压力传感器装置及其制造方法与流程

文档序号:13985144阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种压力传感器装置,该装置包括:外壳,其具有沿着相互不同方向形成的大气导入孔和流体导入孔;基板,其布置在所述外壳的内部空间中且具有贯通孔以使大气通过;以及压力传感器芯片,其安装在所述基板上以覆盖所述贯通孔且用于测量相对于大气压的流体压力,而且上部施加有从所述流体导入孔流入的流体的压力,下部通过所述贯通孔暴露在大气中;其中,所述内部空间以所述基板为基准划分为上部区域和下部区域,所述上部区域划分为布置有所述压力传感器芯片的第一内部区域和可供大气通过的第二内部区域。

技术研发人员:罗赫辉;黄镐石;具兹根;姜香远
受保护的技术使用者:ITM半导体有限公司
文档号码:201680033753
技术研发日:2016.04.11
技术公布日:2018.03.20

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