悬臂梁T形结在线式微波相位检测器的制作方法

文档序号:11110899阅读:来源:国知局
技术总结
悬臂梁T形结在线式微波相位检测器,检测器制备在高阻硅衬底上,由共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线对称的悬臂梁结构、T形结以及两个间接热电式微波功率传感器所构成。其中共面波导传输线包括信号线和地线;悬臂梁结构包括悬臂梁的梁和锚区,悬于共面波导传输线的信号线上的介质层上方;T型结包括共面波导传输线的信号线、地线以及空气桥构成;间接热电式微波功率传感器包括终端电阻、金属热偶臂、半导体热偶臂、欧姆接触区和直流输出块。本发明检测器结构简单,电路尺寸较小,可实现微波相位的在线式检测。

技术研发人员:廖小平;严德洋
受保护的技术使用者:东南大学
文档号码:201710052722
技术研发日:2017.01.24
技术公布日:2017.05.10

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