本技术方案属于真空器件测试技术领域，具体是一种可以用于检测小微型电真空器件残余气体分析的的壳体破拆装置。
背景技术：
随着真空科学技术的发展，微型的MEMS、传感器、激光器、陀螺仪及其他小微型的电真空器件的真空封装封离技术逐渐成熟，而这些器件在工作一段时间后，器件内的真空环境逐渐变差，严重影响了器件的使用寿命和可靠性。而电真空器件的真空环境变差的主要原因是真空器件工作期间的漏放气，对于器件工作一段时间后，能够对器件内部的残余气体进行有效的定性和定量的分析，对真空器件的封装封离的选材、真空封装封离的工艺有着重要的指导作用。小微型的电真空器件需要在真空环境下对器件进行破拆采集器件内部气体，在破拆时采用的传动机构必须密封且不能够破坏影响测试的真空环境，减少测量误差。
技术实现要素：
为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提出一种电真空器件的壳体破拆装置，包括真空室、击针系统和样品定位装置；样品定位装置在真空室内，击针系统连接在真空室上，样品定位装置和击针系统位置对应；
所述击针系统包括真空波纹管、破拆击针、旋转开关、传动螺杆、传动块、击针支座、平面轴承和密封连接件；
所述真空室的壁上设有开口，第一法兰焊接在该开口上；真空波纹管的首端密封焊接环形的密封连接件，环形的密封连接件的外缘与第一法兰的孔内壁密贴，且二者滑配连接(相互滑动)；平面轴承的固定部分与第二法兰固定连接；第一、第二法兰可拆卸连接(通过螺栓可拆卸连接)；
所述击针支座的外壁与真空波纹管的内壁配合(是密贴状态)，且真空波纹管的末端密封焊接击针支座；击针支座首端固定连接传动块，击针支座的末端连接破拆击针；传动块的外壁与真空波纹管的内壁配合(是密贴状态)；破拆击针的尖端指向样品固定装置；
传动块内设有螺孔；所述传动螺杆设有外螺纹，该螺纹与螺孔的内螺纹对应，传动螺杆与螺孔连接；传动螺杆的末端指向击针支座，传动螺杆的首端连接旋转开关；传动螺杆与平面轴承的转动部分连接，传动螺杆的首部伸出平面轴承，且连接旋转开关；
传动螺杆、螺孔、平面轴承、真空波纹管、第一法兰和第二法兰，它们的中心轴线重合，所述破拆击针的尖端也在该中心轴线上。
真空波纹管的传动块的两端是互不相通的。
本装置的动作原理是，通过旋转开关带动传动螺杆转动推动传动块前进和后退，从而控制真空波纹管的伸缩，进一步的控制击针的前进和后退。本装置作为整体外接在测试系统中，由于本装置自身动作并不剧烈，密封效果好，尽可能小地对测试系统的真空环境带来负面影响。
进一步，所述样品定位装置包括固定支座、样品固定滑台和无磁导轨；固定支座固定连接在真空室内；无磁导轨的一端连接在固定支座上；样品固定滑台滑动连接在无磁导轨上；在样品固定滑台上连接有滑动驱动装置。
进一步，所述滑动驱动装置包括永久磁铁；与永久磁铁对应的还包括用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。
原理是，样品固定在样品固定滑台，样品固定滑台置于无磁导轨上，通过外部手动磁铁耦合永久磁铁的移动从而带动样品固定滑台移动，可以将样品从不同的测试室(例如测量室与样传动机构室内)来回移动，是实现非接触方式移动样品，例如在烘烤真空室的同时，避免了烘烤样品，从而减少样品的残余气体受外部环境影响而造成成分变化。
除了上述简易的手动方式外，还可以实用带有线圈的铁芯，利用电磁方式来控制永久磁铁的动作，通过非接触方式转运样品，减少对真空环境的影响。
进一步，所述第一、第二法兰标准的CF刀口法兰，两个法兰之间通过紫铜密封连接。
进一步，所述真空波纹管垂直于真空室上开口所在平面。
