流量检定单元的制作方法

本发明涉及一种对于具有多个质量流量控制器的气体集成单元而逐个检定质量流量控制器的流量的流量检定单元。

背景技术：

气体集成单元由多个气体供给管线集成而成。气体集成单元例如与反应容器相连接，并通过气体供给管线而对向真空状态的反应容器供给的1种或2种以上气体进行控制。向反应容器供给的作用气体的流量会影响产品质量。因此，气体供给管线分别具备：测定流量的质量流量控制器、和以使质量流量控制器的测定值与设定流量相一致的方式而进行工作的流量控制阀。质量流量控制器例如根据作用气体在流通于较细的内部配管时的上游侧与下游侧的温差而对流量进行测量。当作用气体的生成物附着于内部配管的内壁而使内部配管的内径发生变化时，在质量流量控制器的测定值中将会产生误差。因此，气体集成单元使用流量检定单元，而逐个检定质量流量控制器的流量。

图8是现有的流量检定单元101与气体集成单元110的回路图。气体集成单元110具备对冲洗气体进行控制的冲洗气体管线111、以及第1～第3气体供给管线121a、121b、121c。冲洗气体管线111具备输入冲洗气体的冲洗气体输入口117，并从上游侧起依次直列地连接有调节器112、布顿管(bourdontube)式压力计113、压力计114、第1冲洗阀115以及第2冲洗阀116。第1气体供给管线121a具备输入第1气体的气体输入口127a，并从上游侧起依次直列地连接有压力计122a、气体输入阀123a、质量流量控制器124a以及流量控制阀125a。此外，第1气体供给管线121a在气体输入阀123a与质量流量控制器124a之间具备冲洗气体输入阀126a，该冲洗气体输入阀126a对从冲洗气体管线111所分流出的冲洗气体的输入进行控制。第2、第3气体供给管线121b、121c亦以与第1气体供给管线121a相同的方式而构成。冲洗气体管线111与第1～第3气体供给管线121a～121c经由共同流道130而并列地连接于共同输出阀131。

流量检定单元101包括第1关闭阀102、压力计103、温度计104以及第2关闭阀105，并且第1关闭阀102与共同流道130连接。流量检定单元101例如在实施质量流量控制器124a的流量检定的情况下，将气体输入阀123a～123c、第2冲洗阀116、流量控制阀125b、125c、共同输出阀131以及第2关闭阀105设为闭阀状态，并将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126a、流量控制阀125a以及第1关闭阀102设为开阀状态，从而使冲洗气体流至质量流量控制器124a，并将冲洗气体填充于第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间。然后，流量检定单元101根据压力计103所测定的压力测定值而求得测定时间内的压力上升值，并根据该压力上升值、温度计104所测定的温度测定值、测定时间、第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间的容积v，而计算出质量流量控制器124a的绝对流量。并且，流量检定单元101求得所计算出的绝对流量与设定流量之间的误差，若该误差位于正常范围与异常范围之间的容许范围，则对设定流量进行补正。此外，若误差位于异常范围，则流量检定单元101实施指示更换质量流量控制器124a的显示。

此处，气体集成单元110即使是相同的回路结构，也会因构成部件的公差或组装公差等而使第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c、共同输出阀131以及第1关闭阀102之间的容积v1在固体间发生偏差(也将容积v1称为“槽容积v1”)。槽容积v1的偏差成为容积v的偏差，从而使流量检定的精度降低。

因此，现有的流量检定单元101例如将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126a、流量控制阀125a以及第1关闭阀102设为开阀状态，并将流量控制阀125b、125c、冲洗气体输入阀126b、126c、共同输出阀131以及第2关闭阀105设为闭阀状态，且向冲洗气体管线111供给冲洗气体，并求得从压力计103测定出既定初始压力起至测定出目标压力为止的每单位时间的压力上升值，从而根据压力上升值与温度计104所测定的温度测定值而计算出容积v。由于流量检定单元101已知第1关闭阀102与第2关闭阀105之间的容积v2(也将容积v2称为“已知容积v2”)，因此通过从容积v减去已知容积v2而计算出槽容积v1，并使槽容积v1的偏差反映至质量流量控制器124a～124c的流量检定中(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2011-64707号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

