液位槽3中显影液降温。测试完毕后，关闭电源控制箱2中电源，开启第二单向阀441，废液通过废液管44排出。 以上所述的本实用新型实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。
权利要求1.一种泡泡高度测试仪，其特征在于，包括化学泵、电路控制箱、液位槽、连接管、制冷设备、基座和主架柜，所述化学泵、电路控制箱和主架柜固定于所述基座，所述电路控制箱与所述化学泵通过控制线连接，所述连接管与所述液位槽连接，所述液位槽设于所述主架柜上部，所述制冷设备设于所述液位槽； 所述制冷设备包括冷水输入管、冷水输出管和冷凝管，所述冷凝管设于所述液位槽内，所述冷凝管两端分别连接冷水输入管和冷水输出管； 所述连接管包括输液管、回流管、排液管、废液管和三通管，所述输液管下端与所述化学泵连接，输液管上端设于所述液位槽侧面，且延伸至液位槽内，所述回流管与所述化学泵连接，所述排液管设于所述液位槽底部排液口，所述回流管和废液管通过三通管连接至排液管。
2.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述基座下方设有四个脚轮。
3.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述液位槽上方设有透明有机玻璃盖。
4.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述液位槽侧面设有玻璃观测口，且所述玻璃观测口上设有刻度尺。
5.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述连接管为PVC管。
6.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述输液管上端设有压力表和压力阀。
7.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述排液管上设有第一单向阀。
8.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述废液管上设有第二单向阀。
9.根据权利要求I所述的一种泡泡高度测试仪，其特征在于，所述冷水输入管和冷水输出管上分别设有开关。
专利摘要本实用新型公开了一种泡泡高度测试仪，包括化学泵、电路控制箱、液位槽、连接管、制冷设备、基座和主架柜，化学泵、电路控制箱和主架柜固定于基座，电路控制箱与化学泵通过控制线连接，连接管与所述液位槽连接，液位槽设于主架柜上部，制冷设备设于液位槽，结构简单，操作方便，自制得到实验室用泡泡测试仪，可模拟工业生产的实际过程，有效评估各种干膜的显影特性，投资低，维护和保养成本低，对生产具有重要的指导作用，有助于企业降低生产成本，减少品质问题，提高生产效率。
文档编号G01B5/02GK202676092SQ20122030369
公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月27日 优先权日2012年6月27日
发明者周婵华, 杨明雄, 徐晶, 陈东淼, 徐斌 申请人:长兴(广州)光电材料有限公司