进一步，所述真空室是真空管道；真空管道的首尾两端分别设有真空法兰(用于把本装置连接到测试系统中)；真空波纹管的轴线垂直于真空管道的轴线。通过该结构设计，使本装置作为整体方便地拆装于测试系统。
进一步，样品固定滑台本身的材质是铁磁性材料；还包括对应的用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。
进一步，无磁导轨的材质为玻璃、陶瓷或无磁性的金属材料；在工程实践中，也可以采用弱磁性的金属材料。
击针支座的末端连接破拆击针也可以是可拆卸方式连接。通过该结构设计，可以方便地更换易损件破拆击针，而不拆装整体结构，尽量减少拆装对整体结构密封性带来的影响。
本装置可以破拆陶瓷、金属及玻璃等材料为管壳的电真空器件，对于壁厚的管壳需要将管壳通过超声波打孔或机械钻孔的方式将壁厚磨薄后，再放入真空室进行破拆测试。
附图说明
图1是本例的电真空器件的壳体破拆装置结构原理示意图；
图中：真空室1、击针系统2、样品定位装置3、真空波纹管4、破拆击针5、旋转开关6、传动螺杆7、平面轴承8、传动块9、固定支座10、样品固定滑台11、无磁导轨12、永久磁铁13、手动磁铁14、CF刀口密封法兰15、紫铜垫圈刀口密封16、传动螺杆17、传动螺杆螺纹18、测试样品19、击针支座20。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型进一步说明：
如图1，一种电真空器件的壳体破拆装置，包括真空室、击针系统和样品定位装置；样品定位装置在真空室内，击针系统连接在真空室上，样品定位装置和击针系统位置对应；所述击针系统包括真空波纹管、破拆击针、旋转开关、传动螺杆、传动块、击针支座、平面轴承和密封连接件；所述真空室的壁上设有开口，第一法兰焊接在该开口上(工程中，可以在该开口上设法兰固定支座，第一法兰焊接在该法兰固定支座上)；真空波纹管的首端密封焊接环形的密封连接件，环形的密封连接件的外缘与第一法兰的孔内壁密贴，两者滑配连接；平面轴承的固定部分与第二法兰固定连接；第一、第二法兰可拆卸连接(本例中，通过螺栓可拆卸连接)；
所述击针支座的外壁与真空波纹管的内壁密贴，且真空波纹管的末端密封焊接击针支座；击针支座首端固定连接传动块，击针支座的末端连接破拆击针；传动块的外壁与真空波纹管的内壁密贴；破拆击针的尖端指向样品固定装置；
传动块内设有螺孔；所述传动螺杆设有外螺纹，该螺纹与螺孔的内螺纹对应，传动螺杆与螺孔连接；传动螺杆的末端指向击针支座，传动螺杆的首端连接旋转开关；传动螺杆与平面轴承的转动部分连接，传动螺杆的首部伸出平面轴承，且连接旋转开关；
传动螺杆、螺孔、平面轴承、真空波纹管、第一法兰和第二法兰，它们的中心轴线重合，所述破拆击针的尖端也在该中心轴线上。真空波纹管的传动块的两端是互不相通的。
本例中，所述样品定位装置包括固定支座、样品固定滑台和无磁导轨；固定支座固定连接在真空室内；无磁导轨的一端连接在固定支座上；样品固定滑台滑动连接在无磁导轨上；在样品固定滑台上连接有滑动驱动装置。
所述滑动驱动装置包括永久磁铁；与永久磁铁对应的还包括用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。
所述第一、第二法兰标准的CF刀口法兰，两个法兰之间通过紫铜密封连接。
所述真空波纹管垂直于真空室上开口所在平面。
所述真空室是真空管道；真空管道的首尾两端分别设有真空法兰；真空波纹管的轴线垂直于真空管道的轴线。
也可以是，样品固定滑台本身的材质是为铁磁性材料，可以使铁、镍、钴、可伐合金中的一种；还包括对应的用于操作者手持的手动磁铁；手动磁铁在真空室外。
样品固定滑台本身的材质是铁磁性材料；无磁导轨的材质为玻璃、陶瓷或无磁性的金属材料，也可以采用弱磁性的金属材料。