用于确定流过测量通道的流体介质的至少一个参数的传感器组件的制作方法

在现有技术中已经已知很多用于确定流体介质即液体和/或气体的流动特性的方法和装置。所述流动特性在此原则上可涉及物理上和/或化学上可测的任意特性，所述特性定性或定量流体介质的流动。尤其在此可涉及流速和/或质量流和/或体积流。

在下文中，尤其参照例如像在Konrad Reif(编者):Sensoren im Kraftfahrzeug，2010年第1版，第146-148页描述的那种所谓的热膜空气质量测量器对本发明进行描述。这种热膜空气质量测量器一般基于传感器芯片，尤其是硅传感器芯片，所述传感器芯片具有传感器膜片作为能被流动的流体介质流经的测量表面或传感器区域。所述传感器芯片一般包括至少一个加热元件以及至少两个温度探测器，它们例如布置在传感器芯片的测量表面上。由被温度探测器感测的温度曲线的不对称性可推算出流体介质的质量流和/或体积流，所述温度曲线受流体介质的流动影响。热膜空气质量测量器通常构型为插入式探测器，该插入式探测器能固定地或可更换地置入到通流管中。所述通流管在此例如可涉及内燃机的吸入管段。

在此，所述介质的部分流流过至少一个设置在热膜空气质量测量器中的主通道。在该主通道的入口和出口之间构造有旁路通道。旁路通道尤其这样构造，使得其具有用于使通过主通道的入口进入的部分介质流转向的弯曲区段，其中，弯曲区段在进一步的走向中过渡到在其中布置有传感器芯片的区段中。最后提到的该区段构成真正的测量通道，在该真正的测量通道中布置有传感器芯片。在此，在旁路通道中设置有一器件，该器件引导所述流动并且抑制部分介质流的流动从测量通道的通道壁脱离。此外，主通道的入口区域在其与主流动方向相反地指向的开口的区域中设有斜的或弯曲的面，所述面这样构型，使得流入到所述入口区域中的介质从主通道的通向传感器芯片的部分离开地被转向。这引起，包含在所述介质中的液体或固体微粒由于其质量惯性而不能达到传感器芯片并且不会污染该传感器芯片。

这种热膜空气质量测量器在实际中必须满足多种要求和边界条件。除了在整体上通过合适的流动技术构型来减小热膜空气质量测量器上的压降的目的之外，一个主要的挑战在于：要进一步改善这种装置的信号质量以及针对由于油微滴和水微滴以及碳烟颗粒、灰尘颗粒、和其他固体颗粒造成的污染的稳健性。所述信号质量例如涉及介质流过通向传感器芯片的测量通道的质量流以及必要时还涉及减小信号漂移并改善信噪比。所述信号漂移在此涉及例如介质质量流的、在实际出现的质量流与在校准范畴内在制造时求取的待输出的信号之间的、特征曲线的改变的意义上的偏差。在求取信噪比时观察在快的时间顺序中输出的传感器信号，而特征曲线漂移或信号漂移涉及平均值的改变。

在所描述的类型的常见热膜空气质量测量器中，传感器承载件一般以安装或置入在其上的传感器芯片伸入到测量通道中。传感器芯片例如可被粘接到传感器承载件中或可被粘接到其上。所述传感器承载件例如可与由金属制成的底板形成一个单元，在所述底板上也可粘接有电子部件、呈电路板形式的操控和分析处理电路。所述传感器承载件例如可构型为电子模块的注塑上去的塑料件。传感器芯片和操控和分析处理电路例如可通过键合连接部来相互连接。这样形成的电子模块例如可粘接到传感器壳体中并且整个插入式探测器可用盖来封闭。

