用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法与流程

本发明涉及矫正干蚀刻机台的扫描传感器技术领域，尤其是一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。

背景技术：

目前，干蚀刻机台(Dry Etcher)被广泛地应用于玻璃基板的加工制作过程中，玻璃基板是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)面板的一个重要组成部分。

首先，玻璃基板经过传送腔体并被传送到干蚀刻机台的工艺腔室中，玻璃基板在干蚀刻机台的工艺腔室(Process Chamber)中进行蚀刻加工；玻璃基板在工艺腔室中制程完毕之后，再被运行载体传回至干蚀刻机台的传送腔体中，一般在干蚀刻机台的传送腔体的顶面的两侧各设置一个扫描传感器，当玻璃基板经过扫描传感器的扫描区域时，通过扫描传感器检测制程完毕之后的该玻璃基板是否有破损，比如检测玻璃基板是否存在缺角。扫描传感器有时会出现检测不准的现象，所以需要经常检查扫描传感器的检测结果是否准确，以及进行矫正。

传统的矫正方法是利用玻璃基板对扫描传感器进行调整，这种方法存在以下两个缺点：一是易于造成玻璃基板的损坏，从而造成材料的严重浪费；二是采用玻璃基板进行调整时，手动取放玻璃基板耗时长，影响干蚀刻机台的正常作业时间。

基于上述原因，有必要提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法。

技术实现要素：

本发明主要解决的技术问题是提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具及方法，该检测治具的透明检测板采用强度较大的亚克力板制作，不会发生破损，且尺寸较小，便于搬运和安装，对干蚀刻机台的矫正不会占用太多干蚀刻机台的工作时间。解决现有技术中采用玻璃基板对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正容易造成玻璃基板的破损以及影响作业时间的问题。

为解决上述技术问题，本发明的一方面是，提供一种用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的治具，该检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在该检测载体上的透明检测板，该透明检测板的材质是亚克力板，且该透明检测板的结构尺寸和在该检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该检测载体是安装在干蚀刻机台的驱动装置上的用于作为承载玻璃基板在干蚀刻机台的传送腔体中移动的运行载体。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该运行载体包括均匀分布的多个分支臂，该透明检测板卡接在该运行载体的外侧的分支臂上，该透明检测板的外边缘到该外侧的分支臂的距离与玻璃基板放置在该运行载体的外边缘到该外侧的分支臂的距离相同。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的一侧边缘设置用于将该透明检测板卡接在该运行载体上的卡接结构。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该卡接结构是与该运行载体的外侧的分支臂相匹配的卡槽，该卡槽由两个间隔垂直于该透明检测板的表面设置的侧板构成，两个该侧板与该透明检测板一体成型设置。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该检测治具的两个该侧板的远离该透明检测板的那一边设置有倒钩。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的长度小于干蚀刻机台所检测的玻璃基板的长度。

在本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具的另一个实施例中，该透明检测板的厚度为1mm，该透明检测板的宽度范围是100mm～300mm，其长度范围是300mm～500mm。

为解决上述技术问题，本发明的另一方面是，提供一种该的检测治具对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正，具体包括以下步骤：

将该运行载体安装在干蚀刻机台的驱动装置上，并将该透明检测板卡接在该运行载体上，操作干蚀刻机台的驱动装置带动该运行载体移动，使该透明检测板逐渐移动并通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域；

在该透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前，干蚀刻机台的扫描传感器产生第一信号值A，并且通过干蚀刻机台的控制器记录该第一信号值A；在该透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时，干蚀刻机台的扫描传感器产生第二信号值B，并且通过干蚀刻机台的控制器记录该第二信号值B；

将该第一信号值A以及该第二信号值B与通过干蚀刻机台的控制器设定的参考值C进行比对，

如果该第一信号值A大于该参考值C且该参考值C大于该第二信号值B，则该扫描传感器正常，

如果不满足该第一信号值A大于该参考值C且该参考值C大于该第二信号值B，则至少采取以下措施中的一种对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正至正常：检查干蚀刻机台的传送腔体顶面的透明板、干蚀刻机台的传送腔体内部的反光板，以及干蚀刻机台的传送腔体上方的发光源的表面是否有脏污，如果有脏污，则清理干净；更换干蚀刻机台的扫描传感器；调整该发光源与该反光板之间的角度；对该参考值C进行重新设定。

