绝缘检查方法以及绝缘检查装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种绝缘检查方法以及绝缘检查装置，可进行绝缘不良部的正确的电阻测定。一种形成有多个配线图案的基板的绝缘检查装置，其具有：选出单元，其选出一个配线图案作为第一测定部，并且选出与该第一测定部具有绝缘不良的配线图案作为对象测定部；电源单元，其在第一测定部与对象测定部之间供给预定的电信号；测定单元，其测定其间的电特性；以及计算单元，其根据电源单元所供给的电信号和测定单元所测定的测定值，计算第一测定部与对象测定部之间的绝缘不良部的电特性，选出单元使第一测定部的一端与电源单元的一端进行导通连接，使第一测定部的另一端与测定单元的一端进行导通连接，使对象测定部的一端与电源单元的另一端进行导通连接，使对象测定部的另一端与测定单元的一端进行导通连接。
【专利说明】绝缘检查方法以及绝缘检查装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种绝缘检查方法以及绝缘检查装置，更详细地说，涉及一种在形成于基板的配线图案间发现短路不良时，能够计算该短路不良部位的正确电阻值的绝缘检查方法以及绝缘检查装置。
[0002]另外，本发明不限于印刷配线基板，能够适用于例如柔性基板、多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、以及半导体封装体用的封装体基板或薄膜载体等各种基板中的电气配线的检查，在本说明书中，将该等各种配线基板统称为“基板”。
【背景技术】
[0003]形成在基板的多个配线图案被形成为具有各式各样的大小或形状。为了检查各个配线图案是否形成为所希望的形状等，通过计算预定的二点间的电阻值(导通检查)、或计算预定的二点间的绝缘性(绝缘检查)，来实施如上面所说明的那样形成的配线图案是否被形成为状态良好的配线图案的检查。
[0004]在以往的一般检查方法中，存在一种导通检查方法，在该方法中，为了检查成为检查对象的多个配线图案，通过分别设定与这些配线图案导通的基板表面上的所希望部位作为检查点，并在所希望的检查点间供给电信号，来检查检查点间的配线图案的导通状态。
[0005]并且，为了检查一个配线图案与其他配线图案的绝缘状态，存在有一种绝缘检查方法，在该绝缘检查方法中，通过对一个配线图案的检查点供给电信号，并测定从其他配线图案的检查点检测的电信号，来检查配线图案间的绝缘状态。
[0006]尤其近年来，随着基板的微细化，随着形成在基板的配线图案的微细化或复杂化的发展，配线图案间的间距变短，并且其制造工序复杂化。因此，无法通过以往的绝缘检查方法来发现的绝缘不良成为问题。为了解决这样的问题，存在有如下的技术:使提供给配线图案的电压值或电流值阶段式地改变，由此，一面防止配线图案的绝缘不良部位等因过电流而烧损，一面进行检查(专利文献I)。
[0007]并且，本 申请人:已提出一种基板检查方法，通过该基板检查方法，能够发现存在有邻接的配线图案之间疑似已短路的包含有疑似短路部那样的绝缘不良(专利文献2)。
[0008]在先技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本特开平6-230058号公报
[0011]专利文献2:日本特开2008-139036号公报
【发明内容】
[0012]发明所要解决的问题
[0013]但是，在专利文献I或2所记载的绝缘检查方法中，虽然可发现配线图案间的绝缘不良或疑似绝缘不良，但是无法计算该绝缘不良的正确的电阻值。
[0014]并且，以往，具有短路不良的基板一般被直接进行废弃处理，但是如上所述的配线图案的线宽和其间距宽被形成得较短，因此发生不良的机率上升，从而产生不合格品率影响基板制造的成本的问题。因此，基板的制造厂商如何提高合格品率成为较大的问题，对不良进行解析成为重要的要素。
[0015]用于解决问题的手段
