无胶封装高温涡街应力式传导传感器的制作方法

涡街流量计可用于所有气体及低粘度液体、量程比可以超过400:1、线性度好、重复性误差极低、仪表系数与流体无关等特点，特别是随着技术的不断革新，使用领域不断扩大，使其成为公认的、最具发展前途的“未来”流量传感器。

由于工业生产现场使用的介质各种各样，介质使用的温度和压力范围也各不相同，使得涡街流量计传感器的工作温度范围为－200℃～400℃之间，由于传统的应力式涡街流量传感器采用钢制外壳、胶、压电陶瓷等材料进行胶浸泡式封装，使得外壳、胶、压电陶瓷等材料形成了一个整体，在使用中无法避免地存在各种材料之间由于膨胀率方面的差异造成相互之间产生应力，导致压电陶瓷的损伤，灵敏度快速衰落，甚至降低传感器使用寿命。

技术实现要素：

本发明针对现在技术的不足，提供了一种无胶封装，有效克服膨胀应力，既实现了良好的机电耦合，又保证了压电陶瓷免受损伤，结构简单、紧凑的无胶封装高温涡街应力式传导传感器。

为实现本发明目的，提供了以下技术方案：无胶封装高温涡街应力式传导传感器，包括传感器壳体、壳体底端的悬臂梁，其特征在于壳体内悬臂梁上方设置有绝缘陶瓷底座，绝缘陶瓷底座上从下往上依次设置有压电陶瓷、绝缘陶瓷片、压紧蝶簧，压电陶瓷与绝缘陶瓷底座间设置有一镍金合金片，一镍金合金片上引出一根信号地线，压电陶瓷与绝缘陶瓷片之间设置有左右两片镍金合金片，左右两片镍金合金片分别引出一根信号线，压紧蝶簧上设置碟簧帽进行固定和压紧蝶簧。

作为优选，压紧蝶簧为高温碟簧。

本发明有益效果：本发明采用镀金镍基应力传导技术，并且采用高温叠簧封装技术，使得各连接点留有间隙，又紧密配合，既实现了良好的机电耦合，又保证了压电陶瓷免受损伤，结构简单、紧凑。改善了涡街流量计的高温适应性，增强了涡街流量计的稳定性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

无胶封装高温涡街应力式传导传感器，包括传感器壳体1、壳体1底端的悬臂梁2，壳体1内悬臂梁2上方设置有绝缘陶瓷底座3，绝缘陶瓷底座3上从下往上依次设置有压电陶瓷4、绝缘陶瓷片5、高温碟簧6，压电陶瓷4与绝缘陶瓷底座3间设置有一镍金合金片7，一镍金合金片7上引出一根信号地线8，压电陶瓷4与绝缘陶瓷片5之间设置有左右两片镍金合金片7，左右两片镍金合金片7分别引出一根信号线9，高温碟簧6上设置碟簧帽10进行固定和压接高温碟簧6。这样既实现了良好的机电耦合，又保证了压电陶瓷在各种环境免受损伤，保证了压电陶瓷能准确把涡街力信号转换成电信号，供涡街传感器主板进行转换和处理，满足各用户的需要。