基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统及方法与流程

文档序号:14686296发布日期:2018-06-15 00:26阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统,包括CdS薄膜传动系统、计算机及设于上述传动系统上方的光源和拍摄像机;所述计算机内设置有图像采集卡,并具有将CdS薄膜颜色信息转换为厚度信息的功能;当传动系统将CdS薄膜传送至拍摄相机正下方时,拍摄相机采集CdS薄膜的图像,并传送至计算机,计算机获得相应厚度信息。本发明的系统由于采用的是反射光路,这将减小CdS薄膜底层的影响,也可运用于CdS薄膜底层为不透明的情形,还具有检测速度快、检测精度高的特点;能有效提高太阳电池的生产效率,从而降低生产成本。

技术研发人员:黄勇彪;林文宝;刘海燕;涂代旺;郑林芬;
受保护的技术使用者:深圳市众诚达应用材料科技有限公司;
技术研发日:2016.02.25
技术公布日:2016.07.13

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