波纹管测漏工装的制作方法

本发明涉及一种检测泄露的工装，尤其是一种波纹管测漏工装，属于半导体薄膜设备技术领域。

背景技术：

半导体镀膜设备中常用到的波纹管用来实现某些部件的升降功能，同时实现大气与真空环境的互换，所以必须保证波纹管的密封性能满足设备的要求。另外，在波纹管安装到设备之前，如果不进行密封性能的检测，增加了不确定因素可能会出现漏率不合格等现象，如此会增加设备检漏时间及零部件的更换装配时间。

技术实现要素：

本发明以解决上述问题为目的，设计了一种波纹管密封性能检验工装结构，能够实现检漏和保压的功能。有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：波纹管测漏工装，包括带孔上法兰盖板(1)、双头螺柱(2)、波纹管(3)、六角螺母(4)、带孔底部盲板(5)和密封圈(6)。密封圈(6)安装在波纹管(3)两端的法兰密封槽中，带孔底部盲板(5)与波纹管的法兰孔位对应，通过双头螺柱(2)和六角螺母(4)将带孔底部盲板(5)、带孔上法兰盖板(1)与波纹管(3)固定连接，带孔上法兰盖板(1)的接口 处连接检漏仪。

本发明的有益效果及特点在于：

1、结构合理，通过螺母与双头螺柱保证了波纹管的自然长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，减少了零件和检漏仪的损坏几率，同时也降低了操作的安全隐患；

2、适用面广泛，本发明不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性；

3、本发明不仅可以进行波纹管的检漏操作，还可以进行波纹管的保压操作，提高了工装的使用效率；

4、本发明结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示：波纹管测漏工装，包括带孔上法兰盖板1、双头螺柱2、波纹管3、六角螺母4、带孔底部盲板5和密封圈6。密封圈6安装在波纹管3两端的法兰密封槽中，带孔底部盲板5与波纹管的法兰孔位对应，通过双头螺柱2和六角螺母4将带孔底部盲板5、带孔 上法兰盖板1与波纹管3固定连接，带孔上法兰盖板1的接口处连接检漏仪。

带孔上法兰盖板1由一个管接头焊接在法兰上构成，对焊接要求牢固、不允许有虚焊、夹渣、气孔，非焊接处不允许有黑皮飞溅、电弧损伤等缺陷，焊后修光焊缝检漏，漏率≤1.0x10-11Pa·m3/s；波纹管3由一个波纹管上下两端焊接两个带孔的法兰盘构成，焊接方式为圆周密封焊接。使用前首先对所有零部件进行擦拭或清洗，以确保密封效果；使用时，将密封圈6安装在波纹管3两端的法兰密封槽中，带孔底部盲板与波纹管的法兰孔位对应，然后在波纹管3的法兰孔位中分别穿入三个双头螺柱2，用六角螺母4固定波纹管下法兰与带孔底部盲板5，再在双头螺柱2上部安装六角螺母4，将波纹管上法兰安装入双头螺柱2，调节六角螺母4使波纹管3处于自然长度状态，再将带孔上法兰盖板1安装到波纹管3的上法兰上，用六角螺母4固定，最后在带孔上法兰盖板1的接口处连接检漏仪进行检漏保压操作，要求安装牢固，不得有松动现象；另外需要说明的是，本发明适用于焊接圆形、椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，但适用的前提条件是需要确保带孔上法兰盖板1的直径至少要大于密封圈6的直径，这样才能盖住密封圈，避免漏气。最后在检漏环节中，该装置可在检漏过程中防止波纹管的负压收缩变形，帮助顺利完成检漏环节。