尽管通过所述传感器组件引起了改进，但在信号感测精确性方面始终存在改进可能性。

为了热膜空气质量测量器可提供干扰尽可能小的空气质量信号，重要的是：尽可能均匀地流向插入式探测器并且尽可能均匀地穿过其中的测量通道并且尤其尽可能均匀地流经传感器芯片的测量表面。在传感器承载件的端侧和测量通道的壁之间存在间隙，该间隙的宽度存在由制造技术引起的波动。在传感器承载件的区域中在测量通道中流动的流体介质分成三个部分质量流。第一部分质量流在传感器承载件和传感器芯片之上流动，第二部分质量流在传感器承载件之下流动，而第三部分质量流流过所述间隙。在环流传感器承载件之后，形成不稳定的尾迹，其具有波动的流动速度和压力。这导致，也在上游，尤其是在传感器芯片的区域中，产生波动的流动参数，其导致测量信号中的波动，尤其是具有对传感器承载件尺寸和流动速度典型的振动模式。该效应在测量通道的壁的构型不对称的情况下也会产生。传统的传感器承载件构型得对称并且有助于克服该不利情况。

技术实现要素：

因此，提出一种用于确定流过测量通道的流体介质的至少一个参数的传感器组件，其能够至少很大程度上避免已知的方法和策略的缺点，其中，尤其改进特征曲线可重复性和补偿性以及降低信号噪声和入流敏感性。

用于确定流过测量通道的流体介质，尤其是内燃机的吸入空气质量流，的至少一个参数的传感器组件具有：传感器壳体，尤其是已置入或可置入到通流管中的插入式探测器，在该传感器壳体中构造有测量通道；和至少一个布置在该测量通道中的传感器芯片，用于确定所述流体介质的参数。传感器芯片安装在伸入到所述测量通道中的传感器承载件上。传感器承载件构造成其具有轮廓弦。该轮廓弦的长度为4.5mm至6.5mm。

就流体介质在测量通道中的主流动方向而言，所述传感器承载件可具有位于传感器芯片上游的入流区段和位于传感器芯片下游的流出区段。流出区段可至少部分地倒圆地或至少部分地楔形地构造。所述传感器承载件可构造成在流出区段中具有关于轮廓弦不对称的横截面。传感器承载件可具有上侧面和与该上侧面相对置的下侧面。传感器芯片可布置在所述上侧面上。所述上侧面到所述轮廓弦的间距可比所述下侧面到所述轮廓弦的间距要大。所述传感器承载件可具有至少一个分段部。所述传感器承载件可具有至少一个突起。所述突起例如可构造成台阶形。所述传感器承载件可在上游端部处具有入流棱边而在下游端部处具有流出棱边。入流棱边和/或流出棱边可具有至少一个缺口。该缺口可构造成三角形、半圆形、矩形和/或正弦形。所述传感器承载件可沿一个延伸方向延伸到测量通道中。该延伸方向可基本上垂直于流体介质在测量通道中的主流动方向。所述传感器承载件可沿所述延伸方向变细。所述传感器承载件可沿所述延伸方向对称地或不对称地变细。

所述主流动方向在本发明的范畴内要理解为流体介质在传感器或者说传感器组件的位置处的局部流动方向，其中，例如局部的无规律性例如紊流可不考虑。所述主流动方向因而尤其可理解为流动的流体介质的局部平均流动方向。所述主流动方向因而一方面可涉及在传感器组件位置处的流动方向或也可涉及在传感器壳体内的通道中(例如在传感器承载件或传感器芯片的位置处)的流动方向，其中，提到的两种主流动方向可以是不同的。因此，在本发明的范畴内始终给出主流动方向涉及的是哪个位置。只要没有详细说明，则主流动方向涉及传感器组件的位置。

下游布置在本发明的范畴内要理解为构件在一部位处的布置，流体介质沿主流动方向流动到达该部位的时间比到达参考点的时间晚。

类似地，在本发明的范畴内，上游的构件布置要理解为构件在一部位处的布置，沿主流动方向流动的流体介质到达该部位的时间比到达参考点的时间早。

在本发明的范畴内，所述传感器承载件可整个地或部分地构型为电路承载件，尤其构型为电路板，或是电路承载件的一部分，尤其是电路板的一部分。电路承载件、尤其电路板例如可具有延续部，该延续部形成传感器承载件并且该延续部伸入到通道、例如热膜空气质量测量器的测量通道中。电路承载件的、尤其电路板的其余部分例如可放置在传感器组件的电子部件室中、传感器组件的壳体中或传感器组件的插入式探测器的壳体中。

