一种电学阵列检测设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种电学阵列检测设备，包括：机台，机台包括：支撑待测基板的可升降台和固定台，固定台位于可升降台的上方，升降台可带动待测基板向固定台移动一定距离；位于机台上方、用于固定探针框架的安装架，安装架与机台相对设置、且安装架可沿机台的可升降台的升降方向移动；至少一个设置于机台的固定台和探针框架之间、用于支撑探针框架和调节固定台与探针框架之间距离的伸缩机构。本发明提供的电学阵列检测设备，通过在固定台和探针框架之间设置伸缩机构，使得每次更换探针框架后，调整探针框架和固定台之间的间隙变的自动化些，减少了调整的时间，提高了电学阵列检测设备的工作效率。
【专利说明】—种电学阵列检测设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示【技术领域】，特别涉及一种电学阵列检测设备。
【背景技术】
[0002]在阵列基板生产的过程中，需要通过电学阵列检测设备对阵列基板进行检测，测试时，如图1所示，图1为现有技术中电学阵列检测设备的结构示意图，将待测基板放在电学阵列检测设备中的机台01的可升降台012上，通过气缸吹氮气驱动机台01的可升降台012升起来，并与探针框架02中的探针接触，测试原理是将探针框架02上的信号通过探针导入待测基板。
[0003]测试每种尺寸的阵列基板都有相对应的探针框架02，测试前需进行探针框架02的更换，更换后需要对探针框架02与机台01的固定台011之间的间隙进行调整，因为探针框架02与01的固定台011之间的间隙若太大，会导致机台01的可升降台012升起固定距离后，阵列基板无法与探针框架02上的探针接触，信号便没办法正常加入；间隙若太小会导致机台01的可升降台012升起后，阵列基板与探针框架02上的探针发生挤压，导致阵列基板碎角的发生。现有技术中的调试方法为增加或减少机台的固定台011上的铁板垫片03，以调整机台01的固定台011与探针框架02之间的间隙。
[0004]但是，现有技术中的这种调试方法比较困难，调试时需要一次次通过尺子测量间隙的大小，然后不断的去调节间隙大小直至合适为止，且间隙大小的精确度无法用肉眼去目测，调试非常费时间，导致抽真空时间严重加长，影响测试的准确性。
【发明内容】
[0005]本发明提供了一电学阵列检测设备，可以自动调整探针框架与机台的固定台之间的间隙，具有较高的工作效率。
[0006]为达到上述目的，本发明提供以下技术方案:
[0007]一种电学阵列检测设备，包括:
[0008]机台，所述机台包括:支撑待测基板的可升降台和固定台，所述固定台位于所述可升降台的上方，所述升降台可带动所述待测基板向所述固定台移动一定距离；
[0009]位于所述机台上方、用于固定探针框架的安装架，所述安装架与所述机台相对设置、且所述安装架可沿所述机台的可升降台的升降方向移动；
[0010]至少一个设置于所述机台的固定台和所述探针框架之间、用于支撑所述探针框架和调节所述固定台与所述探针框架之间距离的伸缩机构。
[0011]本发明提供的电学阵列检测设备，通过在固定台和探针框架之间设置伸缩机构，使得每次更换探针框架后，调整探针框架和固定台之间的间隙变的自动化些，减少了调整的时间，提高了电学阵列检测设备的工作效率。
[0012]在一些可选的实施方式中，所述伸缩机构为四个，每一个所述伸缩机构包括:固定于所述固定台的驱动装置、与所述驱动装置相对固定的缸筒、第一活塞杆和第二活塞杆，所述第二活塞杆与所述驱动装置传动连接，所述第一活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵。当探针框架与固定台之间的距离较小时，驱动装置将驱动第二活塞杆向上运动，由于第一活塞杆和第二活塞杆之间的液压油处于密封状态，因此当第二活塞杆向上运动时，将挤压液压油，进而液压油将推动第一活塞杆向上运动，第一活塞杆将推动探针框架向上运动，进而增大探针框架与固定台之间的距离达到需要的距离，反之，当探针框架与固定台之间的距离较大时，驱动装置将驱动第二活塞杆向下运动，液压油将向下运动，进而第一活塞杆在重力的作用下将向下运动，探针框架也会随着第一活塞杆的运动而下移，进而减小探针框架与固定台之间的距离达到需要的距离。
[0013]在一些可选的实施方式中，所述缸筒具有与所述第一活塞杆的活塞滑动密封的第一滑动腔，和与所述第二活塞杆的活塞滑动密封的第二滑动腔，所述第一滑动腔的直径大于所述第二滑动腔的直径。由于第一滑动腔和第二滑动腔的直径不同，这样第一活塞杆和第二活塞杆的行程也不同，即第一活塞杆移动的距离小于第二活塞杆的移动距离，这样可以增大探针框架与固定台之间的调整精度。
[0014]在一些可选的实施方式中，所述驱动装置为液压马达。
[0015]在一些可选的实施方式中，所述第一活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述第一活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。
[0016]在一些可选的实施方式中，所述伸缩机构为四个驱动油缸，所述驱动油缸的活塞杆自其缸筒的一端伸出，且所述活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵，所述驱动油缸的缸筒的另一端与所述固定台固定连接。这种结构的液压油缸，可以通过液压油的进出控制活塞杆的伸出和缩回。
