基于陶瓷组件的加速度传感器的制作方法

文档序号:11073423来源:国知局
基于陶瓷组件的加速度传感器的制造方法与工艺

本实用新型涉及的基于陶瓷组件的加速度传感器,属于半导体设备领域。



背景技术:

压电效应是指某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,其内部会产生极化现象,同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后,它又会恢复到不带电的状态,这种现象称为正压电效应。当作用力的方向改变时,电荷的极性也随之改变。相反,当在电介质的极化方向上施加电场,这些电介质也会发生变形,电场去掉后,电介质的变形随之消失,这种现象称为逆压电效应。依据电介质压电效应研制的一类传感器称为压电传感器。

由于压电材料输出电信号无需额外的增加电源,所以在半导体领域,尤其是传感器领域的应用非常广泛。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种安全简单、可以通过加速度的测试防止超速的基于陶瓷组件的加速度传感器。

针对以上技术问题,本实用新型涉及的基于陶瓷组件的加速度传感器,如图1所示:具有底座和通过螺栓固定在底座上的传感结构,所述传感结构具有平行设置的两片陶瓷感电片,所述陶瓷感电片之间设置有金属导电片,所述金属导电片连接有电流检测模块,所述电流检测模块连接有通过电流变化计算加速度的计算模块,所述计算模块连接有防止超速的速度测试装置,所述陶瓷感电片上方设置有用于给陶瓷感电片提供压力的负重块和给负重块提供预载荷的压缩弹簧。

作为优选,为了提高陶瓷感电片的接收灵敏度,所述陶瓷感电片由有机感电陶瓷与无机高分子树脂复合而成。

作为优选,为了提前防止可能的超速,所述速度测试装置具有用于将加速度结合当前速度计算未来速度的速度计算模块。

作为优选,为了避免电荷发生移动,提高准确度和后续处理数据的可靠性,所述陶瓷感电片与负重块之间设有绝缘层。

作为优选,为了便于后期的封装,所述底座上设有用于金属导电片与电流检测模块连接的导线孔。

作为优选,为了便于标准化生产,提高生产效率,所述陶瓷感电片的形状为矩形或圆形。

与现有技术相比,本实用新型的有益之处是:可以预测受测体的移动速度,进而提前加速或者减速,结构简单,利用压电效应,无需外接电源,安全节能,陶瓷点感片与负重块之间设有绝缘层,有效的提高了检测的准确性和数据处理的可靠性。

附图说明:

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是基于陶瓷组件的加速度传感器结构示意图;

图中:1、底座;1-1、导线孔;2、传感结构;3、陶瓷感电片;3-1、有机感电陶瓷;3-2、无机高分子树脂;4、金属导电片;5、电流检测模块;6、计算模块;7、速度测试装置;7-1、速度计算模块;8、负重块;9、压缩弹簧;10、绝缘层。

具体实施方式:

本实用新型涉及的基于陶瓷组件的加速度传感器,如图1所示:具有底座1和通过螺栓固定在底座上的传感结构2,所述传感结构2具有平行设置的两片陶瓷感电片3,所述陶瓷感电片3之间设置有金属导电片4,所述金属导电片4连接有电流检测模块5,所述电流检测模块5连接有通过电流变化计算加速度的计算模块6,所述计算模块6连接有防止超速的速度测试装置7,所述陶瓷感电片3上方设置有用于给陶瓷感电片3提供压力的负重块8和给负重块8提供预载荷的压缩弹簧9。

作为优选,为了提高陶瓷感电片的接收灵敏度,所述陶瓷感电片3由有机感电陶瓷3-1与无机高分子树脂3-2复合而成。

作为优选,为了提前防止可能的超速,所述速度测试装置7具有用于将加速度结合当前速度计算未来速度的速度计算模块7-1。

作为优选,为了避免电荷发生移动,提高准确度和后续处理数据的可靠性,所述陶瓷感电片3与负重块8之间设有绝缘层10。

作为优选,为了便于后期的封装,所述底座1上设有用于金属导电片4与电流检测模块5连接的导线孔1-1。

作为优选,为了便于标准化生产,提高生产效率,所述陶瓷感电片3的形状为矩形或圆形。

需要强调的是:以上仅是本实用新型的使用方式的介绍与描述,并非对本实用新型作任何形式上的限制,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

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