对薄膜腔中的密度增加的测量的制作方法

文档序号:11160347阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于测试腔体(10)中的试样(16)的气密性测试的方法,所述测试腔体至少部分地由柔性材料制成,其中所述试样被放置到所述测试腔体中,并且所述测试腔体随后被抽空;其特征在于:所述气密性测试被通过测量所述试样(16)之外的区域中的所述测试腔体(10)内部的气体密度来执行。

2.如权利要求1所述的用于气密性测试的方法,其特征在于:对所述气体密度的测量被通过对红外线吸收、瑞利散射、雷曼散射、荧光效应、气体热传导的测量或者借助智能技术传感器来执行。

3.如权利要求1或2所述的用于气密性测试的方法,其特征在于:对于所述气密性测试,不执行对所述试样(16)之外的区域中的所述测试腔体(10)内的气压的测量。

4.如前述权利要求中的任意一项所述的用于气密性测试的方法,其特征在于:来自所述测试腔体(10)的气体被提供给测量单元(26),在所述测量单元(26)中所述气密性测量被执行。

5.如前述权利要求中的任意一项所述的用于气密性测试的方法,其特征在于:所述测试腔体为薄膜腔,其腔壁由柔性薄膜(12、14)制成。

6.如前述权利要求中的任意一项所述的用于气密性测试的方法,其特征在于:所述气密性测试被通过测量所述气体密度的时间轮廓来执行。

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