然而，现有的流量检定单元101例如使用气体集成单元110的质量流量控制器124a来测定容积v(槽容积v1)。当质量流量控制器124a～124c被用于气体控制时，由于生成物可能附着于内部配管，因此，对于现有的流量检定单元101而言，不得不在气体集成单元110出厂前或开始使用前对容积v(槽容积v1)进行计算。而且，由于该容积v(槽容积v1)是该气体集成单元110所固有的值，因此为了保持流量检定的精度，而针对每一台气体集成单元110各设置一台现有的流量检定单元101。流量检定以每周一次的方式而定期地进行。因此，流量检定单元未被有效地使用。

用于解决课题的手段

本发明正是为了解决上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够换装于多个气体集成单元来进行流量检定的流量检定单元。

本发明的一个形态具有如下的构成。

(1)一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元中直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，所述流量检定单元的特征在于，具有设置于所述压力计的上游侧并以拆装自如的方式而与所述气体集成单元连接的连接部；直列地连接有对检定气体的输入进行控制的检定气体输入阀、对所述检定气体的流量进行测量的检定侧质量流量控制器、以及以使所述检定侧质量流量控制器所测定出的检定气体流量测定值与设定流量一致的方式而进行控制的检定侧流量控制阀；所述检定气体输入阀、所述检定侧质量流量控制器以及所述检定侧流量控制阀相对于所述关闭阀而并列地设置。

上述结构的流量检定单元经由连接部而以拆装自如的方式与气体集成单元连接。在该情況下，根据将连接部连接于气体集成单元的状况，气体集成单元的流量控制阀与关闭阀之间的容积会产生偏差。但是，在上述结构的流量检定单元中，直列连接的检定气体输入阀、检定侧质量流量控制器以及检定侧流量控制阀相对于关闭阀而并列地被设置。因此，即使流量检定单元不使用气体集成单元的质量流量控制器，只要将关闭阀设为闭阀的状态、将检定气体输入阀设为开阀的状态，则也能够经由检定侧质量流量控制器和检定侧流量控制阀将检定气体控制为设定流量，并使之填充于与关闭阀相比而靠上游侧。只要流量检定单元在该情況下使用压力计所测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值和温度计所测定出的温度测定值，就能够计算出从流量控制阀至关闭阀的容积，从而实施流量检定。因此，根据上述结构的流量检定单元，能够换装于多个气体集成单元来进行流量检定。

