一种绝对式测量装置的制作方法

文档序号:11062826阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种绝对式测量装置,其特征在于,包括:

一第一测量杆,所述第一测量杆包括一水平面和一第一测量面,所述第一测量面与水平面呈一角度θ,所述水平面长L0

一第一探头,所述第一探头沿水平面直线运动,所述第一探头用于探测所述测量面与所述第一探头之间的距离d;并根据d计算所述第一探头的绝对位置,以所述水平面与测量面相交处为零位,计算公式为:

L=(D-d) / tanθ,其中,L为所述第一探头在X轴的绝对位置,D为所述第一探头测量面到所述水平面的距离。

2.如权利要求1所述的绝对式测量装置,其特征在于,所述第一探头通过一X轴直线运动机构实现直线运动,所述X轴直线运动机构包括一滑块和位于所述滑块下方的导轨。

3.如权利要求1所述的绝对式测量装置,其特征在于,所述测量装置还包括一第二探头以及一第三探头,所述第二探头和第三探头的测量面等高,用于测量所述第一探头的X、Y向位移以及Rz向旋转角度Δθ;所述测量装置还包括一第二测量杆,所述第二测量杆位于所述第一测量杆的下方,所述第二测量杆包括一水平面和一第二测量面,所述第二测量面与所述第一测量面重合;所述第二探头用于探测与所述第二测量杆的水平面的距离d1;所述第三探头用于探测与所述第二测量杆的水平面的距离d2。

4.如权利要求3所述的绝对式测量装置,其特征在于,所述第一、第二、第三探头安装于一结构件上,所述结构件用于实现水平面上X、Y方向的直线运动以及沿Rz方向三个自由度运动。

5.如权利要求3所述的绝对式测量装置,其特征在于,所述第一、第二、第三探头的水平高度一致。

6.如权利要求1所述的绝对式测量装置,其特征在于,所述第一探头为光电传感器或电容传感器或电涡流传感器。

7.如权利要求3所述的绝对式测量装置,其特征在于,所述第一第二探头为光电传感器或电容传感器或电涡流传感器。

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