[0016]在本发明的第一方面中，提供一种绝缘检查装置，其对形成有多个配线图案的基板的该配线图案进行绝缘检查，具有:选出单元，其从所述多个配线图案中选出成为检查对象的一个配线图案作为第一测定部，并且选出与该第一测定部具有绝缘不良的配线图案作为对象测定部；电源单元，其在所述第一测定部与所述对象测定部之间供给预定的电信号；测定单元，其测定通过所述电源单元在所述第一测定部与所述对象测定部之间供给电信号时的电特性；以及计算单元，其根据所述电源单元所供给的电信号和所述测定单元所测定的测定值，计算所述第一测定部与所述对象测定部之间的绝缘不良部的电特性，所述选出单元使所述第一测定部的一端与所述电源单元的一端进行导通连接，使所述第一测定部的另一端与所述测定单元的一端进行导通连接，使所述对象测定部的一端与所述电源单元的另一端进行导通连接，使所述对象测定部的另一端与所述测定单元的一端进行导通连接。
[0017]在本发明的第二方面中，在上述第一方面所涉及的绝缘检查装置中，所述绝缘检查装置具有促使所述选出单元、所述测定单元以及所述计算单元实施预定动作的控制单元，所述控制单元促使所述选出单元将被选为所述第一测定部的配线图案以外的配线图案并联连接而选为第二测定部，促使所述电源单元在所述第一测定部与所述第二测定部之间供给预定的电信号，促使所述测定单元与所述第一测定部或所述第二测定部进行串联连接，而测定该第一测定部与该第二测定部之间的电特性，促使所述计算单元根据所述电信号和所述测定值，计算所述第一测定部与所述第二测定部之间的绝缘状态，在所述计算单元所计算出的绝缘状态为不良时，促使所述选出单元选出与所述第一测定部具有绝缘不良的配线图案作为所述对象测定部。
[0018]在本发明的第三方面中，在上述第二方面所涉及的绝缘检查装置中，在所述计算单元所计算出的绝缘状态为不良时，为了确定与所述第一测定部具有绝缘不良部的配线图案，所述控制单元促使所述选出单元从所述第二测定部选出一配线图案，促使所述电源单元在所述第一测定部与所述一配线图案之间供给预定的电信号，促使所述测定单元测定所述第一测定部与所述一配线图案之间的电特性，促使所述计算单元根据所述电信号和所述测定值，计算所述第一测定部与所述一配线图案之间的绝缘状态，所述控制单元根据所述计算出的绝缘状态结果，确定与所述第一测定部具有绝缘不良部的配线图案。
[0019]在本发明的第四方面中，提供一种绝缘检查方法，对形成有多个配线图案的基板的该配线图案进行绝缘检查，所述绝缘检查方法的特征在于，从所述多个配线图案中选出成为检查对象的一个配线图案作为第一测定部，并且选出该第一测定部以外的配线图案作为第二测定部，计算所述第一测定部与所述第二测定部之间的绝缘状态，在所述第一测定部与所述第二测定部之间计算绝缘不良，从所述第二测定部检测与所述第一测定部具有绝缘不良部的配线图案，在与所述第一测定部具有绝缘不良的配线图案和所述第一测定部之间，供给预定的电信号，并且测定电特性，根据所述电源单元所供给的电信号和所述测定单元所测定的测定值，计算所述第一测定部与所述对象测定部之间的绝缘不良部的电特性。
[0020]通过上述第一方面，可计算绝缘不良部的正确的电阻值。
[0021]通过上述第二方面，实施基板的配线图案的绝缘检查，在该绝缘检查中可对具有绝缘不良的基板的配线图案计算绝缘不良部的正确的电阻值。
[0022]通过上述第三方面，在绝缘检查中检测出绝缘不良时，能够确定成为检查对象的配线图案、以及哪一个配线图案与该配线图案具有绝缘不良部，且能够在绝缘检查的一连串过程中计算绝缘不良部的电阻值。
[0023]通过上述第四方面，在实施绝缘检查并检测出绝缘不良时，能够计算绝缘不良部的电阻值。因此，在绝缘检查的一连串检查过程中，能够计算绝缘不良部的电阻值。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1是用于说明本发明的绝缘检查方法的示意结构图。
[0025]图2是用于说明本发明的绝缘检查方法的示意图，示出实施绝缘检查的样子。另夕卜，示出选出配线图案WPl作为检查对象的状态。
