一种双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器，属于传感器【技术领域】，包括壳体和将壳体内部分隔为上部油液腔和下部腔的隔板，上部油液腔的顶端为敞开端，敞开端设置有敏感膜片，敏感膜片上设置有感应膜片应力的压敏电阻，敏感膜片外设置有保护板，保护板上分布有通孔；下部腔设置有将下部腔分隔为压缩腔和进水腔并与壳体内壁密封连接的受压膜片，压缩腔内设置有压力传感器，进水腔的壳体壁上开设有进水孔。把水的压力通过两个膜片传递到传感器内部，通过敏感膜片测量微小压力变化，内部压力传感器测量大压力，既能承受测量大压力，又能测量微小水压变化。
【专利说明】一种双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器
【技术领域】
[0001]本发明涉及传感器【技术领域】，具体而g，涉及一种双膜片结构的水压变化测量的 水下压力传感器。
【背景技术】
[0002]水下压力传感器广泛应用于潮汐探测、水下机器人作业位置测定等海洋探测，对 海洋等水下压力的探测，尤其是深海环境下大压力的探测，传感器必须既能承受和测量深 海的大水压，又能测量出水压的微小变化量，这是现有海底压力探测所面临的难题，现有的 传感器对于水压的微小变化量的测量误差较大。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种既能承受测量大压力，又能准确测量微小压力变化要 求的双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器，以解决上述问题。
[0004]为实现本发明目的，采用的技术方案为：一种双膜片结构的水压变化测量的水下 压力传感器，包括壳体和将壳体内部分隔为上部油液腔和下部腔的隔板，上部油液腔的顶 端为敞开端，敞开端设置有敏感膜片，敏感膜片上设置有感应膜片应力的压敏电阻，敏感膜 片外设置有保护板，保护板上分布有通孔；下部腔设置有将下部腔分隔为压缩腔和进水腔 并与壳体内壁密封连接的受压膜片，压缩腔内设置有压力传感器，进水腔的壳体壁上开设 有进水孔。
[0005] 进一步地，所述压力传感器位于隔板上。
[0006] 进一步地，所述敏感膜片为圆形膜片。
[0007]进一步地，敏感膜片通过保护板安装在传感器壳体上。
[0008]本发明的有益效果是，把水的压力通过两个膜片传递到传感器内部，通过敏感膜 片测量微小压力变化，内部压力传感器测量大压力，实现了既能承受测量大压力，又能测量 微小压力变化的要求，传感器的两个膜片外部都有能通过水的保护装置，这样既不影响水 压力测量，又能保护膜片不受损伤。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本发明提供的双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器的剖视图。
【具体实施方式】
[0010]下面通过具体的实施例子并结合附图对本发明做进一步的详细描述。
[0011]图1示出了本发明提供的双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器,包括壳 体1和将壳体1内部分隔为上部油液腔13和下部腔的隔板6,上部油液腔13充满油液，上 部油液腔13的顶端为敞开端，敞开端设置有敏感膜片 2,敏感膜片2为圆形膜片，敏感膜片 2上设置有感应膜片应力的压敏电阻，敏感膜片2外设置有保护板4,保护板4上分布有通 孔；下部腔设置有将下部腔分隔为压缩腔12和进水腔11并与壳体1内壁密封连接的受压 膜片3,压缩腔12内设置有压力传感器5,压力传感器5安装在隔板6上，进水腔11的壳体 壁上开设有进水孔14。
[0012] 敏感膜片2通过保护板4安装在传感器壳体1上，保护板4既能保护敏感膜片2， 又能使水压力作用于敏感膜片2。
[0013] 以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技 术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修 改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
?· 一种双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器，其特征在于，包括壳体和将壳 体内部分隔为上部油液腔和下部腔的隔板，上部油液腔的顶端为敞开端，敞开端设置有敏 感膜片，敏感膜片上设置有感应膜片应力的压敏电阻，敏感膜片外设置有保护板，保护板上 分布有通孔；下部腔设置有将下部腔分隔为压缩腔和进水腔并与壳体内壁密封连接的受压 膜片，压缩腔内设置有压力传感器，进水腔的壳体壁上开设有进水孔。
2·根据权利要求1所述的双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器，其特征在 于，所述压力传感器位于隔板上。
3. 根据权利要求1所述的双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器，其特征在 于，所述敏感膜片为圆形膜片。
4. 根据权利要求1所述的双膜片结构的水压变化测量的水下压力传感器，其特征在 于，敏感膜片通过保护板安装在传感器壳体上。
【文档编号】G01L15/00GK104215385SQ201410517702
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】刘林 申请人:成都卓微科技有限公司