在此，电路板在本发明的范畴内要普遍地理解为基本上板形的元件，该元件也可用作电子结构例如导电轨、连接触头或类似物的承载件，并且也优选具有一个或多个这种结构。原则上在此也考虑与板形至少稍微有差别并应该抽象地来领会。所述电路板例如可由塑料材料和/或陶瓷材料制造，例如由环氧树脂、尤其是纤维增强的环氧树脂。所述电路板尤其例如可构型为具有导体轨、尤其是压印的导体轨(printed Circuit board，PCB)的电路板。

通过该方式可极大地简化传感器组件的电子模块并且例如可取消底板和独立的传感器承载件。底板和传感器承载件可通过唯一的电路板代替，在该唯一的电路板上例如也可整个地或部分地布置传感器组件的操控和分析处理电路。传感器组件的该操控和分析处理电路用于操控至少一个传感器芯片和/或分析处理由该传感器芯片生成的信号。以该方式可通过提到的元件的合并来极大地降低制造耗费并且极大地减小电子模块的安装空间需求。

所述传感器组件尤其可具有至少一个壳体，其中，所述通道构造在所述壳体中。所述通道例如可包括主通道和旁路通道或者说测量通道，其中，所述传感器承载件和传感器芯片例如可布置在旁路通道或者说测量通道中。此外，所述壳体可具有与旁路通道分隔开的电子部件室，其中，所述电子模块或电路板基本上被接收在电子部件室中。传感器承载件则可构造为电路板的伸入到所述通道中的延续部。与由现有技术已知的费事的电子模块相比，所述布置可在技术上较简单地实现。

尤其在将一电路板用作传感器承载件的情况中传感器承载件可至少部分地构型为多层传感器承载件，但在其他情况下和/或在使用其他介质作为传感器承载件的情况下也可如此。因此，所述传感器承载件能以所谓的多层工艺构型并且具有两个或更多个相互连接的承载层。这些承载层例如又可由金属、塑料或陶瓷材料或复合材料制成并且通过连接工艺，例如粘接，来相互连接。

在使用多层工艺并且传感器承载件具有多个传感器层的情况下，入流棱边可通过承载层逆着流体介质主流动方向的不同尺寸而至少部分地台阶式地实施。通过该方式能以至少台阶式地近似的方式实现所述轮廓。例如可通过该方式在垂直于传感器承载件的延伸平面的截平面中构造矩形地成形的轮廓或(通过台阶形来近似的)至少近似为圆的、倒圆的或楔形地成形的轮廓。所述传感器芯片可这样布置在传感器承载件中或布置在其上，使得传感器芯片垂直于局部主流动方向地取向。传感器芯片例如可构型为矩形，其中，该矩形的一个侧边布置成垂直于或基本上垂直于(例如具有一个取向，该取向与垂直的偏差不超过10度)局部主流动方向。

传感器芯片可通过至少一个电连接部来电接触。例如，所述传感器承载件，尤其是形成该传感器承载件的电路板或该电路板的延续部可具有一个或多个导体轨和/或接触焊盘，它们例如通过键合方法与传感器芯片上的相应的触头连接。在该情况下，该电连接可通过至少一个遮盖部保护并且与流体介质分隔开。该遮盖部尤其可构型为所谓的Glob-Top，例如构型为塑料微滴和/或粘接剂微滴，该Glob-top遮盖电连接部，例如键合金属线。通过该方式尤其也可降低由于流过电连接而造成的影响，因为Glob-Top具有平滑的表面。