[0026]图3A是示出实施选出配线图案WP2作为检查对象的绝缘检查的样子的图。
[0027]图3B是示出检测配线图案WP2所具有的绝缘不良部的状态的图。
[0028]图4示出用于计算配线图案WP2所具有的绝缘不良部Rx的示意电路图。
[0029]图5是用于实现本绝缘检查方法的本绝缘检查装置的示意结构图。
[0030]图6是示出本绝缘检查装置进行导通检查的状态的示意结构图。
[0031]图7是示出本绝缘检查装置进行绝缘检查的状态的示意结构图。
[0032]图8是示出本绝缘检查装置计算绝缘不良部的电阻值的状态的示意结构图。
【具体实施方式】
[0033]说明用于实施本发明的最佳方式。
[0034]说明本发明的绝缘检查方法。图1是用于说明对基板CB进行绝缘检查的说明图。在该图1所示的基板CB形成有五个配线图案WP (配线图案WPl?配线图案WP5)。并且，在配线图案WP2与配线图案WP3之间具有绝缘不良部Rx，配线图案WP2与配线图案WP3处于短路状态。
[0035]在该图1中，为了实施基板CB的绝缘检查，接触探针(探针CPl?CP5、CPll?CP15)分别与各配线图案WP上所设定的检查点(检查点SI?S5、S11?S15)进行导通接触。并且，这些探针CP分别连接有开关SW(SWl?SW5、SWll?15)。并且，配置有用于实施绝缘检查的电源单元2和测定单元3，根据由电源单元2供给的电力值和测定单元3所测定的电信号值，计算绝缘状态。
[0036]在图1中，使用可变电压源作为电源单元2，但是并非特别限定于此，只要能够为了进行绝缘检查而适当调整提供预定电位的电压来进行供给即可。并且，能够使用电流计作为测定单元3，但是并非特别限定于此，只要能够检测检查对象间的电特性即可。另外，还可设置电压计3’，该电压计3’确认在检查对象间被赋予用于实施绝缘检查的预定电位差的情况。
[0037]首先，实施形成在该基板CB的五个配线图案WP各自的绝缘检查。该绝缘检查例如如图2所示，在配线图案WPl被设定为作为检查对象的配线图案时，将开关SWl切换成导通(ON)而使电源单元2与配线图案WPl相连接，将开关SW12?开关SW15切换成导通而使配线图案WP2?配线图案WP5分别以串联的方式与测定单元3连接。另外，此时，虽然通过电源单元2所供给的电力值和测定单元3所测定的电信号来判定绝缘状态，但是能够判定配线图案WPl与其他配线图案WP之间的绝缘状态良好。如上所示设定配线图案WP作为检查对象，并选出全部配线图案WP作为检查对象来实施基板CB的绝缘检查。
[0038]在该基板CB存在有绝缘不良部Rx，因此在选择配线图案WP2作为检查对象时，检测绝缘不良(参照图3A)。此时，配线图案WP2与电源单元2相连接，配线图案WPl和配线图案WP3?配线图案WP5与测定单元3相连接。此时，测定单元3因绝缘不良部Rx而测定预定基准以上的电信号值。
[0039]若判定在配线图案WP2存在绝缘不良，则接着测定哪一个配线图案PW与配线图案WP2具有绝缘不良。此时，在配线图案WP2保持连接于电源单元2的状态下，将剩下的配线图案WP逐一作循环比对，根据测定单元3测定的电信号找出绝缘不良部Rx的所在。在为基板CB时，如图3B所示，开关SW13被切换成导通，由于存在绝缘不良部Rx，因此配线图案WP2与配线图案WP3形成为导通状态，测定单元3测定受到绝缘不良部Rx的影响的电信号。因此，能够找到配线图案WP2与配线图案WP3具有绝缘不良部Rx。
[0040]若得知配线图案WP2与配线图案WP3具有绝缘不良部Rx，则接着计算该绝缘不良部Rx的电阻值。图4是用于计算该绝缘不良部Rx的示意电路图。在该图4的电路图中，电源单元2的一端与配线图案WP2相连接，电源单元2的另一端与配线图案WP3相连接。优选使用恒定电流源作为电源单元2，并且，优选使用电压计32作为测定单元3。这是为了计算绝缘不良部Rx的电阻值。