(2)在(1)所述的结构中，优选为，具有校正装置，所述校正装置使所述检定气体流至所述检定侧质量流量控制器而对所述检定侧质量流量控制器进行校正。

在上述结构的流量检定单元中，能够准确地计算出流量控制阀与关闭阀之间的容积，从而能够使流量检定精度稳定。

(3)在(1)或(2)所述的结构中，优选为，所述压力计包括测定范围不同的第1压力计和第2压力。

在上述结构的流量检定单元中，由于能够配合着作为检定对象的质量流量控制器的控制流量来选择第1及第2压力计中的某一个，因此能够在不降低检定精度的条件下缩短检定时间。

发明效果

因此，根据上述结构，能够提供一种可换装于多个气体集成单元来进行流量检定的流量单元。

附图说明

图1是将本发明第1实施方式所涉及的流量检定单元连接于气体集成单元而成的流量检定系统的电路图。

图2是对图1所示流量检定单元进行控制的控制装置的概要结构图。

图3是图2所示检定侧质量流量控制器校正程序的流程图。

图4是图2所示容积测定程序的流程图。

图5是图2所示流量检定程序的流程图。

图6是将本发明第2实施方式所涉及的流量检定单元连接于气体集成单元连接而成的流量检定系统的电路图。

图7是控制图6所示流量检定单元的控制装置所执行的流量检定程序的流程图。

图8是现有的流量检定单元与气体集成单元的电路图。

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的流量检定单元的第1实施方式进行说明。图1是将本发明第1实施方式所涉及的流量检定单元1连接于气体集成单元20而成的流量检定系统15的电路图。在图1及以下的说明中，对与现有的流量检定单元101及气体集成单元110(参照图8)共同的构成，使用与现有的流量检定单元101及气体集成单元110(参照图8)相同的符号，并适当地省略说明。流量检定系统15为采用如下方式的系统，即，流量检定单元1以拆装自如的方式而与气体集成单元20连接，并将一台流量检定单元1换装于多台气体集成单元20，从而实施流量检定。

在流量检定单元1中，从第1检定侧连接部2侧起依次将第1关闭阀102、压力计103、温度计104以及第2关闭阀105直列地配置于对第1检定侧连接部2与第2检定侧连接部3进行连接的检定流道4中。流量检定单元1具备将第3检定侧连接部5连接在检定流道4的第1关闭阀102与压力计103之间的汇流流道6。在汇流流道6中，从第3检定侧连接部5侧起依次直列地配置有调节器7、布顿管式压力计8、压力计9、检定气体输入阀10、检定侧质量流量控制器11以及检定侧流量控制阀12。因此，调节器7、布顿管式压力计8、压力计9、检定气体输入阀10、检定侧质量流量控制器11以及检定侧流量控制阀12相对于压力计103、温度计104以及第2关闭阀105而并列地被配置，并且能够在与第2关闭阀105相比靠上游侧填充检定气体。

另一方面，气体集成单元20在共同流道130上配置有终端阀21，并对被设置于共同流道130的终端部的第1集成侧连接部24的开闭进行控制。气体集成单元20设置有对检定气体输入口26与第2集成侧连接部25进行连接的检定气体管线22，并通过检定气体供给阀23而对第2集成侧连接部5的开闭进行控制。除了这些以外，气体集成单元20以与现有的气体集成单元110(参照图8)相同的方式而构成。检定气体输入口26与供给检定气体(在本实施方式为n2气体)的检定气体供给源连接。检定气体供给源也可以是连接有冲洗气体输入口117的冲洗气体供给源。

图2是对图1所示流量检定单元1进行控制的控制装置40的概要结构图。控制装置40是周知的微型计算机，其具备中央运算处理装置(cpu)41、输入输出接口42、rom43以及ram44。在rom43中，存储有各种程序和数据。例如，在rom43中，存储有校正程序45、容积测定程序46、流量检定程序47。此外，在rom43中，具备数据存储部48等，数据存储部48对例如检定侧质量流量控制器11与质量流量控制器124a～124c的设定流量、实施容积测定或流量检定时的测定开始压力p0、测定压力的测定时间t、被预先测定的第1关闭阀102、第2关闭阀105以及检定侧质量流量控制器11之间的容积(已知容积)v2(参照图1)等进行存储。

输入输出接口42与图1所示的第1关闭阀102、压力计103、温度计104、第2关闭阀105、布顿管式压力计8、压力计9、检定气体输入阀10、检定侧质量流量控制器11以及检定侧流量控制阀12连接。此外，输入输出接口42与气体集成单元20的控制器(未图示)连接，控制装置40能够经由气体集成单元20的控制器(未图示)而对第1及第2冲洗阀115、116、气体输入阀123a～123c、流量控制阀125a～125c以及冲洗气体输入阀126a～126c的开闭进行控制。此外，输入输出接口42与排气阀30连接，以使控制装置40能够对排气阀30的开闭进行控制。

接下来，对上述流量检定单元1的工作进行说明。流量检定单元1通过将第1检定侧连接部2连接于第1集成侧连接部24，并将第3检定侧连接部5连接于气体集成单元20的第2集成侧连接部25，从而被安装于气体集成单元20中。流量检定单元1的第2检定侧连接部3被连接于排气阀30。流量检定单元1例如通过操作员按压流量检定开始指示按钮从而开始进行流量检定。