[0017]在一些可选的实施方式中，所述活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。
[0018]在一些可选的实施方式中，所述可升降台朝向所述探针框架的一面设有与所述待测基板的四个角一一对应的压力传感器，当所述压力传感器感应到压力时，所述压力传感器的指示灯发光；当所述压力传感器未感应到压力时，所述压力传感器的指示灯熄灭。设置的压力传感器可以感应到待测基板的四个角是否完整，若待测基板中的某个角不完整，与这个角对应的压力传感器将感应不到这个角，即可提醒操作人员这个待测基板是不完整的，实现对待测基板是否碎角的实时监测。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为现有技术中电学阵列检测设备的结构示意图；
[0020]图2为本发明实施例提供的电学阵列检测设备示意图；
[0021]图3为本发明实施例提供的电学阵列检测设备中的伸缩机构一种结构示意图；
[0022]图4为本发明实施例提供的电学阵列检测设备中的伸缩机构另一种结构示意图；
[0023]图5为本发明实施例提供的电学阵列检测设备的升降台的部分结构示意图。
[0024]附图标记:
[0025]01-机台011-固定台012-升降台02-探针框架03-铁板垫片1_机台
11-固定台12-升降台2-探针框架 3-伸缩机构 31-驱动装置 32-第一活塞杆33-第二活塞杆341-第一滑动腔342-第二滑动腔34-缸筒35-位移传感器36-活塞杆37-缸筒4-压力传感器【具体实施方式】
[0026]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0027]如图2所示，图2为本发明实施例提供的电学阵列检测设备示意图，本发明实施例提供的电学阵列检测设备，包括:
[0028]机台1，机台I包括:支撑待测基板的可升降台12和固定台11，固定台11位于可升降台12的上方，升降台12可带动待测基板向固定台11移动一定距离；
[0029]位于机台I上方、用于固定探针框架2的安装架(图中未示出)，安装架与机台I相对设置、且安装架可沿机台I的可升降台12的升降方向移动(如图2中所示的箭头方向)；
[0030]至少一个设置于机台I的固定台11和探针框架2之间、用于支撑探针框架2和调节固定台11与探针框架2之间距离的伸缩机构3。
[0031]本发明提供的电学阵列检测设备，通过在固定台11和探针框架2之间设置伸缩机构3，使得每次更换探针框架2后，调整探针框架2和固定台11之间的间隙变的自动化些，减少了调整的时间，提高了电学阵列检测设备的工作效率。
[0032]上述伸缩机构的具体结构可以有多种:
[0033]一种具体的实施方式中，伸缩机构3为四个，如图3所示，图3为本发明实施例提供的电学阵列检测设备中的伸缩机构一种结构示意图，每一个伸缩机构3包括:固定于固定台11的驱动装置31、与驱动装置31相对固定的缸筒34、第一活塞杆32和第二活塞杆33，第二活塞杆33与驱动装置31传动连接，第一活塞杆32的伸出端的末端与探针框架2朝向固定台11的一面相抵。当探针框架2与固定台11之间的距离较小时，驱动装置31将驱动第二活塞杆33向上运动，由于第一活塞杆32和第二活塞杆33之间的液压油处于密封状态，因此当第二活塞杆33向上运动时，将挤压液压油，进而液压油将推动第一活塞杆32向上运动，第一活塞杆32将推动探针框架2向上运动，进而增大探针框架2与固定台11之间的距离达到需要的距离，反之，当探针框架2与固定台11之间的距离较大时，驱动装置21将驱动第二活塞杆33向下运动，液压油将向下运动，进而第一活塞杆32在重力的作用下将向下运动，探针框架2也会随着第一活塞杆32的运动而下移，进而减小探针框架2与固定台11之间的距离达到需要的距离。
[0034]上述缸筒34与驱动装置31相对固定，可选的，缸筒34也固定在固定台11上，或者固定在电学阵列检测设备的壳体上。
[0035]较佳的实施方式中，四个伸缩装置分别支撑探针框架2的一个边角。
[0036]优选地，请继续参考图3，上述缸筒34具有与第一活塞杆32的活塞滑动密封的第一滑动腔341，和与第二活塞杆33的活塞滑动密封的第二滑动腔342，第一滑动腔341的直径大于第二滑动腔342的直径。由于第一滑动腔341和第二滑动腔342的直径不同，这样第一活塞杆32和第二活塞杆33的行程也不同，即第一活塞杆32移动的距离小于第二活塞杆33的移动距离，这样可以增大探针框架2与固定台11之间的调整精度。[0037]可选地，上述驱动装置31为液压马达。第二活塞杆与液压马达的输出轴可以通过螺纹配合实现传动连接，当然，第二活塞杆与液压马达之间也可以通过其它连接装置实现传动连接，这里就不再一一赘述。
[0038]优选的,第一活塞杆32的伸出端设有位移传感器35,位移传感器35用于检测和显示第一活塞杆32的末端与固定台11之间的距离。为了便于调试，操作人员可以根据经验设定探针框架2和固定台11之间的间隙的一个基准值，初始状态时，可以根据位移传感器显示的距离值，将探针框架2和固定台11之间的间隙调整为这个基准值，这样，在每次更换探针框架2后，调整的小一些。另外也可以预先设定位移传感器35的距离，控制第一活塞杆32移动的距离。