此外，所述传感器芯片可具有至少一个传感器区域。所述传感器区域例如可为由例如多孔的陶瓷材料制成的传感器表面和/或尤其可为传感器膜片。流动的流体介质可流经作为测量表面或传感器区域的该传感器膜片。所述传感器芯片包括例如至少一个加热元件以及至少两个温度探测器，它们例如布置在传感器芯片的测量表面上，其中，一个温度探测器在加热元件的上游受支承而另一个温度探测器在加热元件的下游受支承。由被温度探测器感测的温度曲线的不对称可推算出流体介质的质量流和/或体积流，所述温度曲线受流体介质的流动影响。

传感器承载件的入流区段在本发明的范畴内要理解为传感器承载件的位于传感器芯片上游的区段。

类似地，传感器承载件的流出区段在本发明的范畴内要理解为传感器承载件的位于传感器芯片下游的区段。

轮廓弦在本发明的范畴内要理解为传感器承载件在其轮廓前棱边和轮廓后棱边之间的假想连接线。所述轮廓前棱边在此是传感器承载件的位于上游的面向入流的空气的棱边。相应地，所述轮廓后棱边是背离入流的空气的棱边。

分段部在本发明的范畴内要理解为构件的中断的构造。所述构件因而由多个部段组成。

本发明的基本构思在于相应于斯托克斯第二问题构造传感器承载件的减小的延伸长度以及在脉动误差小的回流的情况下构造传感器承载件的空气动力学上有利的入流。因此，例如被倒圆的、在部分区域中被倒圆的或区段地呈楔形地构型的传感器承载件横截面在传感器承载件后棱边的区域中用于在向前流动时的在几何形状上限定的分离以及空气动力学上有利的入流，伴随着回流时很大程度上无分离地流经传感器芯片。传感器承载件在传感器承载件后棱边区域中的不对称的实施方案导致：在旁路通道中的单侧或双侧，变动的尾迹以及波动的分离区域减小；允许的迎角范围基于有效的轮廓拱形而增大；以及特征曲线可重复性提高并且信号噪声降低。传感器承载件的分段部引起经过传感器承载件的流动的结构化。在传感器芯片的侧面上，附加地构造具有凹进的台阶部(例如呈阻流板的形式)的、就基本横截面而言更高的表面有助于传感器芯片的侧面上的在几何形状上限定的稳定的分离。传感器承载件前棱边和/或后棱边的三角形的、半圆形的、矩形的和/或正弦形的缺口引起向前流动以及往回流动情况下的流动结构化。

