用于晶棒电阻自动测试的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置，包括：支架，在所述支架上设有滑轨；长压板，所述长压板设置在所述滑轨上，在所述长压板开有安装孔；探针，所述探针设置在所述安装孔内；其中所述探针及所述安装孔的数量为36个；数据扫描仪，所述数据扫描仪与所述探针连接。所述数据扫描仪包括相互连接的电压表、电流表及数据采集器。在所述长压板上安装有圆压块。所述圆压块的数量为1～3个。所述长压板的材质为金属。本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置将传统的晶棒电阻测量方法由两探针手工逐段移动进行测试改为多探针同时自动测量，提高了晶棒的测试速度及生产效率，同时减少了人工测试的误差，提高了测试精度。
【专利说明】用于晶棒电阻自动测试的装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体制造领域，适用半导体制冷器，特别是一种用于晶棒电阻自动测试的装置。
【背景技术】
[0002]晶棒制成后，需测试晶棒电阻值。长期以来晶棒电阻测试是采用两探针手工逐段移动进行测试:晶棒测试架导轨上装有塑料压板，塑料压板上安装2根探针(见图1)。晶棒从尾部到头部按10毫米间隔分成若干段，测量时晶棒从尾部开始，每段测量两个点。每测完一段，塑料压板和两探针需移动10毫米(移动一段)，分多次逐段测量电阻，电阻值在电压表显示，人工进行记录。这种测试方法存在以下缺点:
[0003]1.探针靠人工移动，测量一根晶棒要移动35次，每测量I次电阻值，需人工记录I次，再输入电脑。费时费力，效率较低。
[0004]2.由于探针靠人工移动，每次移动的距离不完全一致。同时测量时两探针需完全与晶棒接触，而塑料压板较轻，测量时需用手压在塑料压板上使探针完全接触晶棒表面，压力有大有小。不可避免的带来一些人为误差，影响了晶棒电阻测量的准确性。一根晶棒上测得的电阻值离散性较大。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种减少人工测试误差，提高测试精度的用于晶棒电阻自动测试的装置。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置，包括:支架，在所述支架上设有滑轨；长压板，所述长压板设置在所述滑轨上，在所述长压板开有安装孔；探针，所述探针设置在所述安装孔内；其中所述探针及所述安装孔的数量为36个；数据扫描仪，所述数据扫描仪与所述探针连接。
[0007]所述数据扫描仪包括相互连接的电压表、电流表及数据采集器。
[0008]在所述长压板上安装有圆压块。
[0009]所述圆压块的数量为I个?3个。
[0010]所述长压板的材质为金属。
[0011]本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置将传统的晶棒电阻测量方法由两探针手工逐段移动进行测试改为多探针同时自动测量，提高了晶棒的测试速度及生产效率，同时减少了人工测试的误差，提高了测试精度。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置正视图；
[0013]图2为本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置正视图。
[0014]本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置附图中附图标记说明:[0015]1-探针 2-长压板 3-待测晶棒
[0016]4-滑轨 5-支架6-圆压块
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置作进一步详细说明。
[0018]如图1、图2所示，本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置，在支架5的滑轨4上安装金属长压板2，金属长压板2上开36个孔，其内安装36根探针I。在金属长压板2上安装圆压块6，(可根据待测晶棒3的长度确定安装I个~3个圆压块6)。测试时圆压块6处水平状态，依靠重力使每根探针I同待测晶棒3表面完全接触。同时增加数据扫描仪，在原电压表和电流表基础上增加数据采集器，通过编程数据采集器将测得的电阻值自动输入电脑，电阻值的输出完全自动，人工无需操作。
[0019]本实用新型用于晶棒电阻自动测试的装置将传统的晶棒电阻测量方法由两探针手工逐段移动进行测试改为多探针同时自动测量，提高了晶棒的测试速度及生产效率，同时减少了人工测试的误差，提高了测试精度。
[0020]以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。`
【权利要求】
1.用于晶棒电阻自动测试的装置，其特征在于，包括: 支架，在所述支架上设有滑轨； 长压板，所述长压板设置在所述滑轨上，在所述长压板开有安装孔； 探针，所述探针设置在所述安装孔内；其中所述探针及所述安装孔的数量为36个； 数据扫描仪，所述数据扫描仪与所述探针连接。
2.根据权利要求1所述的用于晶棒电阻自动测试的装置，其特征在于，所述数据扫描仪包括相互连接的电压表、电流表及数据采集器。
3.根据权利要求1所述的用于晶棒电阻自动测试的装置，其特征在于，在所述长压板上安装有圆压块。
4.根据权利要求3所述的用于晶棒电阻自动测试的装置，其特征在于，所述圆压块的数量为I个?3个。
5.根据权利要求1或3所述的用于晶棒电阻自动测试的装置，其特征在于，所述长压板的材质为金属。
【文档编号】G01R27/08GK203672973SQ201320735669
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月20日 优先权日:2013年11月20日
【发明者】李鑫, 贺贤汉, 鲁瑞平 申请人:上海申和热磁电子有限公司