流量检定单元1的控制装置40首先从rom43读取并执行校正程序45，并使检定气体流至检定侧质量流量控制器11而对检定侧质量流量控制器11进行校正。检定侧质量流量控制器11的校正是为了提高测定第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间容积v的精度而被实施的。图3是图2所示的检定侧质量流量控制器校正程序45的流程图。

首先在步骤1(以下简称为“s1”)中，控制装置40以设定流量状态而使检定气体流动，并关闭第2关闭阀105。具体而言，控制装置40将检定气体供给阀23、检定气体输入阀10、检定侧流量控制阀12、第2关闭阀105以及排气阀30设为开阀状态，另一方面，将第1关闭阀102设为闭阀状态。由此，检定气体经由调节器7、布顿管式压力计8、压力计9、检定气体输入阀10、检定侧质量流量控制器11、检定侧流量控制阀12、压力计103、温度计104以及第2关闭阀105而流至排气阀30。控制装置40从数据存储部48读取设定流量，并以使检定侧质量流量控制器11的流量测定值与设定流量一致的方式而使检定侧流量控制阀12工作。检定侧质量流量控制器11的流量测定值稳定后，将第2关闭阀105设为闭阀状态。接着，控制装置40在s2中对压力变动值△p0、测定时间t以及测定温度rt0进行测定，并使用下述数学式1所记载的气体的状态方程式来实施流量确认。

数学式1

具体而言，当第2关闭阀105闭阀时，检定流道4的内部压力会上升。因此，控制装置40从数据存储部48读取压力测定开始温度p0与测定时间t，并通过压力计103而对从压力计103测定出压力测定开始温度起经过了测定时间t之后的压力p1进行测定，从而对压力变动值△p0(△p0＝p1-p0)进行计算。而且，控制装置40输入温度计104所测定出的测定温度rt0。然后，控制装置40从数据存储部48读取已知容积v2。控制装置40针对该第1数学式，将压力变动值△p0代入“压力变动值”、将已知容积v2代入“容积”、将测定时间t代入“测定时间”以及将测定温度rt0代入“温度”，从而对检定侧质量流量控制器11的流量q0进行测定。

然后，控制装置40在s3中进行与初始值(出厂前的数据)的比较并实施校正。具体而言，控制装置40将在s2中所计算出的流量q0与设定流量进行比较。若流量q0与设定流量的误差处于正常范围与异常范围之间的容许范围，则控制装置40对设定流量进行修正以消除该误差。此外，若流量q0与设定流量的误差处于异常范围，则控制装置40实施通知检定侧质量流量控制器11异常的显示。由此，结束检定侧质量流量控制器11的校正。

接着，控制装置40从rom43读取并执行容积测定程序46，从而对第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间的容积v[对第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c、共同输出阀131以及第1关闭阀102之间的槽容积v1(参照图1)加上已知容积v2而得的容积v]进行测定。由于根据第1集成侧连接部24与第1检定侧连接部2之间的连接状况，容积v会在各气体集成单元20中产生偏差，因此这是为了在与所连接的气体集成单元20的关系中准确地掌握容积v。图4是图2所示容积测定程序46的流程图。

控制装置40在s11中以设定流量状态而使检定气体流动。具体而言，将第2冲洗阀116、流量控制阀125a～125c以及共同输出阀131设定成闭阀状态，并将检定气体供给阀23、检定气体输入阀10、检定侧流量控制阀12、第1关闭阀102、第2关闭阀105、排气阀30以及终端阀21设为开阀状态，从而使检定气体流动。此时，检定侧流量控制阀12以使检定侧质量流量控制器11的流量测定值与被存储于数据存储部48中的设定流量一致的方式而进行工作。

在s12中，控制装置40在流量变稳定后，关闭第2关闭阀105，并利用检定气体而使配管内的压力上升。具体而言，控制装置40在检定侧质量流量控制器11的流量测定值变稳定后，将第2关闭阀105设为闭阀状态，从而不会排出检定气体。于是，共同流道130、检定流道4的内压将会上升。