附图说明

本发明的其他可选的细节和特征可由后面对在附图中示意性地示出的优选实施例的描述得到。

图1传感器组件的立体图，

图2传感器组件的电子模块的放大图，

图3带有测量通道和传感器承载件的测量通道盖的俯视图，

图4测量通道盖的横截面图示，

图5测量通道盖的横截面立体图示，

图6传感器承载件在测量通道盖和测量通道中的布置的图示，

图7沿着图6的剖面线A-A的横截面图示，

图8根据图7的构造的流动情况的图示，

图9根据本发明的第一实施方式的测量通道盖的俯视图，

图10根据第一实施方式的测量通道盖的横截面图示，

图11根据本发明的第二实施方式的测量通道盖的横截面图示，

图12根据第二实施方式的传感器承载件的立体图，

图13根据本发明的第三实施方式的测量通道盖的仰视图，

图14传感器承载件的沿着图13的剖面线A-A的横截面图示，

图15传感器承载件沿着图13的剖面线B-B的横截面图示，

图16根据第四实施方式的传感器承载件沿着图13的剖面线A-A的横截面图示，

图17根据第五实施方式的传感器承载件沿着图13的剖面线B-B的横截面图示，

图18根据第五实施方式的传感器承载件的横截面图示，

图19第五实施方式的传感器承载件的放大的横截面图示，

图20根据第六实施方式的传感器承载件的俯视图，

图21根据第七实施方式的传感器承载件的侧视图，

图22根据第八实施方式的传感器承载件的俯视图，

图23根据第九实施方式的传感器承载件的俯视图，

图24根据第十实施方式的传感器承载件的俯视图，

图25根据第十一实施方式的传感器承载件的仰视图，

图26根据第十二实施方式的传感器承载件的仰视图，以及

图27根据第十三实施方式的传感器承载件40的仰视图。

具体实施方式

图1示出用于确定流体介质的参数的传感器组件10的示意图。该传感器组件10构型为热膜空气质量测量器并且包括构造为插入式探测器的传感器壳体12，该传感器壳体例如可插入到通流管中，尤其是内燃机的吸入管段中。传感器壳体12具有壳体主体14、测量通道盖16、电子部件室18以及用于封闭电子部件室18的电子部件室盖20。在测量通道盖16中构造有通道结构22。通道结构22具有：主通道24，该主通道通到就传感器壳体12的图1所示的图示而言的下侧面26上的主流动出口(未示出)中；以及从主通道24分支出的旁路通道或者说测量通道28，该测量通道通到布置在传感器壳体12的端侧30上的旁路通道出口或者说测量通道出口32中。通过所述通道结构22，有代表性的量的流体介质可流经流入开口34，该流入开口在装入状态中与流体介质在传感器壳体12位置处的主流动方向36相反地指向。

图2示出传感器组件10的电子模块38的放大图。在电子模块38的装入状态中传感器承载件40突出到测量通道28中。传感器芯片42这样进入传感器承载件40中，使得构造为传感器芯片42的传感器区域的微机械传感器膜片44能被流体介质流经。传感器承载件42与传感器芯片42是电子模块38的组成部分。电子模块38还具有被折弯的底板46以及安装在该底板上的、例如粘接上去的电路板48，该电路板具有操控和分析处理电路50。传感器芯片42与操控和分析处理电路50通过电连接部52来电连接，该电连接部构型为金属线键合部。这样形成的电子模块38被置入、例如被粘接到传感器壳体12的壳体主体14中的电子部件室18中。在此，传感器承载件40伸入到通道结构22中。接着，电子部件室18被电子部件室盖20封闭。

图3示出测量通道盖16中的通道结构22的俯视图。在该测量通道盖16中布置有离心力转向装置54。测量通道盖16还构造成在测量通道28中构造有测量通道斜坡56。此外，由图3可看到传感器承载件40的布置。传感器承载件40在装入状态下突出到测量通道28中。在图3的图示中可看到传感器承载件40与其后或下侧面58。后或下侧面58是传感器承载件40的与传感器膜片44对置的侧面。传感器承载件40还具有：与流体介质在测量通道28中的主流动方向60相反地指向的前棱边或者说入流棱边62，所述入流棱边可倒圆地构造；以及在下游与入流棱边62相对置的后棱边64。测量通道斜坡56在离心力转向装置54和传感器承载件40的后棱边64之间的区域中延伸。测量通道斜坡56可可选地延伸直至传感器承载件40的后棱边64下游的区域。测量通道28至少在传感器芯片42的区域中被壳体主体14、测量通道盖16、面向电子部件室的壁区段66、和背离电子部件室的壁区段68限界。

图4示出测量通道盖16的横截面图示，其中，所述截面也延伸穿过传感器承载件40。由图4的视图可看到通过具有增大的延伸长度的测量通道斜坡56，测量通道28中的通流横截面变得越来越小，这与由传感器承载件40造成的横截面减小一起导致流动的流体介质的流动加速和流动介质的波动部分减小。可良好地看到：测量通道斜坡56在传感器承载件40的后棱边64的区域中的制平或者说与传感器承载件40近似平行的构造。

图5示出测量通道盖16的在传感器承载件40的区域中的横截面立体图示。可看到的是：传感器承载件40的侧面与测量通道斜坡56之间的间隙70，传感器芯片42与传感器膜片44被置入所述侧面中。在测量通道28内流动的流体介质的部分流流过该间隙70。此外，由图5可看到，流动的流体介质的导向和调整很大程度上受测量通道斜坡56和传感器承载件40影响。