本发明的有益效果是：本发明提供的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在检测载体上的透明检测板，该透明检测板采用亚克力板制作，且透明检测板的结构尺寸和在检测载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。通过用透明检测板代替传统的玻璃基板矫正扫描传感器，有效避免了玻璃基板的损坏，同时也缩短矫正时间，避免耽误干蚀刻机台的正常作业。通过比对透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前扫描传感器产生的第一信号值A、透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时扫描传感器产生的第二信号值B，以及干蚀刻机台的控制器设定的参考值C，能够有效判别扫描传感器是否需要矫正，并能够简化矫正过程，缩短矫正时间。

附图说明

图1是玻璃基板放置在干蚀刻机台的运行载体上的示意图；

图2是干蚀刻机台的运行载体带动玻璃基板进入干蚀刻机台的传送腔体的示意图；

图3是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1的示意图；

图4是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中的检测治具进入干蚀刻机台的传送腔体的示意图；

图5是图4中的A部放大图；

图6是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中的透明检测板的立体图；

图7是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中透明检测板在运行载体上的另一种布置方式的示意图；

图8是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例2中透明检测板的立体图；

图9是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例3的示意图；

图10是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测方法的流程示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面结合附图和具体实施例，对本发明进行更详细的说明。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本说明书所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本发明。

请参阅图1和图2所示，目前的方法是：选取1片玻璃基板放于干蚀刻机台的运行载体上，手动操作运行载体进入以及退出干蚀刻机台的传送腔体，由此来判断扫描传感器的检测结果是否准确，以及进行矫正。如图1所示，干蚀刻机台的驱动装置1前端设置运行载体2，运行载体2由四根长条状的分支臂201组成，分支臂201的长度L21为2396mm，分支臂201的宽度W22为60mm，选取一块玻璃基板3对扫描传感器进行调整，其中，玻璃基板3的长度L31为1850mm，玻璃基板3的宽度W32为1500mm，玻璃基板3的边缘距离最近的分支臂201的距离M33为170mm，分支臂201上设置O型圈203，O型圈203是软性的橡胶材质，在O型圈203的作用下，玻璃基板3与分支臂201软接触，运行载体2的动作带动玻璃基板3进入干蚀刻机台的传送腔体中，并通过扫描传感器的扫描区域，扫描传感器对玻璃基板3的边缘进行检测，根据检测结果，判断是否需要矫正。

如图2所示，扫描传感器5设置在干蚀刻机台的传送腔体4的上方，传送腔体4的顶面401上还设置有发光源6，顶面401是透明的，发光源6发出的检测光可以穿过顶面401，传送腔体4中设置有反光板7，用于将发光源6发出的光反射到扫描传感器5。

当检测玻璃基板3时，将玻璃基板3放置在干蚀刻机台的运行载体2的四根长条状分支臂201上，玻璃基板3在干蚀刻机台的运行载体2的带动下进入干蚀刻机台的传送腔体4中，发光源6发出的检测光依次透过传送腔体4的顶面401和玻璃基板3照射到反光板7上，而后被反光板7反射，扫描传感器5实际感应的是反光板7反射回来的光线并得到对反射光线的检测信号值。

目前，在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.7mm及0.6mm，且即将迈入更薄(如0.4mm)厚度之制程。由于玻璃基板3非常薄，且其面积越做越大，玻璃基板3很容易损坏，采用玻璃基板对扫描传感器进行矫正调整需要将玻璃基板搬来搬去，并且传送腔体的空间有限，而玻璃基板面积较大，取一整片玻璃基板放置在传送腔体中容易造成磕碰，所以整个矫正调整过程很容易使玻璃基板损坏。

实施例1

请一并参阅图3至图7，图3是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1的示意图，图4是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中的检测治具进入干蚀刻机台的传送腔体的示意图，图5是图4中的A部放大图，图6是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中的透明检测板的立体图，图7是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例1中透明检测板在运行载体上的另一种布置方式的示意图。

该用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的检测载体，以及安装在检测载体上的透明检测板8，透明检测板8采用亚克力板制作。