然后，在s13中，控制装置40对测定时间t内的压力变动值△p1进行测定。具体而言，在第2关闭阀105关闭之后，一旦压力计103测定出了测定开始压力p0，则控制装置40通过压力计103而对从该时间点起经过了测定时间t之后的压力p2进行测量。而且，通过从经过了测定时间t时的压力p2减去测定开始压力p0，从而对压力变动值△p1进行计算。

控制装置40在s14中根据上述数学式1所记载的气体的状态方程式而计算出容积v。即，控制装置40针对该第1数学式，将在s13中计算出的压力变动值△p1代入“压力变动值”、将被存储于数据存储部48中的设定流量及测定时间t代入“流量”与“测定时间”、将温度计104所测定出的温度测定值rt1代入“温度”，从而计算出容积v。由于检定侧质量流量控制器11在容积测定前已被实施校正，因此容积v被高精度地计算出。由此，控制装置40结束容积测定处理。

接着，控制装置40从rom43读取流量检定程序47，并针对气体集成单元20逐个检定质量流量控制器124a～124c的流量。图5是图2所示的流量检定程序47的流程图。

控制装置40在s21中经由作为检定对象的质量流量控制器而使冲洗气体以设定流量状态流动。具体而言，控制装置40例如在实施质量流量控制器124a的流量检定的情况下，将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126a、流量控制阀125a、终端阀21、第1关闭阀102、第2关闭阀105以及排气阀30设为开阀状态，并将第2冲洗阀116、气体输入阀123a～123c、流量控制阀125b、125c、冲洗气体输入阀126b、126c、检定气体供给阀23、检定气体输入阀10、检定侧流量控制阀12以及共同输出阀131设为闭阀状态，从而使冲洗气体流至质量流量控制器124a。

然后，在s22中，控制装置40在质量流量控制器124a的流量变稳定之后，关闭第2关闭阀105，并利用冲洗气体而使配管内的压力上升。具体而言，通过控制装置40在质量流量控制器124a的流量测定值变稳定之后，关闭第2关闭阀105，从而使冲洗气体填充于共同流道130与检定流道4，由此使容积v中的压力上升。

接着，在s23中，控制装置40对测定时间t内的压力变动值△p2进行计算。具体而言，控制装置40在压力计103的压力测定值变成了被存储于数据存储部48中的测定开始压力p0之后，利用压力计103而对从该时间点起经过了测定时间t之后的压力p3进行计算。而且，通过从所测量出的压力p3减去测定开始压力p0，而计算出压力变动值△p2。

然后，在s24中，控制装置40根据上述数学式1所记载的气体的状态方程式而计算出绝对流量q2。即，针对上述数学式1，将根据图4所记载的处理所测定出的容积v代入“容积”、将在s23中所计算出的压力变动值△p2代入“压力变动值”、将被存储于数据存储部48中的测定时间t代入“测定时间”、将温度计104的温度测定值rt2代入“温度”，从而对绝对流量q2进行计算。

接着，在s25中，控制装置40在s25中对绝对流量q2与设定流量进行比较，从而实施流量检定。具体而言，控制装置40求得当前的设定流量与在s24中所计算出的绝对流量q2之间的误差，且在该误差处于正常范围的情况下，实施显示以便通知检定结束的含义。此外，控制装置40在当前的设定流量与绝对流量q2之间的误差处于正常范围与异常范围之间的容许范围的情况下，对质量流量控制器124a的设定流量进行补正，并实施显示以便通知检定结束的含义。另外，控制装置40在当前的设定流量与绝对流量q2之间的误差处于异常范围的情况下，进行显示以指示质量流量控制器124a的更换。由此，控制装置40结束流量检定。

当结束了流量检定的流量检定单元1将气体集成单元20内与流量检定单元1内的阀全部设为闭阀状态时，解除第1及第3检定侧连接部2、5与第1及第2集成侧连接部24、25之间的连接，并解除第2检定侧连接部3与排气阀30之间的连接，从而从气体集成单元20被拆下。