图6示出传感器承载件40在测量通道盖16中并且更准确地说在测量通道28中的布置。图6尤其示出传感器承载件40区域中的测量通道28中的未改型的几何形状情况。传感器芯片42在该视图中位于传感器承载件40的后侧面上。在正常运行中，即在从空气过滤器向前流向发动机的情况下，空气在面向和背离传感器芯片42的侧面上并且在传感器承载件40的端侧72和测量通道28的相对置的通道壁之间的间隙71中拂过传感器承载件40。测量通道28的弯曲部跟在传感器承载件40之后。在传感器承载件40的端侧72和测量通道28的壁之间存在间隙71，该间隙的宽度由于制造技术而有波动。测量通道28中的质量流相应地分成传感器承载件40上方的部分质量流、传感器承载件40下方的部分质量流和穿过间隙71的部分质量流。

图7示出测量通道盖16沿着图6的剖面线A-A的横截面图示。示出的是一种可能的流动情况。在环流传感器承载件40之后形成不稳定的尾迹73该尾迹具有波动的速度和压力。这导致：在上游，尤其是在传感器芯片42的区域中产生波动的流动参数，该波动的流动参数导致测量信号中的波动。尽管测量通道28的壁的构型是不对称的，该效应仍旧产生。传统的传感器承载件40构型得对称并从而有助于克服不利的流动情况。

图8示出测量通道盖16沿着图6的剖面线A-A的另一横截面图示。在图8中示出另一可能的流动构造。在该情况中除了在图7中示出的所存在的变动的尾迹区域73之外，在就测量通道28中的主流动方向60而言位于传感器承载件40之后或者说传感器承载件40下游在测量通道28的壁处形成分离和再循环区74。由于测量通道28突然发生改变值为传感器承载件40的后棱边64的高度的改变而形成流动的减慢并伴随着压力增大。基于该压力增大和通道壁上的摩擦力，流动最终在一个或两个通道壁处分离。这样的压力引起的分离典型地既在位置上不稳定也在时间上不稳定。分离点(即，至该点为止与壁平行的流动线第一次从壁离开)、厚度(即，所谓的分离气泡到核心流动区域中的延伸尺度)以及分离气泡的长度改变。该分离与直接位于传感器承载件40之后的尾迹相互影响。基于测量通道28的在图8中位于上方的壁的发散和传感器承载件40的动态地激起的尾迹流动最终甚至会出现：分离区跳到测量通道28的在图8中在上方示出的另一壁。就脉动特性而言，面向传感器芯片42的侧面上的相对大的延伸长度以及在回流时成约90°角地入流的传感器承载件后壁是不利的。

图9示出根据本发明的第一实施方式的测量通道盖16的俯视图。传感器承载件40沿着延伸方向76延伸到测量通道28中。延伸方向76基本上垂直于流体介质在测量通道28中的主流动方向60。

图10示出根据第一实施方式的测量通道盖16的横截面图示。传感器承载件40具有轮廓弦78。轮廓弦78的长度为4.5mm至6.5mm，例如5.5mm。相应地，在流体介质在测量通道28中的主流动方向60上看，传感器承载件40构造得显著地短于传统的传感器承载件，所述传统的传感器承载件的轮廓弦的长度为至少7.0mm。传感器承载件40的横截面的厚度80可为从0.5mm至3.0mm，例如为1.0mm。与传统的实施方式不同，图10所示的实施方式具有倒圆的后棱边64。因此，传感器承载件40在第一实施方式中具有倒圆的前棱边或入流棱边62和倒圆的后棱边64。由此，传感器承载件40构造成双椭圆的形状。

