传感器单元、电子设备以及移动体的制作方法

文档序号:11160295阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种传感器单元、电子设备以及移动体,所述传感器单元可靠性较高、且即使针对被安装物的振动而检测精度也较为稳定。传感器单元(100)的特征在于,具备:传感器模块(25),其被构成为包括安装有惯性传感器(17x、17y、17z、18)的基板(15)、和搭载有基板(15)的内壳(20);外壳(1),其对传感器模块(25)进行收纳,在内壳(20)上形成有凹部(31),在从基板(15)的厚度方向进行观察的俯视观察时,在与凹部(31)重叠的区域内配置有惯性传感器(17x、17y、17z、18),且在由基板(15)以及凹部(31)所形成的空间内填充有填充部件(50),并且传感器模块(25)经由接合部件(10)而与外壳(1)的底壁(5)接合。

技术研发人员:木下裕介;佐久间正泰
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
文档号码:201580033626
技术研发日:2015.07.13
技术公布日:2017.05.10

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