并且，流量检定单元1与上述一样，被安装于其他的气体集成单元20中，并在实施检定侧质量流量控制器11的校正与容积v的测定后，实施流量检定。在该情况下，根据第1检定侧连接部2的连接状况，与之后的气体集成单元20的关系中的容积v可能不同于与之前的气体集成单元20的关系中的容积v。但是，由于流量检定单元1使用检定侧质量流量控制器11来计算出之后的气体集成单元20的容积v，因此对于后一气体集成单元20亦能够高精度地实施流量检定。

如以上所说明的那样，本实施方式的流量检定单元1针对将具备质量流量控制器124a～124c与流量控制阀125a～125c的第1～第3气体供给管线121a～121c并列地配置的气体集成单元20逐个检定质量流量控制器124a～124c的流量，该流量检定单元1中直列地配置有压力计103、温度计104以及第2关闭阀105，并利用在使第2关闭阀105闭阀的状态下由压力计103测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由温度计104测定出的温度测定值，而计算出流量控制阀125a～125c与第2关闭阀105之间的容积v，从而实施流量检定，该流量检定单元1的特征在于，具有被设置于压力计103的上游侧并以拆装自如的方式而与气体集成单元20连接的第1检定侧连接部2；直列地连接有对检定气体的输入进行控制的检定气体输入阀10、对检定气体的流量进行测量的检定侧质量流量控制器11、以及以使检定侧质量流量控制器11所测定出的检定气体流量测定值与设定流量一致的的方式而进行控制的检定侧流量控制阀12；检定气体输入阀10、检定侧质量流量控制器11以及侧流量控制阀12相对于第2关闭阀105而并列地设置。

这种流量检定单元1经由第1检定侧连接部2而以拆装自如的方式与气体集成单元20连接。在该情况下，根据将第1检定侧连接部2与气体集成单元20连接的状况，气体集成单元20的流量控制阀125a～125c与第2关闭阀105之间的容积v会产生偏差。但是，在上述流量检定单元1中，直列地连接的检定气体输入阀10、检定侧质量流量控制器11以及检定侧流量控制阀12与第2关闭阀105并列地被设置。因此，即使流量检定单元1不使用气体集成单元20的质量流量控制器124a～124c，只要将第2关闭阀105设为闭阀状态并将检定气体输入阀10设为开阀状态，则也能够经由检定侧质量流量控制器11与检定侧流量控制阀12将检定气体控制为设定流量，并使之填充于与第2关闭阀105相比而靠上游侧。流量检定单元1在该情况下只要使用压力计103所测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值以及温度计104所测定出的温度测定值，就能够计算出从流量控制阀125a～125c至第2关闭阀105的容积v，从而实施流量检定。因此，根据该流量检定单元1，能够换装于多个气体集成单元20来进行流量检定。

此外，本实施方式的流量检定单元1具有校正程序(校正装置的一个示例)，所述校正程序使检定气体流至检定侧质量流量控制器11来校正检定侧质量流量控制器11，因此能够准确地计算出容积v，从而能够使流量检定精度稳定。

接着，对本发明的流量检定单元的第2实施方式进行说明。图6是表示将本发明的第2实施方式所涉及的流量检定单元60与气体集成单元20连接而成的流量检定系统65的电路图。流量检定系统65除了流量检定单元60配置测定范围不同的第1及第2压力计61、62来替代第1实施方式的压力计103这一点以外，均被构成为与第1实施方式的流量检定系统15相同。在以下的说明中，在对与第1实施方式相同的结构上，标注与第1实施方式相同的符号，并适当地省略说明。

图7是对图6所示流量检定单元60进行控制的控制装置40所执行的流量检定程序的流程图。图7所示的流量检定程序的处理仅s31的处理与第1实施方式的流量检定程序47的处理(参照图5)不同。在s31中，控制装置40在成为检定对象的质量流量控制器的流量稳定后，对第1压力计61的压力测定值进行检测，并选择适合压力测定值的压力计61、62。然后，关闭第2关闭阀105，并利用冲洗气体而使配管内的压力上升。