图11示出根据第二实施方式的测量通道盖16的横截面图示。在后面仅描述与之前实施方式的区别，相同的构件设有相同的附图标记。就流体介质在测量通道28中的主流动方向60而言，传感器承载件40具有位于传感器芯片42上游的入流区段82和位于传感器芯片42下游的流出区段84。流出区段84构造成至少部分地被倒圆或至少部分地呈楔形。在所示的实施例中，流出区段84构造成跳板86的形式。相应地，传感器承载件40在传感器芯片42的侧面上即上侧面88上在传感器芯片42区域中的平坦面的延续中具有窄的横截面90，该横截面的棱边92在该实施方案中可设有不同大小的半径94，96。而在背离传感器芯片42的下侧面58上轮廓经由两个半径98，100朝上侧面88的方向凹进并且在后棱边64上同样设有半径。在微注塑方法中目前可实现直至最小0.1mm的半径。可设想的是，后棱边64的区域中的较大的半径的值为直至2mm而下侧面58的凹进轮廓区域中的半径的值为0.1mm至10mm。

图12示出根据第二实施方式的传感器承载件40的立体图。尤其可看到的是流出区段84的跳板状的构造。在此也可看到横截面轮廓的不同半径94，96，98，100。

图13示出根据第三实施方式的传感器承载件40的仰视图。之后仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。简明示出的是传感器芯片42在传感器承载件40的上侧面88上的位置。

图14示出传感器承载件40沿着图13的剖面线A-A的横截面图示。在第三实施方式的传感器承载件40中流出区段84构造得关于轮廓弦78对称。

图15示出传感器承载件40沿着图13的剖面线B-B的横截面图示。在第三实施方式的传感器承载件40中，流出区段84构造得关于轮廓弦78对称。但传感器承载件40在传感器芯片42的区域中具有与在其余区域中相比较大的厚度。在观察沿着图13的剖面线A-A和B-B的横截面时，该特殊构造很突出。因此，传感器承载件40沿着图13的剖面线A-A具有与沿着图13的剖面线B-B的厚度104相比较大的厚度102。

图16示出根据第四实施方式的传感器承载件40的横截面图示。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。该截面在此沿着图13的剖面线A-A延伸。简明示出的是传感器芯片42在传感器承载件40的上侧面88上的位置。第四实施方式基于第二实施方式并且合并第三实施方式的细节。可看到传感器承载件40在流出区段84上构造有跳板86并且可看到横截面轮廓的在那里构造的半径92，94，98，100。

图17示出传感器承载件40沿着图13的剖面线B-B的横截面图示。传感器承载件40在传感器芯片42的区域中具有与其他区域相比较大的厚度。在观察第四实施方式的沿着图13的剖面线A-A和B-B的横截面时，该特殊构造很突出。传感器承载件40沿着用于第四实施方式的图13的剖面线A-A具有与沿着用于第四实施方式的图13的剖面线B-B的厚度104相比较大的厚度102。从下侧面58到跳板86的过渡也可构造成样条105的形式。

图18示出根据第五实施方式的传感器承载件40的横截面图示。在传感器承载件40的上侧面上布置有突起106。图18示出根据第四实施方式的传感器承载件40的横截面图示。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第三实施方式的传感器承载件40中流出区段84构造得关于轮廓弦78对称。在流出区段84上传感器承载件40具有突起106。突起106位于后棱边64上并且从后棱边朝上侧面88方向竖起。

图19示出第五实施方式的传感器承载件40的放大的横截面图示。可看到的是突起106。突起106构造成台阶形，使得突起106具有矩形的横截面。突起106相对于传感器芯片42在测量通道28中的主流动方向60上具有从0.5mm至2.0mm、例如1.0mm的间距108。突起80的宽度110为0.1mm至0.4mm，例如0.2mm。突起106布置成与上侧面88或者说传感器芯片42的水平面的间距112为-0.2mm至0.4mm，例如0.1mm。突起106不必强制性地具有矩形的横截面。其他的横截面形状例如三角形、更多角形或倒圆同样是可能的。

图20示出根据第六实施方式的传感器承载件40的俯视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第六实施方式中突起106构造为分段部114。换言之，突起106具有多个中断，使得突起106由多个成列地布置的部段组成，这些部段就传感器芯片42的测量通道28中的主流动方向60而言布置在下游并且平行于延伸方向76地布置。

