靶材成品检测工装的制作方法

文档序号:11070275阅读:559来源:国知局
靶材成品检测工装的制造方法与工艺

本实用新型涉及一种靶材成品检测工装,尤其是一种功能便捷的检测靶材成品是否符合要求的检测工装。



背景技术:

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。

而现有的靶材成品一般为中空轴状结构,其中而其内轴的要求需要根据客户的要求进行设定,若内轴各部结构不一致直接导致其上附着的靶材厚度无法达到要求,或表面不平整,直接影响成品的质量,因此针对靶材成品的内轴检测则是必要的工序。

现有的检测工具为一内径一致且通过手柄杆长度深入靶材轴心,其是否允许检测工具通过,则是判断该靶材成品是否合格的标准,现有的检测结构手柄杆与检测的筒状体为一体式金属结构,只能针对某一规格的成品进行检测,形状专用的结构,无法针对不同规格成品进行检测,导致需要一规格一工具,提高成本。



技术实现要素:

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种靶材成品检测工装,其解决现有技术中一规格一工具、成本高等技术问题。

为达到上述目的,本实用新型是通过以下技术方案实现的:

一种靶材成品检测工装,其包括检测头及手持柄,所述手持柄包括固定套及伸缩丝杆,而检测头为与标准规格且能伸入至靶材卷内的圆筒,检测头内固定有一连接套;所述固定套内表面设置有用于连接的螺纹段,所述检测头内连接套能与所述螺纹段相连,而所说伸缩丝杆则置于固定套内且能沿固定套伸缩。

进一步,所述丝杆一端设置有对接段,该对接段外表面设置有能与前述连接套相连的对螺纹段,以与检测头相连。

进一步,所述检测头的外表面上设置有卡槽,该卡槽内能定位有若干高度检测块。

进一步,所述各高度检测块包括底座及检测块,所述底座的高度与前述卡槽深度一致,该底座侧面上设置有能与卡槽配合定位的卡臂,所述检测块可拆卸的安装在底座上。

进一步,所述卡臂为橡胶卡壁。

与现有技术相比较,本实用新型的优点:

本实用新型通过丝杆与固定套配合一伸缩调节的手持柄,所述丝杆的端处与固定套一端分别设置有能与检测头相连的螺纹段、对接段相连,能实现在成品长度大时通过丝杆与固定套的伸缩达到各部均检测,提高检测的准确性;另,本实用新型中所述的检测头上还开设卡槽,卡槽内还可以设置高度检测块色,通过调节高度检测块色的高度来调节检测头的直径,从而能适配不同内径要求的成品,拓宽其检测范围,达到一工具检测多种成品的目的,达到降低成本的目的。

附图说明

图1是本实用新型实施例结构立体图;

图2是本实用新型实施例结构立体分解图;

图3是本实用新型实施例结构局部剖面图;

图4是本实用新型实施例中所述伸缩丝杆结构分解图;

图5是本实用新型实施例中所述检测头结构剖面图;

图6是本实用新型实施例中所述高度检测块结构立体图。

具体实施方式

为使本实用新型实施的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中,自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

在本技术方案的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明保护范围的限制,下面结合附图对本实用新型作进一步说明:

实施例:请参阅图1至图3所示,一种靶材成品检测工装,其包括检测头1及手持柄2。

请参阅图1至图3所示,前述手持柄2包括固定套21及伸缩丝杆22,而检测头1为与标准规格且能伸入至靶材卷内的圆筒,检测头1内固定有一连接套11;所述固定套21内表面设置有用于连接的螺纹段211,所述检测头1内连接套11能与所述螺纹段211相连,而所说伸缩丝杆22则置于固定套21内且能沿固定套21伸缩。

请参阅图1至图3所示,前述丝杆22一端设置有对接段221,该对接段221外表面设置有能与前述连接套11相连的对螺纹段,以与检测头1相连。具体的说:如图4所示,所述丝杆22可分为两段,其中一段为手持段222,另一段为检测段223,所述检测段223能与手持段222对接并联动,其中检测段223设置有前述对接段221,所述检测段223与手持段222对接的端头处开设一螺纹孔或卡槽,而手持段222上设置有能与螺纹孔对接的螺纹凸起或卡扣,而所述检测段223设置有前述螺纹段并能与检测头1相连;所述手持段222一端设置有方便手持的手柄,另一端设置有前述螺纹凸起,本实施例中所述检测段223开设卡槽,而手持段222设置卡扣,实现手持段222与检测段223的对接相连。

请参阅图5所示,前述检测头1的外表面上设置有卡槽12,该卡槽12内能定位有若干高度检测块3。具体的说:所述各高度检测块3包括底座31及检测块32,所述底座31的高度与前述卡槽12深度一致,该底座31侧面上设置有能与卡槽12配合定位的卡臂311,所述检测块32可拆卸的安装在底座31上,优选的所述卡臂311为橡胶卡壁。

具体的说:请参阅图6所示,所述高度检测块色3设置是根据预定标准的内径尺寸进行调节,其中底座31上端面开设有槽,而检测块32通过其上设置的卡扣与槽相连,从而形成可调节的高度检测块3;其中前述卡槽12为环形槽或螺纹槽,而所述卡槽12内高度检测块色的设置是等距设置在卡槽12内,从而能均匀的检测其标准程度。

请参阅图1至图5所示,本实用新型通过丝杆22与固定套21配合一伸缩调节的手持柄,所述丝杆22的端处与固定套21一端分别设置有能与检测头1相连的螺纹段211、对接段221相连,能实现在成品长度大时通过丝杆与固定套的伸缩达到各部均检测,提高检测的准确性;另,本实用新型中所述的检测头1上还开设卡槽12,卡槽12内还可以设置高度检测块3,通过调节高度检测块3的高度来调节检测头的直径,从而能适配不同内径要求的成品,拓宽其检测范围,达到一工具检测多种成品的目的,达到降低成本的目的。

以上所记载,仅为利用本创作技术内容的实施例,任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化,皆属本创作主张的专利范围,而不限于实施例所揭示者。

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