[0041 ] 在该图4中，由电源单元2供给的电力的电流通过探针CP2而在经由配线图案WP2的一部分、绝缘不良部Rx、配线图案WP3的一部分以及探针CP3的闭电路流通。并且，测定单元3能够经由配线图案WP2和配线图案WP3来测定绝缘不良部Rx的两端的电位差。
[0042]因此，能够根据来自电源单元2的电力值与测定单元3的电压值，计算绝缘不良部Rx的电阻值。
[0043]如上所示，通过连接如图4所示的电源单元2和测定单元3，可去除各个探针CP的接触电阻值以及配线图案WP2和配线图案WP3的配线本身的电阻值，而仅计算绝缘不良部Rx的电阻值。
[0044]因此，无需使用四端子测定法，即能够正确且稳定地计算绝缘不良部Rx的电阻值。
[0045]接着，说明本发明的绝缘检查装置。
[0046]图5是用于实现本绝缘检查方法的本绝缘检查装置I的示意结构图。该本绝缘检查装置I具有电源单元2、测定单元3、计算单元41、判定单元42、控制单元43、选出单元44、存储单元45、切换单元7、第一端子8、第二端子9以及显示单元10。
[0047]并且，该绝缘检查装置I使用分别与形成在基板CB的配线图案WP上所设定的多个检查点P电连接的接触探针(探针CP)。能够通过该探针CP对预定的检查点收发预定的电信号。在图5所示的绝缘检查装置I的示意结构图中，示出实施形成在基板CB的配线图案WP (WPl和WP2)的绝缘检查的样子。
[0048]另外，在实施绝缘检查时，通常实施与全部配线图案之间的绝缘检查，但是在该图5所示的基板CB中，形成有两个配线图案WPl?WP2，在这些配线图案WP存在有绝缘不良部Rx ο
[0049]电源单元2供给检查对象间的预定电信号。该电源单元2在产生实施检查对象间的绝缘检查时的预定电位差时、以及计算绝缘不良部fcc的电阻值时，供给预定的电信号。另外，在实施检查对象间的绝缘检查时，能够使用可变电压源，并且，在计算绝缘不良部Rx时，能够使用恒定电流源。
[0050]电源单元2根据实施导通检查时、实施绝缘检查时或计算绝缘不良部的电阻值时的各个情形适当变更所使用的电压来使用。尤其是，绝缘不良部Rx在被以较大的电压值实施绝缘检查时会发生烧损。因此，实施绝缘不良部Rx不会烧损的程度的电压、即Iv以下的电压值下的绝缘检查。另外，还可在实施了该低电压的绝缘检查之后，实施高电压的绝缘检查。
[0051]测定单元3能够测定被连接的位置的电信号，且具有第一测定单元31以及第二测定单元32。
[0052]第一测定单元31能够测定第一测定单元31所具有的两端子间的电位差。该第一测定单元31能够使用例如电压计。
[0053]第二测定单元32能够测定通过第二测定单元32的电信号的大小，能够使用例如电流计。
[0054]第一测定单元31和第二测定单元32通过后述的切换单元7而与预定的配线图案WP相连接。第一测定单元31和第二测定单元32分别测定到的测定值被发送至后述的存储单元45。
[0055]计算单元41能够根据来自测定单元3的测定值以及来自电源单元2的电信号值，来计算电特性。更具体地说，计算单元41被设定为:若被输入测定值以及电信号值，则计算电阻值。另外，该计算单元41所计算出的电阻值被发送至存储单元45。
[0056]该计算单元41在绝缘检查时计算第一测定部与第二测定部之间的绝缘状态，在绝缘不良部fcc的部位被确定出时，计算绝缘不良部fcc的电阻值。
[0057]判定单元42实施检查对象间的绝缘检查，根据计算单元41所计算出的电阻值，判定检查对象间的绝缘状态。该判定单元54所进行的判定能够通过预先将为合格品时的电阻值设定为基准值并将该计算结果与基准值作比较，来判定其是否合格。
[0058]在进行绝缘检查时，由于检查对象间的绝缘性能否被可靠地维持是个问题，因此在计算结果大于基准值时，判断为绝缘状态良好，在计算结果小于基准值时，判断为绝缘状态不良。该基准值能够按每个检查对象间或每个预定群来进行设定。另外，该判定单元42对基板CB进行合格品/不合格品的判定后，在后述的显示单元10进行合格品或不合格品的显示。