图21示出根据第七实施方式的传感器承载件40的侧视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在该第七实施方式中，传感器承载件40在后棱边64上取代突起106具有切口或缺口116。缺口116的高度118为0.1mm至0.25mm，例如为0.15mm。缺口116沿延伸方向76延伸经过后棱边64的整个长度。替代地，缺口116仅延伸经过后棱边64的一部分。

图22示出根据第八实施方式的传感器承载件40的俯视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在该第八实施方式中入流棱边62具有切口或缺口120。缺口120并非沿延伸方向76延伸经过入流棱边62的整个长度，而是布置成在延伸方向76上隔开间距122。缺口120构造成使得传感器承载件40朝端侧72方向变细。在此，传感器承载件40线性地经由区段124变细，该区段又过渡到与入流棱边62平行的区段126中。变细的区段124在延伸方向76上的尺寸128为0.5mm至5.0mm，例如2.0mm。缺口120的深度130可为0.5mm至3.5mm，例如1.0mm。

图23示出根据第九实施方式的传感器承载件40的俯视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第九实施方式中入流棱边62同样具有切口或缺口120。但区段124并非线性地变细而是具有连续的曲率。

图24示出根据第十实施方式的传感器承载件40的俯视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第十实施方式中，传感器承载件40在入流棱边62上具有第一缺口132和第二缺口134。传感器承载件此外在后棱边64上具有第三缺口136。第一缺口132从传感器承载件40的与端侧72相对置的端部138沿延伸方向76延伸直至点140，该点与传感器芯片42的面向端侧72的端部142在延伸方向上隔开的距离144为-2.0mm至2.0mm，例如为-1.0mm。第一缺口132的深度146为0.2mm至1.0mm，例如0.5mm。邻接于此地构造有过渡区段148，该过渡区段线性地延伸向与测量通道中的主流动方向60相反地指向的突起150。过渡区段148在延伸方向76上的尺寸152为0.1mm至2.0mm，例如0.5mm。在朝端侧72的延伸方向76上第二缺口134邻接到突起150上，该第二缺口使传感器承载件40朝端侧72线性地变细。第二缺口134在延伸方向76上的尺寸154为0.1mm至2.0mm，例如0.5mm。第二缺口134在其最深的部位处的深度156为0.2mm至1.0mm，例如0.5mm。第三缺口136从部位158延伸，该部位与延伸方向76相反地与传感器芯片42的面向端侧72的端部142错开-1.0mm至2.0mm、例如1.0mm的距离160，。第三缺口136具有线性地变细的过渡区段162和平行于后棱边64延伸的区段164。线性地变细的区段162在延伸方向76方向上的尺寸166为0.5mm至3.0mm，例如1.5mm。平行于后棱边64延伸的区段164的深度168为0.2mm至1.5mm，例如0.75mm。

图25示出根据第十一实施方式的传感器承载件40的仰视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第十一实施方式中传感器承载件40沿延伸方向76朝端侧72变细。例如，后棱边64以0°至20°，例如10°的第一角度α线性地变细，而入流棱边62以0°至30°，例如10°的第二角度β线性地变细。第一角度α和第二角度β在其大小上可以是不同的或是相同的。

图26示出根据第十二实施方式的传感器承载件40的仰视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第十二实施方式中，后棱边64以0.1mm至2.0mm，例如1.0mm的第一半径170过渡到端侧72中。入流棱边62以0.1mm至2.0mm，例如1.0mm的第二半径172过渡到端侧72中。此外，端侧72具有正弦形的缺口174。该正弦形的缺口174构造成其形状的波长176为0.4mm至5.0mm，例如1.0mm。

图27示出根据第十三实施方式的传感器承载件40的仰视图。在后面仅描述与之前实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第十三实施方式中后棱边64以0.1mm至10.0mm，例如5.0mm的半径178过渡到测量通道28的邻接的通道壁中。不相切地过渡到邻接的测量通道28通道壁也是可能的。