一种机台管路进水的侦测报警装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其中，包括：研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接；气阀，所述气阀安装在所述马达的上端；抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及流量侦测器，所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。使用本实用新型一种机台管路进水的侦测报警装置，当Vac管路中有水滴进入，流量侦测器发出“on”信号以触发机台端报警，以便让工程师知道清楚进水的Vac管路，及时处理，避免机台的隐患。
【专利说明】一种机台管路进水的侦测报警装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种侦测装置的制造领域，尤其涉及一种机台管路进水的侦测报
I=I目.0
【背景技术】
[0002]在工程师进行机台维护更换研磨头(head)的时候，有时由于工程的疏忽未将head上积水擦干就将head装入轴(spindle),以链接马达(motor),当head升起时便会将积水吸进抽真空管路(Vac)。Head的密封圈由于长期的使用磨损，有时会出现细微的破裂，以致head在Vac时会将水抽进管路中。以上的两种现象都会使Vac管路有略微的积水，但可能不会影响head将娃片吸附至研磨头上(load)、将娃片从研磨头上卸下(unload)、重复将硅片吸附至研磨头上(decheck)，也不会引起机台错误侦测分类系统(FDC)系统的报警，只有当Vac管路中的积水到达一定程度时，head Vac读值已经降低至低规格(low spec),才会使得机台产生报警(alarm),或是晶圆损坏(wafer broken),但已为时已晚。
[0003]专利号为201020187396.2的管路漏损侦测装置，包含:一流量计，装设在一计量分区进水点的管路上；一高解析流量记录仪，通过线路或采无线传输方式与该流量计连接；及一运算分析机具。该方案通过高解析流量记录仪直接针对流量计所产生的连续性变化物理量，得到该管路真实瞬间流量特征值的连续性记录。但在使用时，无法及时向工程师告知进水Vac管路。
[0004]专利号为200710190433.8的液体管路流量侦测报警装置，包括液体管路流量侦测装置，所述的液体管路流量侦测装置用于测量并显示管路中的液体流量值；报警装置，所述的报警装置与所述的液体管路流量侦测装置相通信，所述的报警装置用于在液体流量值高于设定的上限值或低于设定的下限值时发生报警信号。该方案侦测的是液体管路中的液体流量，并非用于侦测管路的水滴问题。
实用新型内容
[0005]鉴于上述问题，本实用新型提供一种机台管路进水的侦测报警装置。
[0006]本实用新型解决技术问题所采用的技术方案为:
[0007]—种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其中，包括:研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接；气阀，所述气阀安装在所述马达的上端；抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及流量侦测器，所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。
[0008]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，还包括数字信号模板，所述流量侦测器与所述数字信号模板信号连接，所述数字信号模板与所述外置机台信号连接。
[0009]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，所述外置机台中安装有设定警报的软件程序。
[0010]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，所述研磨头与所述马达之间具有轴，所述研磨头通过所述轴与所述马达的下端连接。
[0011]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，所述研磨头与所述轴之间具有密封圈。
[0012]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，所述流量侦测器为一个或多个流量传感器。
[0013]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，所述报警装置还包括一十字旋转轴盖板，所述十字旋转轴盖板位于所述流量侦测器的外部。
[0014]上述的一种机台管路进水的侦测报警装置，其中，所述报警装置还包括一十字旋转轴研磨装置，所述十字旋转轴研磨装置的顶端设置有所述信号模板。
[0015]上述技术方案具有如下优点或有益效果:
[0016]通过在head UPA Vac管壁外安装流量侦测器(flow sensor),由于流量侦测器安装在十字旋转轴盖板(cross cover)的内部，因此对机台的工艺没有影响，同时,将十字旋转轴盖板的信号线接入十字旋转轴研磨装置(polish cross)顶端的数字信号模板，并在机台的软件报警触发选项(software user event)中设定报警(alarm act1n)。只要Vac管路中有水滴进入，流量侦测器发出“on”信号触发机台端报警，以便让工程师知道清楚进水的Vac管路，及时处理，避免机台的隐患。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
[0018]图1是本实用新型一种机台管路进水的侦测报警装置的示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
[0020]图1是本实用新型一种机台管路进水的侦测报警装置的示意图，请参见图1所示。本实用新型的一种机台管路进水的侦测报警装置，该报警装置应用在机台的UPA Vac中，报警装置包括有研磨头(head)l，该研磨头I可升降地与马达(motor)2连接；气阀3，该气阀3安装在马达2的上端；抽真空管路4，该抽真空管路4与气阀3相连接。该报警装置还包括有流量侦测器(flow sensor) 5，该流量侦测器5安装在抽真空管路4的管壁外，并且该流量侦测器5与一外置机台信号连接。
[0021]本实用新型在上述基础上还具有如下实施方式:
[0022]本实用新型的进一步实施例中，请继续参见图1所示。本实用新型的一种机台管路进水的侦测报警装置还包括有数字信号模板，流量侦测器5通过信号线6与数字信号模板信号连接，同时，数字信号模板与外置机台信号连接。
[0023]本实用新型的进一步实施例中，机台安装设定有设定警报的软件程序。
[0024]本实用新型的进一步实施例中，研磨头I与马达2之间具有轴，研磨头I通过轴与马达2的下端相连接。
[0025]本实用新型的进一步实施例中，研磨头I与轴之间具有密封圈(head rollingseal)0
[0026]本实用新型的进一步实施例中，流量侦测器5为一个或多个流量传感器。
[0027]本实用新型的进一步实施例中，报警装置还包括一十字旋转轴盖板(crosscover)，该十字旋转轴盖板位于流量侦测器5的外部。
[0028]本实用新型的进一步实施例中，报警装置还包括一十字旋转轴研磨装置(polishcross)，该十字旋转轴研磨装置的顶端设置有信号模板。
[0029]本实用新型在上述基础上还具有如下使用方式:
[0030]当Vac管路中有水滴进入，流量侦测器5发出“on”信号以触发机台端报警，以便让工程师知道清楚进水的Vac管路，及时处理，避免机台的隐患。
[0031]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本实用新型的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其特征在于，包括: 研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接； 气阀，所述气阀安装在所述马达的上端； 抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及 流量侦测器，所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。
2.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置，其特征在于，还包括数字信号模板，所述流量侦测器与所述数字信号模板信号连接，所述数字信号模板与所述外置机台信号连接。
3.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置，其特征在于，所述研磨头与所述马达之间具有轴，所述研磨头通过所述轴与所述马达的下端连接。
4.如权利要求3所述的机台管路进水的侦测报警装置，其特征在于，所述研磨头与所述轴之间具有密封圈。
5.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置，其特征在于，所述流量侦测器为一个或多个流量传感器。
6.如权利要求1所述的机台管路进水的侦测报警装置，其特征在于，所述报警装置还包括一十字旋转轴盖板，所述十字旋转轴盖板位于所述流量侦测器的外部。
7.如权利要求2所述的机台管路进水的侦测报警装置，其特征在于，所述报警装置还包括一十字旋转轴研磨装置，所述十字旋转轴研磨装置的顶端设置有所述信号模板。
【文档编号】G01F15/06GK204036232SQ201420084195
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年2月26日 优先权日:2014年2月26日
【发明者】宋恺, 张弢, 蒋德念 申请人:上海华力微电子有限公司