[0059]控制单元43发送促使电源单元2、测定单元3、计算单元41、判定单元42、选出单元44、存储单元45以及切换单元7分别实施预定动作的电信号。该控制单元43的动作能够事先储存在存储单元45，以各单元按照该储存的控制顺序进行动作的方式予以控制。另外，在该控制单元43，以能够实施上述说明的绝缘检查的方式来准备控制信号。
[0060]选出单元44在绝缘检查时，从基板CB的多个检查点选出成为检查对象间的一个配线图案WP，并设定为第一测定部，并且设定其他配线图案WP为第二测定部。并且，该选出单元44在确定绝缘不良部Rx时，将被设定为第一测定部的配线图案WP以外的配线图案逐一选出来，作为绝缘不良的检查对象。并且，绝缘不良部被确定出时，选为与第一测定部之间具有绝缘不良的配线图案WP的对象测定部。
[0061]通过该选出单元44,选出绝缘检查时的检查对象间或绝缘不良部的测定对象间。
[0062]另外，该选出单元44所进行的选出方法是在切换单元7中通过开关元件SW的导通(ON)/断开(OFF)控制来具体实施的。
[0063]存储单元45存储由电源单元2供给的电信号值、测定单元3所测定的电信号值、计算单元41所计算的电阻值和判定单元42的判定结果以及控制单元43的控制顺序。在该存储单元45还存储有关于基板CB的信息、关于配线图案WP的信息和关于检查顺序的信息等，根据适当需要予以利用。
[0064]切换单元7由与各探针CP进行导通连接的多个开关元件SW构成。该切换单元7根据来自选出单元44的动作信号，控制接通/断开的动作。因此，能够通过该切换单元7的切换动作，选择成为检查对象的被检查点。
[0065]第一端子8为了供给来自电源单元2的电信号，通过探针CP来连接配线图案WP。该第一端子8具有将电源单元2的上游侧(正极侧)与配线图案WP相连接的上游侧第一端子81、以及将电源单元2的下游侧(负极侧)或第二测定单元32与配线图案WP相连接的下游侧第一端子82。
[0066]该上游侧第一端子81和下游侧第一端子82分别具有切换单元7的开关元件SW，通过该切换单元7的开关元件SW的导通/断开动作，设定连接状态/未连接状态。
[0067]如图5所示，该第一端子8的上游侧第一端子81和下游侧第一端子82被设置成通过保护电阻R而与配线图案WP相连接。该保护电阻R为静电放电(electro-staticdischarge)保护用的电阻。
[0068]第二端子9为了测定由测定单元3所得的电信号，通过探针CP来连接配线图案WP。在图5的实施方式中，为了可进行通过第一测定单元31取得的电信号的测定，可连接预定的配线图案WP。
[0069]该第二端子9构成为具有将第一测定单元31的上游侧(正极侧)与配线图案WP相连接的上游侧第二端子91、以及将第一测定单元31的下游侧(负极侧)与配线图案WP相连接的下游侧第二端子92。
[0070]这些上游侧第二端子91和下游侧第二端子92与第一端子8同样地，分别具有切换单元7的开关元件SW，通过该切换单元7的开关元件SW的导通/断开动作，设定连接状态/未连接状态。
[0071]另外，如图5所示，该第二端子9的上游侧第二端子91和下游侧第二端子92被设成通过保护电阻R而与配线图案WP进行导通连接。
[0072]第一端子8和第二端子9如图5所示，针对与配线图案WP进行导通接触的一个接触探针CP，配置四个端子，并且具有进行各端子的导通/断开控制的四个开关元件SW。
[0073]另外，在图5中，将控制上游侧第一端子81的动作的开关元件表示为符号SWlJf控制上游侧第二端子91的动作的开关元件表示为符号SW3，将控制下游侧第一端子82的动作的开关元件表示为符号SW2，将控制下游侧第四端子92的动作的开关元件表示为符号SW4。
[0074]显示单元10显示绝缘检查结果或绝缘不良部Rx的电阻值等信息。该显示单元10所显示的绝缘检查的显示方法例如以能够对已进行检查的基板显示“合格品”或“不合格品”的方式发挥功能，在显示“不合格品”时，显示该绝缘不良部Rx的存在位置(配线图案WP的信息)和电阻值。
