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一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路的制作方法
文档序号:12591357
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来源:国知局
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一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路的制作方法与工艺
技术总结
一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路,其结构简单,仅用一个传感器就可以产生三个轴的角速度信号,体积小巧。另外,该类型的陀螺仪谐振频率通常也比较高,不存在音频干扰的问题,方便客户使用。基于这些特点,PZT型MEMS陀螺仪应用前景广阔,是未来MEMS陀螺仪发展的一个重要方向。
技术研发人员:
史树元
受保护的技术使用者:
史树元
文档号码:
201510865214
技术研发日:
2015.12.01
技术公布日:
2017.06.09
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