具体而言，例如在实施质量流量控制器124a的流量检定的情况下，在s31中，将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126a、流量控制阀125a、终端阀21、第1关闭阀102、第2关闭阀105以及排气阀30设为开阀状态，并将第2冲洗阀116、气体输入阀123a～123c、流量控制阀125b、125c、冲洗气体输入阀126b、126c、检定气体供给阀23、检定气体输入阀10、检定侧流量控制阀12以及共同输出阀131设为闭阀状态，从而使冲洗气体流至质量流量控制器124a，并且在质量流量控制器124a的流量稳定后，从第1压力计61输入压力测定值。然后，若第1压力计61的压力测定值处于第1压力计61的测定范围内，则选择第1压力计61。另一方面，若第1压力计61的压力测定值处于第1压力计61的测定范围外，则选择第2压力计62。由于选择压力计后的处理与第1实施方式的流量检定相同，因此省略说明。

即使气体集成单元20的容积v相同，根据质量流量控制器124a～124c的控制流量而使冲洗气体填充于容积v的时间也会不同。即，例如质量流量控制器124a～124c的控制流量为1sccm以上且小于10sccm的气体集成单元20，与质量流量控制器124a～124c的控制流量为10sccm以上且1000sccm以下的气体集成单元20相比，使冲洗气体填充于容积v更花费时间。

相对于此，本实施方式的流量检定单元60例如在质量流量控制器124a的设定流量为1sccm以上且小于10sccm的情况下，且在第1压力计61无法测量出压力的情况下，选择与第1压力计61相比测定范围为低压的第2压力计62，并使用第2压力计62的压力测定值来实施流量检定。另一方面，在质量流量控制器124a的设定流量为10sccm以上且1000sccm以下的情况下，且在第1压力计61能够测定出压力的情况下，选择第1压力计61，并使用第1压力计61的压力测定值来实施流量检定。因此，根据本实施方式的流量检定单元60，由于能够配合作为检定对象的质量流量控制器124a的控制流量来选择第1及第2压力计61、62中的某一个，因此能够在不降低检定精度的条件下缩短检定时间。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，其能够进行各种的应用。例如，在上述的实施方式中，在气体集成单元20设置用于向流量检定单元1供给检定气体的检定气体管线22。针对该结构，也可以采用如下方式，即，省略流量检定单元1的调节器7、布顿管式压力计8以及压力计9，而设置连接在冲洗气体管线111的压力计114与第1冲洗阀115之间的配管、和被配置于该配管上的供给阀，并将流量检定单元1的第3检定侧连接部5连接在与配管的供给阀相比靠下游侧的位置处。在该情况下，检定侧质量流量控制器11的校正或容积测定是从冲洗气体管线111输入冲洗气体而进行的。在该情况下，减少了搭载于流量检定单元1的设备，从而能够实现降低成本。

例如，虽然在上述实施方式中，使质量流量控制器124a～124c的设定流量存储于数据存储部48，但是也可以采用如下方式，即，由控制装置40从气体集成单元的控制器(未图示)输入。

例如，虽然在上述第2实施方式中，使用了测定范围不同的第1及第2压力计61、62，但是也可以采用如下方式，即，在第1及第2关闭阀102、105之间并列地配置两个测定范围相同的压力计，并对压力测定值进行比较。

例如，也可以采用如下方式，即，省略终端阀21、检定气体供给阀23以及排气阀30，并利用密封栓等而对共同流道130、检定气体管线22以及检定流道4的末端进行密封。

附图标记的说明

1、60…流量检定单元；

2…第1检定侧连接部(连接部的一个示例)；

10…检定气体输入阀；

11…检定侧质量流量控制器；

12…检定侧流量控制阀；

20…气体集成单元；

44…校正程序(校正装置的一个示例)；

61、62…第1及第2压力计；

103…压力计；

104…温度计；

105…第2关闭阀(关闭阀的一个示例)；

121a～121c…第1～第3气体供给管线；

124a～124c…质量流量控制器；

125a～125c…流量控制阀。