[0075]以上为本发明所涉及的绝缘检查装置I的结构的说明。
[0076]接着，说明本发明的绝缘检查装置I的动作。
[0077]首先，实施形成在基板CB的配线图案WP的导通检查。此时，在配线图案WPl成为检查对象时，连接于配线图案WPl的一端(一个检查点)的上游侧第一端子81的开关SWl被设置为导通，并且连接于配线图案WPl的另一端(另一个检查点)的下游侧第一端子82的开关SW2被设置为导通。并且，此时，第二测定单元32以能够测定电信号的方式进行连接(参照图6)。另外，还能以第一测定单元31能够测定作为检查对象的配线图案WP的电压的方式切换开关SW。
[0078]接着，由电源单元2供给用于进行导通检查的电信号，第二测定单元32测定电信号。此时，电源单元2所供给的电信号(所供给的电压值)和第二测定单元32所测定的电信号(电流值)被发送至计算单元41，计算单元41根据这些值来计算配线图案WPl的电阻值。该被计算出的电阻值被发送至判定单元42，判定配线图案WPl的导通状态的好坏。另夕卜，该计算结果或判定结果被储存在存储单元45。
[0079]如上所示形成在基板CB的全部配线图案WP被设定为导通检查的检查对象来实施。
[0080]若实施基板CB的配线图案WP的导通检查，并判断出全部配线图案WP的导通检查为合格，则接着实施绝缘检查。
[0081]在绝缘检查时，选出成为检查对象的配线图案WP (第一测定部)，并且在电源单元2的上游侧第一端子81连接该配线图案WP，剩下的配线图案WP (第二检查部)连接于电源单元2的下游侧第一端子82。并且，第二检查部的配线图案WP被连接成与第二测定单元32串联排列(参照图7)。
[0082]本实施方式中所说明的基板CB具有绝缘不良部Rx，因此若实施作为检查对象的配线图案WPl的绝缘检查，则计算单元41根据电源单元2所供给的电信号(电压值)和第二测定单元32所测定的电信号(电流值)，计算电阻值。该计算结果被发送至判定单元42，判定作为检查对象的配线图案WPl的绝缘状态的好坏。此时，该基板CB具有绝缘不良部Rx，被计算出的电阻值低于基准值，被判定为绝缘状态不良。
[0083]在被判定为绝缘状态不良时，首先，确定哪一个配线图案WP与作为检查对象的配线图案WPl形成有绝缘不良部Rx。此时，逐一选出配线图案作为检查对象的配线图案WP，确定与哪一个配线图案之间具有绝缘不良部Rx。另外，在本实施方式中，由于在基板CB仅形成有两个配线图案WP，因此省略说明。
[0084]若被确定出配线图案WP与哪一个配线图案WP具有绝缘不良部Rx，则进行接下来的动作。首先，选出单元44以使第一测定部的一端与电源单元2的一端进行导通连接，第一测定部的另一端与第一测定单元31的一端进行导通连接的方式选出切换单元7。
[0085]具体而言，以连接于配线图案PWl的检查点Pll的探针CP2与电源单元2的上游侧进行导通连接的方式，使上游侧第一端子81的开关SWl导通。并且，以连接于形成绝缘不良部Rx的配线图案PW2的检查点P21的探针CPl与电源单元2的下游侧进行导通连接的方式，使下游侧第一端子82的开关SW2导通。
[0086]并且，另一方面，以连接于配线图案PWl的检查点P12的探针CP3与第一测定单元31的上游侧进行导通连接的方式，使上游侧第二端子91的开关SW3导通。并且，以连接于另一个配线图案PW2的检查点P22的探针CP4与第一测定单元31的下游侧进行导通连接的方式，使下游侧第二端子92的开关SW4导通。
[0087]如上所示的开关SW的切换通过控制单元43的动作来实施(参照图8)。
[0088]若如上所述实施开关元件SW的切换，则电源单元2供给的电信号(电流值)和第一测定单元31所测定的电信号(电压值)被发送至计算单元41，根据它们来计算电阻值。
[0089]计算单元41所计算的电阻值仅是绝缘不良部Rx的电阻值，从而能够计算出绝缘不良部Rx的正确的电阻值。
[0090]以上为本发明的绝缘检查装置的动作的说明。