如图3所示，本实施例中采用干蚀刻机台的运行载体2作为检测治具的检测载体，这样，运行载体2包括均匀分布的多个分支臂201，透明检测板8卡接在运行载体2的外侧的分支臂上，运行载体2带动透明检测板8沿图3中的X方向传送。采用干蚀刻机台的运行载体2代替检测载体，使该治具不需另外设置检测载体。

透明检测板8的材质是亚克力板，亚克力板的透光度与玻璃基板接近，所以采用该检测治具对扫描传感器进行矫正时，透明检测板8的透光率接近玻璃基板的透光率，且亚克力板强度好，不易损坏。

如图4所示，透明检测板8的结构尺寸和在运行载体2上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体4上方的扫描传感器5的扫描区域相适配，即透明检测板8进入干蚀刻机台的传送腔体4中必须经过扫描传感器5的扫描区域。如图5所示，透明检测板8的外边缘到运行载体2外侧的分支臂201的距离W2与图1中玻璃基板3放置在运行载体2的边缘到外侧的分支臂201的距离303相同，这样，对扫描传感器5进行矫正时，透明检测板8与扫描传感器5之间的位置关系模拟玻璃基板3与扫描传感器5的位置关系，而透明检测板8的厚度和透明度与玻璃基板相近，所以，采用该治具矫正后，扫描传感器能够准确检测玻璃基板。

用干蚀刻机台的运行载体2替代检测载体是优选的方案，在其他实施例中，检测载体可以设置为其他的形状或者结构，只要检测载体能够带动透明检测板8进出干蚀刻机台的传送腔体即可。使用另外制作的其他类型的检测载体也能够满足对扫描传感器5进行矫正的要求，比如仅仅设置一根与检测载体的分支臂201结构相同的构件作为检测载体。

如图6所示，透明检测板8的一侧边缘设置用于将透明检测板8卡接在运行载体2上的卡接结构，该卡接结构是与运行载体2的分支臂201相匹配的卡槽801，卡槽801由两个间隔垂直于透明检测板8的表面设置的侧板10构成，两个侧板10相互平行，卡槽801用于将透明检测板8水平卡设在检测治具的运行载体2上。两个侧板10与透明检测板8一体成型设置，这样结构上比较紧固，不会轻易发生透明检测板8与侧板10之间的破裂。

需要说明的是，卡槽801与透明检测板8之间的关系不限于图6所示的方式，只要卡槽801与透明检测板8的连接关系和位置关系能够将透明检测板8卡设在检测治具的运行载体上，并且使透明检测板8保持水平即可满足要求，比如，在其他实施例中，卡槽801的底面与透明检测板8保持垂直，卡槽801卡设在运行载体的高度方向上，这样设置也可以使透明检测板8保持水平。

使透明检测板8保持水平的目的是模拟玻璃基板在运行载体2上的放置方法，玻璃基板在检测是否有破损之前是水平放置在运行载体2上，所以在对传感器进行检测时也要模拟这种放置状态。

如图5所示，透明检测板8的长度D的范围是300mm～500mm，如图6所示，卡槽801的宽度W1与分支臂201的宽度均为60mm。

如图7所示，为了能够同时对传送腔体4上方的两个扫描传感器5进行矫正，可在运行载体2的两侧的分支臂201上分别安装一块透明检测板8。

该治具通过用透明检测板代替传统的玻璃基板矫正扫描传感器，有效避免了玻璃基板的损坏，同时也缩短矫正时间，避免耽误干蚀刻机台的正常作业。

实施例2

请参阅图8，图8是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例2中透明检测板的立体图。本实施例中，检测治具的两个侧板10的远离透明检测板8的那一边设置有倒钩11，设置倒钩11的目的是使卡槽801卡设在检测治具的运行载体时更加紧固，保证透明检测板8的水平设置，这种结构类型的透明检测板需要由运行载体的分支臂的端部套设，并可以将透明检测板8倒挂在检测治具的运行载体上。

实施例3

请参阅图9，图9是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测治具实施例3的示意图。本实施例中，透明检测板8的长度小于干蚀刻机台所检测的玻璃基板的长度，干蚀刻机台的扫描传感器对玻璃基板进行检测时，玻璃基板基本覆盖整个运行载体2，也就是4跟分支臂201都在玻璃基板的下方，但透明检测板8仅为玻璃基板面积的1/50左右，透明检测板8的宽度W3的范围是100mm～300mm，其长度W4的范围是300mm～500mm，透明检测板8的厚度为1mm，透明检测板的面积小，便于拿取，矫正十分方便。透明检测板8优选为长方体形，透明检测板8模拟玻璃基板，其表面平整光滑，且厚度较小。

