技术总结
本发明提供一种微孔径MEMS声阵列传感器及其使用方法，包括依次连接的MEMS声阵列、声信号预处理器、微控制器和微处理器，所述MEMS声阵列包括多个呈中心对称均匀分布的MEMS传声器；所述声信号预处理器包括多路与所述MEMS传声器一一对应连接的滤波器、以及与各滤波器分别连接的多通道增益调节模块；所述微控制器包括相互连接的AD转换模块和抗虚警模块；所述微处理器包括依次连接的目标检测模块、信号增强模块、分类识别模块和DOA估计模块。本发明的传感器功耗低、体积小、重量轻。
技术研发人员：刘华巍;郭峰;石君;刘建坡;李宝清;袁晓兵
受保护的技术使用者：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
文档号码：201611025627
技术研发日：2016.11.14
技术公布日：2017.03.22