一种在线测试印刷湿重的装置的制作方法

文档序号:11071248阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:包括第一电子秤、第二电子秤及传送装置,在所述传送装置的传送路径上,于第一电子秤和第二电子秤之间设置有至少一个加工工位,所述传送装置将硅片依次从第一电子秤传送至各加工工位,再传送至第二电子秤;所述第一电子秤及第二电子秤之间通讯连接。

2.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:所述加工工位至少包括一印刷工位。

3.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:所述第一电子秤的称量精度为至少0.01克。

4.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:所述第二电子秤的称量精度为至少0.01克。

5.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:所述传送装置为机械传输杆。

6.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:所述传送装置为真空吸盘或传送带。

7.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:对应于第一电子秤、第二电子秤及各加工工位上的硅片分别设置有相机。

8.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:还包括报警装置。

9.根据权利要求1所述的在线测试印刷湿重的装置,其特征在于:所述第一电子秤、第二电子秤及各加工工位之间通讯连接。

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