[0091]通过使用本发明的绝缘检查方法和绝缘检查装置，即使为二端子测定方法，也能够正确地测定绝缘不良部的电阻值。并且，由于可由进行绝缘检查的检查工序直接过渡至绝缘不良部的电阻值计算工序，因此能够在不进行无用的工序的情况下进行计算。
[0092]符号说明
[0093]I....绝缘检查装置
[0094]2....电源单元
[0095]3....测定单元
[0096]41...计算单元
[0097]42...判定单元
[0098]43...控制单元
[0099]44...选出单元
[0100]CB...基板
[0101]WP..?配线图案
【权利要求】
1.一种绝缘检查装置，其对形成有多个配线图案的基板的该配线图案进行绝缘检查， 所述绝缘检查装置的特征在于，具有: 选出单元，其从所述多个配线图案中选出成为检查对象的一个配线图案作为第一测定部，并且选出与该第一测定部具有绝缘不良的配线图案作为对象测定部； 电源单元，其在所述第一测定部与所述对象测定部之间供给预定的电信号； 测定单元，其测定通过所述电源单元在所述第一测定部与所述对象测定部之间供给电信号时的电特性；以及 计算单元，其根据所述电源单元所供给的电信号和所述测定单元所测定的测定值，计算所述第一测定部与所述对象测定部之间的绝缘不良部的电特性， 所述选出单元使所述第一测定部的一端与所述电源单元的一端进行导通连接，使所述第一测定部的另一端与所述测定单元的一端进行导通连接，使所述对象测定部的一端与所述电源单元的另一端进行导通连接，使所述对象测定部的另一端与所述测定单元的一端进行导通连接。
2.根据权利要求1所述的绝缘检查装置，其特征在于， 所述绝缘检查装置具有促使所述选出单元、所述测定单元以及所述计算单元实施预定动作的控制单元， 所述控制单元促使所述选出单元将被选为所述第一测定部的配线图案以外的配线图案并联连接而选为第二测定部，促使所述电源单元在所述第一测定部与所述第二测定部之间供给预定的电信号，促使所述测定单元与所述第一测定部或所述第二测定部进行串联连接，而测定该第一测定部与该第二测定部之间的电特性，促使所述计算单元根据所述电信号和所述测定值，计算所述第一测定部与所述第二测定部之间的绝缘状态，在所述计算单元所计算出的绝缘状态为不良时，促使所述选出单元选出与所述第一测定部具有绝缘不良的配线图案作为所述对象测定部。
3.根据权利要求2所述的绝缘检查装置，其特征在于， 在所述计算单元所计算出的绝缘状态为不良时，为了确定与所述第一测定部具有绝缘不良部的配线图案，所述控制单元促使所述选出单元从所述第二测定部中选出一配线图案，促使所述电源单元在所述第一测定部与所述一配线图案之间供给预定的电信号，促使所述测定单元测定所述第一测定部与所述一配线图案之间的电特性，促使所述计算单元根据所述电信号和所述测定值，计算所述第一测定部与所述一配线图案之间的绝缘状态，所述控制单元根据所述计算出的绝缘状态结果，确定与所述第一测定部具有绝缘不良部的配线图案。
4.一种绝缘检查方法，对形成有多个配线图案的基板的该配线图案进行绝缘检查， 所述绝缘检查方法的特征在于， 从所述多个配线图案中选出成为检查对象的一个配线图案作为第一测定部，并且选出该第一测定部以外的配线图案作为第二测定部， 计算所述第一测定部与所述第二测定部之间的绝缘状态， 在所述第一测定部与所述第二测定部之间计算绝缘不良， 从所述第二测定部检测与所述第一测定部具有绝缘不良部的配线图案， 在与所述第一测定部具有绝缘不良的配线图案和所述第一测定部之间，供给预定的电信号，并且测定电特性， 根据所述电源单元所供给的电信号和所述测定单元所测定的测定值，计算所述第一测定部与所述对象测定部之间的绝缘不良部的电特性。
【文档编号】G01R31/02GK104246523SQ201380021070
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2013年5月8日 优先权日:2012年5月8日
【发明者】山下宗宽 申请人:日本电产理德株式会社