一种新型碘化铯闪烁屏的制作方法

文档序号:6187796阅读:1266来源:国知局
一种新型碘化铯闪烁屏的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种新型碘化铯闪烁屏,该碘化铯闪烁屏包括底层和闪烁层,所述的闪烁层由碘化铯层和碘化铊层组成,所述的碘化铊层包覆在碘化铯层的外部。本发明揭示了一种新型碘化铯闪烁屏,该闪烁屏结构设计合理,功能独特,其闪烁层是以碘化铯为光电转换介质,外部包覆碘化铊,该结构设计有效确保了闪烁屏在荧光转换时的稳定性,避免了散射效应的产生,使闪烁屏具有更为优良的MTF值,图像对比度更高,图像质量更为清晰、可靠。
【专利说明】一种新型碘化铯闪烁屏
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种碘化铯闪烁屏,尤其涉及一种可有效提高荧光转换效率和质量的新型碘化铯闪烁屏,属于碘化铯闪烁屏【技术领域】。
【背景技术】
[0002]自从X光被伦琴发现以来,它的用途也越来越广泛,从最初的X光感光照片到后来的X光光电探测器件,从航空航天到高能物理,从军事到医疗再到安检设备,从生产到生活再到科学研究、宇宙探寻,这种射线越来越显示出它独有的魅力。无机闪烁体材料在X射线辐射探测中起着非常重要的作用,广泛应用于影像核医学、核物理、高能物理、CT以及安检等领域。目前研究和应用最多的无机闪烁体材料是碘化铯,该种材料具有转换效率高、动态范围广、空间分辨率高,环境适应性强以及优良的机械性能和相对较低的生产成本等优点。
[0003]在碘化铯闪烁屏的工作过程中,其荧光转换层存在一定的散射现象,该种现象容易影响闪烁屏的MTF值,降低图像的对比度。为了确保图像良好的对比度,现行技术中常在碘化铯原料中添加稳定剂碘化铊,混合后通过热蒸镀工艺进行闪烁屏的制备,但上述工艺对原料的混合百分比、加热、冷却及热蒸镀时间的控制要求非常严格,闪烁层的制备工艺较为复杂,且制备成本高。

【发明内容】

[0004]针对上述需求,本发明提供了一种新型碘化铯闪烁屏,该闪烁屏结构设计合理,其闪烁层是以碘化铯作为光电转换介质,其外部包覆碘化铊,有效的提高了闪烁屏在荧光转换时的稳定性,使闪烁屏具有更为优良的MTF值,图像具有更高的对比度。
[0005]本发明是一种新型碘化铯闪烁屏,该碘化铯闪烁屏包括底层和闪烁层,所述的闪烁层由碘化铯层和碘化铊层组成,所述的碘化铊层包覆在碘化铯层的外部。
[0006]在本发明一较佳实施例中,所述的碘化铯层所选用的碘化铯粉末的颗粒度约为800-1000目,其成型厚度约为100-120um。
[0007]在本发明一较佳实施例中,所述的碘化铊层所选用的碘化铊粉末的颗粒度约为1000-1200目,其成型厚度控制在1.2-1.5um。
[0008]在本发明一较佳实施例中,所述的底层材质可选用玻璃或光纤维面板,其厚度约为 1.5-1.8mmη
[0009]本发明揭示了一种新型碘化铯闪烁屏,该闪烁屏结构设计合理,功能独特,其闪烁层是以碘化铯为光电转换介质,外部包覆碘化铊,该结构设计有效确保了闪烁屏在荧光转换时的稳定性,避免了散射效应的产生,使闪烁屏具有更为优良的MTF值,图像对比度更高,图像质量更为清晰、可靠。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细的说明: 图1是本发明实施例新型碘化铯闪烁屏的结构示意图;
附图中各部件的标记如下:1、底层,2、闪烁层,3、碘化铯层,4、碘化铊层。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0012]图1是本发明实施例新型碘化铯闪烁屏的结构示意图;该碘化铯闪烁屏包括底层I和闪烁层2,所述的闪烁层2由碘化铯层3和碘化铊层4组成,所述的碘化铊层4包覆在碘化铯层3的外部。
[0013]本发明提及的新型碘化铯闪烁屏中,碘化铯层3所选用的碘化铯粉末的颗粒度约为800-1000目,其成型厚度约为100-120um ;碘化铊层4所选用的碘化铊粉末的颗粒度约为1000-1200目,其成型厚度控制在1.2-1.5um ;底层I材质可选用玻璃或光纤维面板,其厚度约为1.5-1.8mm。
实施例
[0014]具体制备过程如下:
a)选备底层,底层材质选用玻璃或光纤维面板,其厚度约为1.5-1.8mm ;底层使用前需进行超声清洗,清洗完毕后进行烘干处理;
b)制备碘化铯层,碘化铯层采用真空热蒸镀工艺进行制备,制备过程如下:首先,定量称取碘化铯粉末,并将粉末置于蒸镀舟内,蒸镀舟与底层之间的距离控制在15-20cm ;然后,将蒸镀室抽真空,真空度控制在10-s -10 torr,底层采用电热丝加热至220°c-240°c;接着,打开蒸镀舟电源,蒸镀舟温度上升至440 V -480 V后,通入氩气,氩气的气流速度控制在3-4m/s,气压值为0.4-0.5Pa,热蒸镀的实施时间控制在10-12分钟;最后,在30°C _35°C的干燥箱内进行干燥处理,处理时间约为40-60分钟,处理后冷却至室温;制得的碘化铯层呈微柱状连续排列,直径约为5-6um,间隙约为0.5-0.8um,厚度约为100-120um ;
c)制备碘化铊层,碘化铊层采用磁控溅射镀膜丁艺进行制备,靶材为碘化铊微粉;射频电源为2000W,真空室的真空度控制在10 _2 -10 torr,底层温度控制在320°C -340°C ;溅射气体选用氩气,气压值控制在1-1.2Pa,溅射电压为2kV,入射角为60°,沉积速度控制在20A/s,制得的碘化铊层的厚度约为1.2-1.5um ;
d)闪烁屏后处理,将制得的闪烁屏置于热风循环干燥箱内进行干燥处理,处理过程中通入氮气,热风的循环温度控制在20°C _25°C,处理时间约为12-30小时。
[0015]本发明揭示了一种新型碘化铯闪烁屏,其特点是:该闪烁屏结构设计合理,功能独特,其闪烁层是以碘化铯为光电转换介质,外部包覆碘化铊,该结构设计有效确保了闪烁屏在荧光转换时的稳定性,避免了散射效应的产生,使闪烁屏具有更为优良的MTF值,图像对比度更高,图像质量更为清晰、可靠。
[0016]以上所述,仅为本发明的【具体实施方式】,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内,可不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种新型碘化铯闪烁屏,其特征在于,该碘化铯闪烁屏包括底层和闪烁层,所述的闪烁层由碘化铯层和碘化铊层组成,所述的碘化铊层包覆在碘化铯层的外部。
2.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏,其特征在于,所述的碘化铯层所选用的碘化铯粉末的颗粒度约为800-1000目,其成型厚度约为100-120um。
3.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏,其特征在于,所述的碘化铊层所选用的碘化铊粉末的颗粒度约为1000-1200目,其成型厚度控制在1.2-1.5um。
4.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏,其特征在于,所述的底层材质可选用玻璃或光纤维面板,其厚度约为1.5-1.8mm。
【文档编号】G01T1/20GK103700425SQ201310672244
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】范波 申请人:江苏龙信电子科技有限公司
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