[0039]另一种【具体实施方式】中，如图4所示，图4为本发明实施例提供的电学阵列检测设备中的伸缩机构另一种结构示意图，伸缩机构为四个驱动油缸，驱动油缸的活塞杆36自其缸筒37的一端伸出，且活塞杆36的伸出端的末端与探针框架2朝向固定台11的一面相抵，驱动油缸的缸筒37的另一端与固定台11固定连接。这种结构的液压油缸，可以通过液压油的进出控制活塞杆36的伸出和缩回。
[0040]较佳的实施方式中，每一个驱动油缸分别支撑探针框架2的一个边角。
[0041 ] 优选的，活塞杆36的伸出端设有位移传感器35，位移传感器35用于检测和显示活塞杆36的末端与固定台11之间的距离。为了便于调试，操作人员可以根据经验设定探针框架2和固定台11之间的间隙的一个基准值，初始状态时，可以根据位移传感器35显示的距离值，将探针框架2和固定台11之间的间隙调整为这个基准值，这样，在每次更换探针框架2后，调整的小一些。另外也可以预先设定位移传感器35的距离，控制活塞杆36移动的距离。
[0042]为了及时知道待测基板的四个角是否有破损，优选的，如图5所示，图5为本发明实施例提供的电学阵列检测设备的升降台的部分结构示意图，可升降台12朝向探针框架2的一面设有与待测基板的四个角一一对应的压力传感器4，当压力传感器4感应到压力时，4的指示灯发光；当压力传感器4未感应到压力时，压力传感器4的指示灯熄灭。设置的压力传感器4可以感应到待测基板的四个角是否完整，若待测基板中的某个角不完整，与这个角对应的压力传感器35将感应不到这个角，即可提醒操作人员这个待测基板是不完整的，实现对待测基板是否碎角的实时监测。实现提醒的方式可以通过亮灯显示，也可以通过告警提醒。待测基板碎角的范围一般为5_米左右，因此可以根据实际需要，将压力传感器的感应半径设置为5mm左右。
[0043]显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种电学阵列检测设备，其特征在于，包括: 机台，所述机台包括:支撑待测基板的可升降台和固定台，所述固定台位于所述可升降台的上方，所述升降台可带动所述待测基板向所述固定台移动一定距离； 位于所述机台上方、用于固定探针框架的安装架，所述安装架与所述机台相对设置、且所述安装架可沿所述机台的可升降台的升降方向移动； 至少一个设置于所述机台的固定台和所述探针框架之间、用于支撑所述探针框架和调节所述固定台与所述探针框架之间距离的伸缩机构。
2.根据权利要求1所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述伸缩机构为四个，每一个所述伸缩机构包括:固定于所述固定台的驱动装置、与所述驱动装置相对固定的缸筒、第一活塞杆和第二活塞杆，所述第二活塞杆与所述驱动装置传动连接，所述第一活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵。
3.根据权利要求2所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述缸筒具有与所述第一活塞杆的活塞滑动密封的第一滑动腔和与所述第二活塞杆的活塞滑动密封的第二滑动腔，所述第一滑动腔的直径大于所述第二滑动腔的直径。
4.根据权利要求3所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述驱动装置为液压马达。
5.根据权利要求3所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述第一活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述第一活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。
6.根据权利要求1所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述伸缩机构为四个驱动油缸，所述驱动油缸的活塞杆自其缸筒的一端伸出，且所述活塞杆的伸出端的末端与所述探针框架朝向所述固定台的一面相抵，所述驱动油缸的缸筒的另一端与所述固定台固定连接。
7.根据权利要求6所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述活塞杆的伸出端设有位移传感器，所述位移传感器用于检测和显示所述活塞杆的末端与所述固定台之间的距离。
8.根据权利要求1?7任一项所述的电学阵列检测设备，其特征在于，所述可升降台朝向所述探针框架的一面设有与所述待测基板的四个角一一对应的压力传感器，当所述压力传感器感应到压力时，所述压力传感器的指示灯发光；当所述压力传感器未感应到压力时，所述压力传感器的指示灯熄灭。
【文档编号】G01R31/00GK103698630SQ201310688061
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】陈俊, 魏振, 郭世波, 陈庆友, 付修行, 孙纬伟, 周登成 申请人:合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司