本发明还提供一种采用上述检测治具对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正的方法，请参阅图10，图10是本发明用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的检测方法的流程示意图，该方法的具体步骤如下：

步骤S1，将运行载体安装在干蚀刻机台的驱动装置上，并将透明检测板卡接在运行载体上，操作干蚀刻机台的驱动装置带动运行载体移动，使透明检测板逐渐移动并通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域。

步骤S2，在透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前，干蚀刻机台的扫描传感器产生第一信号值A，在透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时，干蚀刻机台的扫描传感器产生第二信号值B。详细而言，在透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前，干蚀刻机台的扫描传感器产生第一信号值A，此时，发光源的光线仅通过反光板反射到达扫描传感器，所以扫描传感器的光感值较大，即第一信号值A较大，然后通过干蚀刻机台的控制器记录第一信号值A；在透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时，干蚀刻机台的扫描传感器产生第二信号值B，此时，发光源的光线需要通过透明检测版，然后再由反光板反射光线到达扫描传感器，所以扫描传感器的光感值较小，即第二信号值B较小，通过干蚀刻机台的控制器记录第二信号值B。

步骤S3，将第一信号值A以及第二信号值B与干蚀刻机台的控制器预设的参考值C进行比对，并判断是否满足A>C>B。如果A>C>B，则扫描传感器正常，否则，若A小于等于C，和/或C小于等于B，则扫描传感器异常。

请参阅表1，表1是使用上述检测治具对不同扫描传感器进行矫正所记录的参数值。

第一信号值A和第二信号值B代表的是扫描传感器的感光值，在透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前，干蚀刻机台的传送腔体上方的发光源发出的光传送到扫描传感器会少一道阻碍，所以此时扫描传感器的感光值第一信号值A最大，而在透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时，干蚀刻机台的传送腔体上方的发光源发出的光传送到扫描传感器就会多一道阻碍，所以此时扫描传感器的感光值第而信号值B最小。但是扫描传感器的感光值不能太大或者太小，否则不能正常检测玻璃基板是否存在缺角等缺陷，所以要设定一个参考值C作为参考。第一信号值A即在没有玻璃基板时扫描传感器的感应值的大小，A值的范围一般在2500-3500之间，参考值C比第一信号值A小300-400，所以参考值C的范围是2100-3200。

表1

由表1可以看出，在对不同扫描传感器进行矫正时，6组数据都满足第一信号值A大于参考值C且参考值C大于第二信号值B，说明这些扫描传感器正常。

如果扫描传感器异常，则至少采取以下措施中的一种对干蚀刻机台的扫描传感器进行矫正至正常：检查干蚀刻机台的传送腔体顶面的透明板、干蚀刻机台的传送腔体内部的反光板，以及干蚀刻机台的传送腔体上方的发光源的表面是否有脏污，如果有脏污，则清理干净；更换干蚀刻机台的扫描传感器；调整发光源与反光板之间的角度；对参考值C进行重新设定。

基于以上实施例，本发明提供的用于矫正干蚀刻机台的扫描传感器的治具包括进出干蚀刻机台的传送腔体的运行载体，以及安装在运行载体上的透明检测板，该透明检测板采用亚克力板制作，透明检测板的结构尺寸和在运行载体上的安装位置与干蚀刻机台的传送腔体上方的扫描传感器的扫描区域相适配。通过用透明检测板代替传统的玻璃基板矫正扫描传感器，有效避免了玻璃基板的损坏，同时也缩短矫正时间，避免耽误干蚀刻机台的正常作业。通过比对透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域之前扫描传感器产生的第一信号值A、透明检测板通过干蚀刻机台的扫描传感器的扫描区域时扫描传感器产生的第二信号值B，以及干蚀刻机台的控制器设定的参考值C，能够有效判别扫描传感器是否需要矫正，并能够简化矫正过程，缩短矫正时间。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明的专利保护范围内。