专利名称：真空光学镀膜检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种工艺过程的自动检测系统，尤其涉及一种真空镀膜技术中工艺过程的自动检测系统，具体为光学镀膜工艺过程的自动检测系统。
背景技术：
在线检测、控制膜层生长的厚度和质量(如光洁度等指标)是镀膜生产的关键技术之一。真空镀膜技术中，光学镀膜用得越来越广、越来越普遍。真空光学镀膜生产过程中，膜厚在线检测系统尤为重要，它关系到整个光控系统的各波长范围内的信号强度及稳定性。测量真空光学镀膜过程中的光路部分目前通常是采用透射式方法，也就是依靠凸透镜使光束准直和汇聚的方法。但检测信号较弱，检测精度较低。CN101825437A公开了一种光学镀膜测量系统反射式光路装置，包括置于真空镀膜室内光束交叉点上的比较片，位于真空镀膜室外的装在真空镀膜室顶部的发射端光路耦合器、第一接收端光路耦合器，位于真空镀膜室外的装于真空镀膜室底部的第二接收端光路耦合器，光束从光源由入射光纤引入发射端光路耦合器被准直后进入真空镀膜室射到比较片上，一部分光透射过比较片后进入第二接收端光路耦合器而另一部分光被比较片反射后进入第一接收端光路耦合器，第一、第二接收端光路耦合器再分别将光束偶合进入光纤、送入检测系统。然而，该光学镀膜测量系统反射式光路装置结构复杂，造价高。
实用新型内容本实用新型的目的是为克服以上不足，提供一种检测信号较强，检测方便及时，结构相对简单的真空光学镀膜检测系统。为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是这样来实现的真空光学镀膜检测系统，具有位于真空镀膜室第一端外的光源；位于真空镀膜室第一端的凸透镜；位于所述光源与所述凸透镜之间的光束准直器；位于真空镀膜室第二端的光电倍增管；与所述光电倍增管电连接的光膜测厚仪；所述光源、光束准直器、凸透镜、光电倍增管的中心位于同一直线上，所述真空镀膜室第一端和所述真空镀膜室第二端相对布置，所述凸透镜将光源聚焦到光电倍增管的光信号接收端，光电倍增管将光信号转换成电信号并放大后输入光膜测厚仪。所述光束准直器为提供平行光的装置。进一步地，所述的真空光学镀膜检测系统的凸透镜到所述光电倍增管的距离与凸透镜的焦距相等。进一步地，所述的真空光学镀膜检测系统的光束准直器具有定位槽。用于固定光束准直器，使之不发生偏移。进一步地，所述的真空光学镀膜检测系统的光束准直器与所述凸透镜之间还具有平行玻璃片。在不冲突的情况下上述改进方案可单独或组合实施。[0011]在玻璃表面镀膜成膜的过程中，光源发出的光通过光束准直器和平行光玻璃片，经凸透镜聚光后透过在镀玻璃及其镀膜层，照射到光电倍增管上，光电倍增管将光信号的变化转化成电信号的强弱，反馈到光膜测厚仪上，镀层越厚，其反射损失的光能俞多，光膜测厚仪的读数越低，可根据光膜测厚仪上的指示，来完成镀膜的加工。本实用新型带来的有益效果本实用新型提供的技术方案，在玻璃表面镀膜成膜的过程中，可在线监控镀膜的情况，检测信号较强，检测方便及时。
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中图I为实施例真空光学镀膜检测系统的结构示意图。
具体实施方式
如图I所示的真空光学镀膜检测系统，光源I位于真空镀膜室6的第一端外面，凸透镜5位于真空镀膜室6的第一端；光束准直器3、平行玻璃片4位于所述光源I与所述凸透镜5之间，平行玻璃片4位于近凸透镜5 —端，光束准直器3具有定位槽2，定位槽限定光束准直器3的位置，从而保障平行光的方向；光电倍增管8位于真空镀膜室6的第二端；光膜测厚仪9与光电倍增管8电连接；光源I、光束准直器3、平行玻璃片4、凸透镜5、光电倍增管8的中心位于同一直线上，所述真空镀膜室第一端和所述真空镀膜室第二端相对布置，所述凸透镜5将光源聚焦到光电倍增管8的光信号接收端，光电倍增管8将光信号转换成电信号并放大后输入光膜测厚仪9，凸透镜5到所述光电倍增管8的距离与凸透镜5的焦距相等，使光电倍增管8接收到的光信号最强，从而提高检测系统的精度。在玻璃表面镀膜成膜的过程中，光源发出的光通过光束准直器和平行光玻璃片，经凸透镜聚光后透过在镀玻璃7及其镀膜层，照射到光电倍增管上，镀层越厚，其反射损失的光能俞多，光信号越低，光电倍增管将光信号的变化转化成电信号的强弱，反馈到光膜测厚仪上，根据光膜测厚仪上的指示，来完成镀膜的加工。显然，本实用新型不限于以上优选实施方式，还可在本实用新型权利要求和说明书限定的精神内，进行多种形式的变换和改进，能解决同样的技术问题，并取得预期的技术效果，故不重述。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容直接或联想到的所有方案，只要在权利要求限定的精神之内，也属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.真空光学镀膜检测系统，其特征在于具有位于真空镀膜室(6)第一端外的光源(I);位于真空镀膜室(6)第一端的凸透镜(5);位于所述光源(I)与所述凸透镜(5)之间的光束准直器(3);位于真空镀膜室(6)第二端的光电倍增管(8);与所述光电倍增管(8)电连接的光膜测厚仪(9);所述光源(I)、光束准直器(3)、凸透镜(5)、光电倍增管(8)的中心位于同一直线上，所述真空镀膜室第一端和所述真空镀膜室第二端相对布置，所述凸透镜(5)将光源聚焦到光电倍增管(8)的光信号接收端，光电倍增管(8)将光信号转换成电信号并放大后输入光膜测厚仪(9)。
2.如权利要求I所述的真空光学镀膜检测系统，其特征在于所述凸透镜(5)到所述光电倍增管(8)的距离与凸透镜(5)的焦距相等。
3.如权利要求I所述的真空光学镀膜检测系统，其特征在于所述光束准直器(3)具有定位槽(2)。
4.如权利要求I所述的真空光学镀膜检测系统，其特征在于在所述光束准直器(3)与所述凸透镜(5 )之间还具有平行玻璃片(4 )。
专利摘要真空光学镀膜检测系统，具有位于真空镀膜室(6)第一端外的光源(1)；位于真空镀膜室(6)第一端的凸透镜(5)；位于所述光源(1)与所述凸透镜(5)之间的光束准直器(3)；位于真空镀膜室(6)第二端的光电倍增管(8)；与所述光电倍增管(8)电连接的光膜测厚仪(9)；所述光源(1)、光束准直器(3)、凸透镜(5)、光电倍增管(8)的中心位于同一直线上，所述真空镀膜室(6)第一端和第二端相对布置，所述凸透镜(5)将光源聚焦到光电倍增管(8)的光信号接收端，光电倍增管(8)将光信号转换成电信号并放大后输入光膜测厚仪(9)。在玻璃表面镀膜成膜的过程中，可在线监控镀膜的情况，检测信号较强，检测方便及时。
文档编号G01B11/06GK202692947SQ20122035968
公开日2013年1月23日 申请日期2012年7月24日 优先权日2012年7月24日
发明者刘益民 申请人:长沙韶光铬版有限公司